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一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器
被引量：
1
1
作者
钱玉洁
高理升
+5 位作者
王焕钦
马以武
孔德义
熊剑平
王英先
张瑞
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011年第3期177-182,共6页
为深入研究微纳米环境中物体的受力与运动状态,实现微纳米环境下的位置感知与位移操作,建立纳米尺度下位移、力检测的理论方法,研制了一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器。通过采用厚膜混合集成工艺将信号处理电路与厚膜电容芯片一体...
为深入研究微纳米环境中物体的受力与运动状态,实现微纳米环境下的位置感知与位移操作,建立纳米尺度下位移、力检测的理论方法,研制了一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器。通过采用厚膜混合集成工艺将信号处理电路与厚膜电容芯片一体化集成,即用厚膜电路替代PCB电路板,以达到降低由于温度效应和寄生电容等导致的非线性误差,提高传感器的分辨率和稳定性的效果。传感器性能标定实验结果表明,0~1 000nm量程范围内位移检测分辨率优于2nm,传感器稳定性得到显著提高,能够用于检测纳米级微小位移变化量。此外,还从材料物理属性和电路优化设计等方面分析了一体化集成的厚膜电路相对于PCB电路板的优越性。
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关键词
微位移传感器
厚膜电路
陶瓷电容
分辨率
集成优化
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职称材料
柔性微穿孔板吸声体声学性能测试与分析
被引量：
1
2
作者
张晓晓
王焕钦
+3 位作者
孔德义
钱玉洁
李国欣
王兵
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期678-681,共4页
实验探究了高频段(1 500~6 500Hz)柔性微穿孔板吸声体的吸声特性,由于聚氯乙烯(PVC)薄膜具有柔韧性好,黏性不高,易通孔,成本低等特点,因此,该文以PVC为基材,利用阻抗管测试穿孔率分别为2.181%、3.407%、5.436%、7.666%的柔性微穿孔板吸...
实验探究了高频段(1 500~6 500Hz)柔性微穿孔板吸声体的吸声特性,由于聚氯乙烯(PVC)薄膜具有柔韧性好,黏性不高,易通孔,成本低等特点,因此,该文以PVC为基材,利用阻抗管测试穿孔率分别为2.181%、3.407%、5.436%、7.666%的柔性微穿孔板吸声体的声学性能,并与马氏理论的计算值进行对比。实验结果表明,由于板的振动效应使柔性微穿孔板吸声体的共振峰向低频偏移,且在低频范围内吸声性能提高,高频范围内吸声性能无明显减弱。因此,拓宽了整体的吸声频带宽度,在1 500Hz时,吸声系数可提高约33.9%。
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关键词
柔性微穿孔板吸声体
吸声性能
吸声系数
聚氯乙烯(PVC)
偏离率
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职称材料
题名
一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器
被引量：
1
1
作者
钱玉洁
高理升
王焕钦
马以武
孔德义
熊剑平
王英先
张瑞
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术联合国家重点实验室
中国科
学
技术
大学物理系
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011年第3期177-182,共6页
基金
国家自然科学基金重点项目(60635040)
文摘
为深入研究微纳米环境中物体的受力与运动状态,实现微纳米环境下的位置感知与位移操作,建立纳米尺度下位移、力检测的理论方法,研制了一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器。通过采用厚膜混合集成工艺将信号处理电路与厚膜电容芯片一体化集成,即用厚膜电路替代PCB电路板,以达到降低由于温度效应和寄生电容等导致的非线性误差,提高传感器的分辨率和稳定性的效果。传感器性能标定实验结果表明,0~1 000nm量程范围内位移检测分辨率优于2nm,传感器稳定性得到显著提高,能够用于检测纳米级微小位移变化量。此外,还从材料物理属性和电路优化设计等方面分析了一体化集成的厚膜电路相对于PCB电路板的优越性。
关键词
微位移传感器
厚膜电路
陶瓷电容
分辨率
集成优化
Keywords
micro-displacement sensor
thick film circuit
ceramic capacitor
resolution
integrated optimization
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
柔性微穿孔板吸声体声学性能测试与分析
被引量：
1
2
作者
张晓晓
王焕钦
孔德义
钱玉洁
李国欣
王兵
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术联合国家重点实验室
中国科
学
技术
大学
合肥
物质
研究
院
河海大学物联网工程
学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期678-681,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(11474291)
国家自然科学基金青年基金资助项目(11604077)
文摘
实验探究了高频段(1 500~6 500Hz)柔性微穿孔板吸声体的吸声特性,由于聚氯乙烯(PVC)薄膜具有柔韧性好,黏性不高,易通孔,成本低等特点,因此,该文以PVC为基材,利用阻抗管测试穿孔率分别为2.181%、3.407%、5.436%、7.666%的柔性微穿孔板吸声体的声学性能,并与马氏理论的计算值进行对比。实验结果表明,由于板的振动效应使柔性微穿孔板吸声体的共振峰向低频偏移,且在低频范围内吸声性能提高,高频范围内吸声性能无明显减弱。因此,拓宽了整体的吸声频带宽度,在1 500Hz时,吸声系数可提高约33.9%。
关键词
柔性微穿孔板吸声体
吸声性能
吸声系数
聚氯乙烯(PVC)
偏离率
Keywords
flexible micro-perforated panel
sound ab so rp t io n p e r fo rm a n c e
sound a b so rp t io n co e f f ic ie n t
P V C
deviat ion ratio
分类号
TN0 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器
钱玉洁
高理升
王焕钦
马以武
孔德义
熊剑平
王英先
张瑞
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
柔性微穿孔板吸声体声学性能测试与分析
张晓晓
王焕钦
孔德义
钱玉洁
李国欣
王兵
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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