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半导体信息功能材料与器件的研究新进展 被引量:11
1
作者 王占国 《中国材料进展》 CAS CSCD 2009年第1期26-30,共5页
首先简要地介绍了作为现代信息社会基础的半导体材料和器件极其重要的地位,进而回顾了近年来半导体光电信息功能材料,包括半导体微电子、光电子材料,宽带隙半导体材料,自旋电子材料和有机光电子材料等的研究进展,最后对半导体信息功能... 首先简要地介绍了作为现代信息社会基础的半导体材料和器件极其重要的地位,进而回顾了近年来半导体光电信息功能材料,包括半导体微电子、光电子材料,宽带隙半导体材料,自旋电子材料和有机光电子材料等的研究进展,最后对半导体信息功能材料的发展趋势做了评述。 展开更多
关键词 半导体微电子 光电子材料 宽带隙半导体材料 自旋电子材料 有机光电子材料
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MPCVD生长半导体金刚石材料的研究现状 被引量:10
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作者 付方彬 金鹏 +3 位作者 刘雅丽 龚猛 吴巨 王占国 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第9期571-581,587,共12页
简要介绍了半导体金刚石材料优异的电学和光学性质、主要制备方法以及采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在制备高质量半导体金刚石材料方面的优势。重点就MPCVD技术在半导体金刚石材料的高速率生长、大尺寸生长、高质量生长以及... 简要介绍了半导体金刚石材料优异的电学和光学性质、主要制备方法以及采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在制备高质量半导体金刚石材料方面的优势。重点就MPCVD技术在半导体金刚石材料的高速率生长、大尺寸生长、高质量生长以及电学掺杂等四个方面的研究现状进行了详细总结。详细探讨了目前半导体金刚石材料在大尺寸单晶金刚石衬底制备、高质量单晶金刚石外延层生长以及金刚石电学掺杂等方面还存在的一些基本问题。指出在大面积单晶金刚石衬底还没有实现突破的情况下,半导体金刚石材料和器件结构的生长模式。 展开更多
关键词 金刚石 宽禁带 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 同质外延生长 掺杂
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金刚石半导体材料和器件的研究现状 被引量:6
3
作者 陈亚男 张烨 +7 位作者 郁万成 龚猛 杨霏 刘瑞 王嘉铭 李玲 金鹏 王占国 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第4期217-228,共12页
简述了金刚石半导体材料的主要制备方法,以及掺杂技术及其在器件制备中应用的研究现状。重点介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备高质量金刚石的优势以及在生长速率、晶体尺寸和晶体质量等方面的研究进展及阻碍因素,并探讨了... 简述了金刚石半导体材料的主要制备方法,以及掺杂技术及其在器件制备中应用的研究现状。重点介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备高质量金刚石的优势以及在生长速率、晶体尺寸和晶体质量等方面的研究进展及阻碍因素,并探讨了实现金刚石大尺寸高质量生长的方法。通过对金刚石进行掺杂,可使其呈现p型和n型导电。总结了金刚石p型、n型掺杂及共掺杂的研究现状,并分析了金刚石在掺杂过程中出现的问题,探讨了p型掺杂和n型掺杂的研究方向。最后给出了金刚石在电力电子器件、探测器和场发射器件中的应用现状,并对金刚石的未来发展方向作出了展望。 展开更多
关键词 金刚石 迁移率 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 掺杂 器件
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半导体材料的微重力生长 被引量:2
4
作者 尹志岗 张兴旺 吴金良 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期241-251,共11页
空间微重力环境提供了一个独特平台,以改进地面材料性能、深入理解被地面重力掩盖的晶体生长现象。半导体空间材料科学的主要进展有:(1)基于对组分均匀的完美半导体的追求,人们对于晶体生长机理,特别是对流、溶质传输及组分分凝的相互作... 空间微重力环境提供了一个独特平台,以改进地面材料性能、深入理解被地面重力掩盖的晶体生长现象。半导体空间材料科学的主要进展有:(1)基于对组分均匀的完美半导体的追求,人们对于晶体生长机理,特别是对流、溶质传输及组分分凝的相互作用,有了更加深入的理解;(2)基于空间实验结果,人们澄清了非接触Bridgman生长的内在机理,并将之用于指导空间及地面实验;(3)提出了新的微重力晶体生长技术并成功用于组分均匀半导体合金材料的制备。回顾了以上方面的研究进展,并对半导体空间材料科学的未来挑战进行了展望。 展开更多
关键词 微重力 浮力对流 Marangoni对流 Bridgman生长 非接触生长
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自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用 被引量:2
5
作者 孙捷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期61-65,共5页
随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件... 随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析。 展开更多
关键词 微电子工艺 量子特性 自组装半导体量子点 纳米电子器件
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高Al组分AlGaN多量子阱结构材料发光机制探讨 被引量:5
6
作者 李金钗 季桂林 +5 位作者 杨伟煌 金鹏 陈航洋 林伟 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期513-518,共6页
紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外... 紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外延生长了表面平整、界面清晰可辨且陡峭的高Al组分AlGa N多量子阱结构材料,并对其进行变温光致发光谱测试,结合数值计算,深入探讨了Al Ga N量子阱的发光机制。研究表明,量子阱中具有很强的局域化效应,其发光和局域激子的跳跃息息相关,而发光的猝灭则与局域激子的解局域以及位错引起的非辐射复合有关。 展开更多
关键词 ALGAN 多量子阱结构 深紫外LED 发光机制
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GaAs基量子级联激光器材料结构设计的进展 被引量:4
7
作者 刘俊岐 刘峰奇 +3 位作者 车晓玲 黄秀颀 雷文 王占国 《微纳电子技术》 CAS 2004年第8期6-13,共8页
GaAs基量子级联激光器的出现,在器件的设计制作和处理工艺上开辟了有意义的前景。本文概述了近年来GaAs基量子级联激光器在波导核心层、波导以及光学谐振腔方面设计的原理、进展,并介绍了一些新颖的结构。
关键词 量子级联激光器 注入区 有源区 波导 谐振腔
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应变层InGaAsP量子阱激光器结构的调制光谱研究 被引量:3
8
作者 金鹏 李成明 +7 位作者 张子旸 孟宪权 徐波 刘峰奇 王占国 李乙钢 张存洲 潘士宏 《微纳电子技术》 CAS 2003年第3期11-13,32,共4页
利用光调制反射谱(PR)对1.55μm应变层InCaAsP三量子阱激光器结构进行了研究,在样品的波导层观察到了Franz-Keldysh振荡。利用Bastard包络函数方法和Kane模型从理论上计算了该应变层InGaAsP四元合金三量子阱内电子和空穴的能级和跃迁能... 利用光调制反射谱(PR)对1.55μm应变层InCaAsP三量子阱激光器结构进行了研究,在样品的波导层观察到了Franz-Keldysh振荡。利用Bastard包络函数方法和Kane模型从理论上计算了该应变层InGaAsP四元合金三量子阱内电子和空穴的能级和跃迁能量,计算结果与实验数据符合得很好,得到了In_(0.758)Ga_(0.242)As_(0.83)P_(0.17)与In_(0.758)Ga_(0.242)As_(0.525)P_(0.475)四元合金应变界面的导带不连续性。 展开更多
关键词 应变层 InGaAsP量子阱激光器 调制光谱 Franz-Keldysh振荡 光调制反射谱
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InGaN量子点的诱导生长和发光特性研究 被引量:2
9
作者 李昱峰 韩培德 +6 位作者 陈振 黎大兵 王占国 刘祥林 陆大成 王晓晖 汪度 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期380-384,T001,共6页
降低InGaN的维数是提高GaN基发光器件发光效率的一种非常有效的方法,本文的工作主要集中在高密度InGaN量子点的生长和分析上。在MOCVD设备上,经过钝化和低温两个特殊工艺条件,在高温GaN表面生长了一层低温岛状GaN,形成表面形貌的起伏,... 降低InGaN的维数是提高GaN基发光器件发光效率的一种非常有效的方法,本文的工作主要集中在高密度InGaN量子点的生长和分析上。在MOCVD设备上,经过钝化和低温两个特殊工艺条件,在高温GaN表面生长了一层低温岛状GaN,形成表面形貌的起伏,进而导致表面应力的不均匀分布。在这一层低温岛状GaN的诱导性作用下生长并形成InGaN量子点。通过原子力显微镜、透射电子显微镜和光致发光谱对其微观形貌和光学性质进行了观察和研究。从原子力显微镜以及透射电子显微镜观察得到的结果表明:InGaN量子点为平均直径约30nm、高度约25nm、分布较均匀的圆锥,其密度约1011cm-2。室温下,InGaN量子点材料的PL谱强度大大超出相同条件生长的InGaN薄膜材料。这些现象表明,用InGaN量子点代替普通InGaN薄膜,有望获得发光效率更高的GaN基发光器件。 展开更多
关键词 INGAN 量子点 诱导生长 发光特性 微观形貌 氮镓铟化合物 半导体
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神舟飞船生长GaMnSb材料过程及性能分析 被引量:2
10
作者 张富强 陈诺夫 +2 位作者 吴金良 钟兴儒 林兰英 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期455-461,共7页
利用神舟3号飞船(SZ-3)上的多样品空间晶体炉制备出GaMnSb材料.所设计的石英安瓿使用氧化铝棉毡和特殊设计制造的氮化硼坩锅进行减震,经受住了严峻的力学环境的考验,完成了材料的空间生长实验,达到了空间生长材料的初步要求.对空间生长... 利用神舟3号飞船(SZ-3)上的多样品空间晶体炉制备出GaMnSb材料.所设计的石英安瓿使用氧化铝棉毡和特殊设计制造的氮化硼坩锅进行减震,经受住了严峻的力学环境的考验,完成了材料的空间生长实验,达到了空间生长材料的初步要求.对空间生长的GaMnSb晶体进行了X射线能谱分析和X射线衍射分析,发现空间生长的GaMnSb是多晶结构.对未获得GaMnSb单晶的原因进行了分析,发现空间晶体炉温度的波动和提供能量的不足是导致生成GaMnSb多晶结构的主要原因.由于在晶体生长的初始阶段晶体炉提供的能量不足,使GaSb单晶部分未能熔化,从而导致GaMnSb材料的生长在没有籽晶的情况下进行. 展开更多
关键词 神舟3号飞船 微重力 GaMnSb 稀磁半导体 X射线衍射 多晶结构
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量子点超辐射发光管研究进展 被引量:2
11
作者 吕雪芹 王佐才 +1 位作者 金鹏 王占国 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第8期449-456,共8页
简要回顾了超辐射发光管(SLD)的发展历史、量子点SLD的提出及优点,介绍了SLD的工作原理、器件结构及表征参数,详细分析了近年来国内外各研究小组在提高量子点SLD性能方面的研究进展。基于自组织量子点的尺寸非均匀分布特征、优化的有源... 简要回顾了超辐射发光管(SLD)的发展历史、量子点SLD的提出及优点,介绍了SLD的工作原理、器件结构及表征参数,详细分析了近年来国内外各研究小组在提高量子点SLD性能方面的研究进展。基于自组织量子点的尺寸非均匀分布特征、优化的有源区结构设计以及高的光学质量,量子点SLD目前的研究水平已远远超过量子阱SLD。例如,量子点SLD的输出光谱宽度可达到150nm以上,输出功率可达到百mW量级。简要介绍了SLD在光纤陀螺仪、光学相干断层成像术、光纤通信、宽带外腔可调谐激光器等方面的应用,讨论了量子点SLD研制中存在的问题、解决方法和发展趋势。量子点SLD在展宽光谱和提高输出功率上展示了巨大的潜力,它的成功有力地推动了其他宽增益谱器件的研制。 展开更多
关键词 超辐射发光管 自组织量子点 尺寸非均匀性 宽光谱 大功率
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InSb光学带隙的掺杂调控研究 被引量:2
12
作者 张兴旺 吴金良 尹志岗 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期420-423,共4页
利用布里奇曼法进行了InAsSb半导体合金的生长,并对其结构、光学及电学特性进行了表征.研究发现,As替位掺杂造成X射线(111)衍射峰略微右移,同时其半高宽明显展宽.基于X射线衍射数据,利用Vegard定律计算出的As组分与能谱测量得到的结果... 利用布里奇曼法进行了InAsSb半导体合金的生长,并对其结构、光学及电学特性进行了表征.研究发现,As替位掺杂造成X射线(111)衍射峰略微右移,同时其半高宽明显展宽.基于X射线衍射数据,利用Vegard定律计算出的As组分与能谱测量得到的结果基本吻合.此外,As的掺入使得材料背景载流子浓度略有上升.傅里叶变换红外光谱结果显示,As的替入使得材料带隙明显变小,拟合得到的光学带隙与通过Woolley-Warner经验公式得到的值定性一致.研究结果表明,As掺杂是减小InSb带隙,开拓其面向第二个大气窗口红外探测应用的有效途径. 展开更多
关键词 红外探测 带隙 布里奇曼法 掺杂 微重力
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基于放大反馈激光器高速全光时钟提取的研究 被引量:1
13
作者 王黎 孙瑜 +4 位作者 赵晓凡 娄采云 陆丹 赵玲娟 王圩 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期1-3,共3页
为了研究放大反馈激光器全光时钟提取的性能,采用单边带相位噪声功率谱积分的方法,对40Gbit/s无恶化信号和噪声恶化信号分别进行了时钟提取实验,计算了所提取时钟的时间抖动。同时还测量了放大反馈激光器的锁定范围。通过实验取得了恶... 为了研究放大反馈激光器全光时钟提取的性能,采用单边带相位噪声功率谱积分的方法,对40Gbit/s无恶化信号和噪声恶化信号分别进行了时钟提取实验,计算了所提取时钟的时间抖动。同时还测量了放大反馈激光器的锁定范围。通过实验取得了恶化前后所提取时钟的时间抖动分别为130fs和150fs,放大反馈激光器的锁定范围为234MHz。结果表明,基于放大反馈激光器的全光时钟提取方案对噪声恶化具有较强的容忍度,而且具有较宽的锁定范围。这一结果对于全光时钟提取技术的进一步发展具有重要意义。 展开更多
关键词 光通信 全光时钟提取 放大反馈激光器 时间抖动 锁定范围
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MBE自组装量子点生长和结构形态研究 被引量:1
14
作者 吴巨 金鹏 +4 位作者 吕小晶 王占国 曾一平 王宝强 姚然 《微纳电子技术》 CAS 2008年第8期435-439,457,共6页
综述了对自组装量子点形态和生长过程所做的探讨和研究。介绍了关于量子点成核和形态的热力学理论、量子点生长过程的计算机模拟及Ge/Si(001)和InAs/GaAs(001)量子点生长和形态的实验观察。鉴于InAs/GaAs(001)体系的复杂性,把对InAs量... 综述了对自组装量子点形态和生长过程所做的探讨和研究。介绍了关于量子点成核和形态的热力学理论、量子点生长过程的计算机模拟及Ge/Si(001)和InAs/GaAs(001)量子点生长和形态的实验观察。鉴于InAs/GaAs(001)体系的复杂性,把对InAs量子点的观察和研究分为"微观"和"宏观"两种。微观研究对象包括量子点原子尺度上的结构、量子点表面小晶面的晶体学的精确取向等,这些性质可能受热运动的影响比较大,在一定程度上是随机的,它们代表了量子点生长行为的复杂性;宏观研究的对象是指量子点密度、纳米尺度形态等大量粒子统计意义上的集体行为,这些性质和行为可能更具有实际意义。因此作者认为,目前研究量子点生长和形态更为有效的方法应该是探寻以量子点宏观行为所表征的简单性。重点介绍中科院半导体所半导体材料重点实验室最近所做的对InAs/GaAs(001)量子点生长过程的实验观察。结果表明,在一般生长条件下(富As,500℃,0.1ML/s),InAs量子点成核和生长应该都是连续的,没有经历被普遍认为的不连续(一级)相变。按照作者的观察,把InAs量子点成核看作是连续(二级)相变更为贴切。 展开更多
关键词 分子束外延 SK生长模式 量子点 形态和生长 Ge/Si(001) InAs/GaAs(001)
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InAs/GaAs量子点材料和激光器 被引量:4
15
作者 吴巨 王占国 《微纳电子技术》 CAS 2005年第11期489-494,共6页
介绍了近年来长波长InAsG/aAs量子点材料的生长、结构性质和量子点激光器的研究进展。
关键词 INAS/GAAS 量子点 激光器
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量子点超辐射发光管研究进展(续)
16
作者 吕雪芹 王佐才 +1 位作者 金鹏 王占国 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第9期513-517,共5页
关键词 超辐射发光管 量子点 光纤陀螺仪 光时域反射计 可调谐激光器 时间相干性 性能要求 耦合效率
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MBE自组装量子点生长和结构形态研究(续)
17
作者 吴巨 金鹏 +4 位作者 吕小晶 王占国 曾一平 王宝强 姚然 《微纳电子技术》 CAS 2008年第9期498-504,共7页
关键词 自组装量子点 生长条件 结构形态 INAS/GAAS INAS量子点 MBE GAAS(001) 平衡形态
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氮化镓材料中质子输运过程的模拟
18
作者 张明兰 张晓倩 +1 位作者 杨瑞霞 狄炤厅 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期648-651,共4页
对入射能量为50keV~3MeV的质子在氮化镓(GaN)材料中的输运过程进行了Monte-Carlo模拟,得到垂直入射质子在GaN材料中的输运情况、质子与晶格原子作用产生的空位分布特征。模拟结果表明:在厚度固定(3.5μm)的GaN材料中,当入射能量小于300... 对入射能量为50keV~3MeV的质子在氮化镓(GaN)材料中的输运过程进行了Monte-Carlo模拟,得到垂直入射质子在GaN材料中的输运情况、质子与晶格原子作用产生的空位分布特征。模拟结果表明:在厚度固定(3.5μm)的GaN材料中,当入射能量小于300keV时,质子束横向扩展明显,入射离子全部被阻止在材料中;随着入射能量增大,质子束横向扩展减弱,离子穿透几率增大,当能量大于500keV时,入射离子几乎全部从材料中穿出。 展开更多
关键词 GAN 质子 辐射 输运 缺陷
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SiC衬底GaN基HEMT结构材料与器件
19
作者 王晓亮 陈堂胜 +5 位作者 唐健 肖红领 王翠梅 李晋闽 王占国 侯洵 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期202-205,共4页
使用金属有机物化学气相外延(MOCVD)技术在50mm半绝缘6H-SiC衬底上生长了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料。50mmHEMT外延片平均方块电阻为305.3Ω/□,不均匀性为3.85%。使用此材料研制的单管2mm栅宽HEMT,其饱和漏极电流为1.36A/... 使用金属有机物化学气相外延(MOCVD)技术在50mm半绝缘6H-SiC衬底上生长了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料。50mmHEMT外延片平均方块电阻为305.3Ω/□,不均匀性为3.85%。使用此材料研制的单管2mm栅宽HEMT,其饱和漏极电流为1.36A/mm,跨导为460mS/mm。利用内匹配技术对两个2mm栅宽器件进行了合成,输入信号频率8GHz,脉冲下输出功率为34.1W,功率增益为6.1dB,功率附加效率为37.3%。 展开更多
关键词 氮化镓 高电子迁移率晶体管 功率器件
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异质外延立方氮化硼薄膜的微结构研究
20
作者 张兴旺 陈诺夫 +1 位作者 OYEN H-G ZIEMANN P 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第1期23-28,共6页
利用离子束辅助沉积技术在金刚石薄膜衬底上制备立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外谱的结果表明,在高度(001)织构金刚石薄膜衬底上沉积的立方氮化硼薄膜是纯的立方相,而在多晶金刚石薄膜衬底上制备的立方氮化硼薄膜中还含少量的六角氮化硼... 利用离子束辅助沉积技术在金刚石薄膜衬底上制备立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外谱的结果表明,在高度(001)织构金刚石薄膜衬底上沉积的立方氮化硼薄膜是纯的立方相,而在多晶金刚石薄膜衬底上制备的立方氮化硼薄膜中还含少量的六角氮化硼。高分辨透射电镜的分析表明,在金刚石晶粒上异质外延的c BN直接成核于金刚石衬底,界面没有六角氮化硼过渡层;而在含有大量缺陷的晶粒边界,存在六角氮化硼的成核与生长。 展开更多
关键词 立方氮化硼薄膜 衬底 金刚石薄膜 成核 异质外延 高分辨透射电镜 微结构 立方相 红外 晶粒边界
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