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基于球差矫正电镜在原子尺度探究氮化铝在蓝宝石衬底上的生长过程
被引量：
3
1
作者
窦志鹏
陈召龙
+7 位作者
李宁
刘秉尧
张敬民
魏同波
刘志强
罗强
廖蕾
高鹏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期215-220,共6页
Ⅲ族氮化物在光电器件方面有着广泛的应用。探究Ⅲ族氮化物的外延生长机制对于制备高质量薄膜材料器件具有重要意义。本文利用球差矫正透射电子显微镜,揭示了金属有机化学气相沉积方法(MOCVD)生长的氮化铝(AlN)在蓝宝石(Al2O3)衬底上的...
Ⅲ族氮化物在光电器件方面有着广泛的应用。探究Ⅲ族氮化物的外延生长机制对于制备高质量薄膜材料器件具有重要意义。本文利用球差矫正透射电子显微镜,揭示了金属有机化学气相沉积方法(MOCVD)生长的氮化铝(AlN)在蓝宝石(Al2O3)衬底上的界面原子结构,探究了异质外延的生长机制。分析发现,Al2O3衬底在氨气的氛围下退火后,表面率先被氮化,生成一层AlN。在进一步生长AlN的时候,铝(Al)原子优先填补Al2O3表面高位铝的位置,然后按照AlN的晶格结构生长。此外,该方法生长的AlN在界面附近是非金属(N)极性。这些发现加深了我们对氮化物薄膜的外延生长动力学的认识,为更好地控制界面的成核、极性提供了有用的信息。
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关键词
球差矫正电镜
ALN
蓝宝石
界面原子结构
极性
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职称材料
题名
基于球差矫正电镜在原子尺度探究氮化铝在蓝宝石衬底上的生长过程
被引量：
3
1
作者
窦志鹏
陈召龙
李宁
刘秉尧
张敬民
魏同波
刘志强
罗强
廖蕾
高鹏
机构
湖南大学物理与微电子
学院
微纳光电器件及应用教育部
重点
实验室
北京大学电子显微镜
实验室
北京大学化学与分子工程
学院
纳米化学中心
中国科学院半导体研究所固态照明国家重点实验室
北京大学物理
学院
量子材料
研究
中心
量子物质
科学
协同创新中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期215-220,共6页
基金
国家重点研发资助项目(No.2018YFB0406703)
文摘
Ⅲ族氮化物在光电器件方面有着广泛的应用。探究Ⅲ族氮化物的外延生长机制对于制备高质量薄膜材料器件具有重要意义。本文利用球差矫正透射电子显微镜,揭示了金属有机化学气相沉积方法(MOCVD)生长的氮化铝(AlN)在蓝宝石(Al2O3)衬底上的界面原子结构,探究了异质外延的生长机制。分析发现,Al2O3衬底在氨气的氛围下退火后,表面率先被氮化,生成一层AlN。在进一步生长AlN的时候,铝(Al)原子优先填补Al2O3表面高位铝的位置,然后按照AlN的晶格结构生长。此外,该方法生长的AlN在界面附近是非金属(N)极性。这些发现加深了我们对氮化物薄膜的外延生长动力学的认识,为更好地控制界面的成核、极性提供了有用的信息。
关键词
球差矫正电镜
ALN
蓝宝石
界面原子结构
极性
Keywords
spherical aberration correction electron microscopy
AlN
sapphire
atomic structure of interface
polarity
分类号
TG115.215.3 [金属学及工艺—物理冶金]
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于球差矫正电镜在原子尺度探究氮化铝在蓝宝石衬底上的生长过程
窦志鹏
陈召龙
李宁
刘秉尧
张敬民
魏同波
刘志强
罗强
廖蕾
高鹏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
3
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