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偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性 被引量:2
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作者 赵雷 陈涌海 +2 位作者 左玉华 王海宁 时文华 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1185-1189,共5页
介绍了偏振差分反射光谱的原理,并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源,总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用,并分析指出其在Si基材料电光改性研究中将会起到重要作用。
关键词 偏振差分反射光谱 半导体 平面内光学各向异性 电光改性
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半导体信息功能材料与器件的研究新进展 被引量:11
2
作者 王占国 《中国材料进展》 CAS CSCD 2009年第1期26-30,共5页
首先简要地介绍了作为现代信息社会基础的半导体材料和器件极其重要的地位,进而回顾了近年来半导体光电信息功能材料,包括半导体微电子、光电子材料,宽带隙半导体材料,自旋电子材料和有机光电子材料等的研究进展,最后对半导体信息功能... 首先简要地介绍了作为现代信息社会基础的半导体材料和器件极其重要的地位,进而回顾了近年来半导体光电信息功能材料,包括半导体微电子、光电子材料,宽带隙半导体材料,自旋电子材料和有机光电子材料等的研究进展,最后对半导体信息功能材料的发展趋势做了评述。 展开更多
关键词 半导体微电子 光电子材料 宽带隙半导体材料 自旋电子材料 有机光电子材料
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磁性半导体Gd_xSi_(1-x)的XPS研究 被引量:1
3
作者 刘志凯 周剑平 +4 位作者 柴春林 杨少延 宋书林 李艳丽 陈诺夫 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期154-156,共3页
采用离子束技术 ,在n型硅基片上注入稀土元素钆 ,制备了磁性 /非磁性p n结。本文中使用的XPS对制备的样品进行测试 ,利用Origin 7 0提供的PFM工具进行研究 ,O1s束缚能介于金属氧化物和SiO2 中O1s的束缚能之间 ,Si2p的XPS谱分裂为两个峰 ... 采用离子束技术 ,在n型硅基片上注入稀土元素钆 ,制备了磁性 /非磁性p n结。本文中使用的XPS对制备的样品进行测试 ,利用Origin 7 0提供的PFM工具进行研究 ,O1s束缚能介于金属氧化物和SiO2 中O1s的束缚能之间 ,Si2p的XPS谱分裂为两个峰 ,其中一个是单质Si的 ,另一个介于单质Si和硅化物之间 ,Gd4d的束缚能介于金属钆和氧化钆中的Gd4d之间 。 展开更多
关键词 磁性半导体 GdxSi1-x XPS 离子束技术 非磁性p-n结 束缚能 无定形结构 x射线 光电子频谱 离子注入 硅化钆
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半导体材料的微重力生长 被引量:2
4
作者 尹志岗 张兴旺 吴金良 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期241-251,共11页
空间微重力环境提供了一个独特平台,以改进地面材料性能、深入理解被地面重力掩盖的晶体生长现象。半导体空间材料科学的主要进展有:(1)基于对组分均匀的完美半导体的追求,人们对于晶体生长机理,特别是对流、溶质传输及组分分凝的相互作... 空间微重力环境提供了一个独特平台,以改进地面材料性能、深入理解被地面重力掩盖的晶体生长现象。半导体空间材料科学的主要进展有:(1)基于对组分均匀的完美半导体的追求,人们对于晶体生长机理,特别是对流、溶质传输及组分分凝的相互作用,有了更加深入的理解;(2)基于空间实验结果,人们澄清了非接触Bridgman生长的内在机理,并将之用于指导空间及地面实验;(3)提出了新的微重力晶体生长技术并成功用于组分均匀半导体合金材料的制备。回顾了以上方面的研究进展,并对半导体空间材料科学的未来挑战进行了展望。 展开更多
关键词 微重力 浮力对流 Marangoni对流 Bridgman生长 非接触生长
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自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用 被引量:2
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作者 孙捷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期61-65,共5页
随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件... 随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析。 展开更多
关键词 微电子工艺 量子特性 自组装半导体量子点 纳米电子器件
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二次退火制备Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点 被引量:1
6
作者 肖虎 孟宪权 +3 位作者 朱振华 金鹏 刘峰奇 王占国 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期747-750,765,共5页
利用离子注入法在一块Si(001)衬底上注入了In+和As+,注入能量分别为210keV,150keV,注入剂量6.2×1016cm-2,8.6×1016cm-2,另一块Si(001)衬底上注入Ga+和Sb+,注入能量分别为140keV,220keV,注入剂量分别为8.2×1016cm-2,6.2&#... 利用离子注入法在一块Si(001)衬底上注入了In+和As+,注入能量分别为210keV,150keV,注入剂量6.2×1016cm-2,8.6×1016cm-2,另一块Si(001)衬底上注入Ga+和Sb+,注入能量分别为140keV,220keV,注入剂量分别为8.2×1016cm-2,6.2×1016cm-2,然后对样品分别经过一次退火和二次退火处理制备出了Si基量子点材料。用透射电子显微镜(TEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)观察了退火后量子点截面像,用PL探测量子点的光致发光谱,发现经二次退火生长的量子点微晶格结构和Si衬底损伤的修复均明显优于一次退火。 展开更多
关键词 二次退火 量子点 离子注入
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HfO_(2)基铁电材料准静态负电容机理
7
作者 尹志岗 董昊 +3 位作者 程勇 吴金良 张志伟 张兴旺 《北京工业大学学报》 北大核心 2025年第3期269-276,共8页
HfO_(2)基铁电薄膜的负电容现象提供了解决微纳电子器件功耗问题的可行策略,但其物理图像却一直饱受争议。基于Landau-Devonshire和Landau-Khalatnikov方程,对铁电HfO_(2)/介质双层体系开展了理论模拟。结果表明:根植于零场吉布斯自由... HfO_(2)基铁电薄膜的负电容现象提供了解决微纳电子器件功耗问题的可行策略,但其物理图像却一直饱受争议。基于Landau-Devonshire和Landau-Khalatnikov方程,对铁电HfO_(2)/介质双层体系开展了理论模拟。结果表明:根植于零场吉布斯自由能及准静态极化-电场曲线的准静态负电容理论,难以如实反映极化-电场动态演化轨迹。与准静态负电容理论的预言不同,HfO_(2)/介质体系的负电容强烈依赖于介质层分压效应,具有瞬态属性。回滞现象与Landau-Khalatnikov方程中的阻尼系数相关,本质上起源于热耗散过程,基于电容匹配原理很难完全消除回滞。与阻尼系数相关的热耗散随频率增大而急剧增加,因此负电容场效应晶体管并不适用于高频应用领域。该研究有助于深入理解HfO_(2)基体系中的负电容物理起源。 展开更多
关键词 负电容 极化-电压曲线 回滞 吉布斯自由能 热耗散 氧化铪基铁电材料
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高度有序TiO_2纳米管阵列的制备及其光催化性能研究 被引量:8
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作者 兰宇卫 周立亚 +4 位作者 童张法 庞起 冷利民 韩建鹏 王凡 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期507-512,共6页
室温下在NH4F、乙二醇的混合溶液中采用阳极氧化法在纯Ti片表面得到一层结构高度有序、分布均匀、垂直取向TiO2纳米管阵列,通过调整阳极氧化工艺条件可实现对其结构参数(如管径、管壁厚度、管长等)的有效控制;对TiO2纳米管阵列进行扫描... 室温下在NH4F、乙二醇的混合溶液中采用阳极氧化法在纯Ti片表面得到一层结构高度有序、分布均匀、垂直取向TiO2纳米管阵列,通过调整阳极氧化工艺条件可实现对其结构参数(如管径、管壁厚度、管长等)的有效控制;对TiO2纳米管阵列进行扫描电子显微镜(SEM)、X-射线衍射(XRD)检测;测试了TiO2纳米管降解甲基橙的光催化性能。结果表明:在优化条件下制备得到了高密度排列的TiO2纳米管阵列;在500 W高压汞灯照射40 min后,初始摩尔浓度为20 mg·L-1的甲基橙在pH=2.0时,降解率达到99.4%,溶液中加入H2O2可以提高TiO2纳米管光降解催化活性。 展开更多
关键词 TIO2纳米管阵列 阳极氧化 乙二醇 光催化降解
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高Al组分AlGaN多量子阱结构材料发光机制探讨 被引量:6
9
作者 李金钗 季桂林 +5 位作者 杨伟煌 金鹏 陈航洋 林伟 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期513-518,共6页
紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外... 紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外延生长了表面平整、界面清晰可辨且陡峭的高Al组分AlGa N多量子阱结构材料,并对其进行变温光致发光谱测试,结合数值计算,深入探讨了Al Ga N量子阱的发光机制。研究表明,量子阱中具有很强的局域化效应,其发光和局域激子的跳跃息息相关,而发光的猝灭则与局域激子的解局域以及位错引起的非辐射复合有关。 展开更多
关键词 ALGAN 多量子阱结构 深紫外LED 发光机制
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InGaN量子点的诱导生长和发光特性研究 被引量:2
10
作者 李昱峰 韩培德 +6 位作者 陈振 黎大兵 王占国 刘祥林 陆大成 王晓晖 汪度 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期380-384,T001,共6页
降低InGaN的维数是提高GaN基发光器件发光效率的一种非常有效的方法,本文的工作主要集中在高密度InGaN量子点的生长和分析上。在MOCVD设备上,经过钝化和低温两个特殊工艺条件,在高温GaN表面生长了一层低温岛状GaN,形成表面形貌的起伏,... 降低InGaN的维数是提高GaN基发光器件发光效率的一种非常有效的方法,本文的工作主要集中在高密度InGaN量子点的生长和分析上。在MOCVD设备上,经过钝化和低温两个特殊工艺条件,在高温GaN表面生长了一层低温岛状GaN,形成表面形貌的起伏,进而导致表面应力的不均匀分布。在这一层低温岛状GaN的诱导性作用下生长并形成InGaN量子点。通过原子力显微镜、透射电子显微镜和光致发光谱对其微观形貌和光学性质进行了观察和研究。从原子力显微镜以及透射电子显微镜观察得到的结果表明:InGaN量子点为平均直径约30nm、高度约25nm、分布较均匀的圆锥,其密度约1011cm-2。室温下,InGaN量子点材料的PL谱强度大大超出相同条件生长的InGaN薄膜材料。这些现象表明,用InGaN量子点代替普通InGaN薄膜,有望获得发光效率更高的GaN基发光器件。 展开更多
关键词 INGAN 量子点 诱导生长 发光特性 微观形貌 氮镓铟化合物 半导体
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神舟飞船生长GaMnSb材料过程及性能分析 被引量:2
11
作者 张富强 陈诺夫 +2 位作者 吴金良 钟兴儒 林兰英 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期455-461,共7页
利用神舟3号飞船(SZ-3)上的多样品空间晶体炉制备出GaMnSb材料.所设计的石英安瓿使用氧化铝棉毡和特殊设计制造的氮化硼坩锅进行减震,经受住了严峻的力学环境的考验,完成了材料的空间生长实验,达到了空间生长材料的初步要求.对空间生长... 利用神舟3号飞船(SZ-3)上的多样品空间晶体炉制备出GaMnSb材料.所设计的石英安瓿使用氧化铝棉毡和特殊设计制造的氮化硼坩锅进行减震,经受住了严峻的力学环境的考验,完成了材料的空间生长实验,达到了空间生长材料的初步要求.对空间生长的GaMnSb晶体进行了X射线能谱分析和X射线衍射分析,发现空间生长的GaMnSb是多晶结构.对未获得GaMnSb单晶的原因进行了分析,发现空间晶体炉温度的波动和提供能量的不足是导致生成GaMnSb多晶结构的主要原因.由于在晶体生长的初始阶段晶体炉提供的能量不足,使GaSb单晶部分未能熔化,从而导致GaMnSb材料的生长在没有籽晶的情况下进行. 展开更多
关键词 神舟3号飞船 微重力 GaMnSb 稀磁半导体 X射线衍射 多晶结构
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InSb光学带隙的掺杂调控研究 被引量:2
12
作者 张兴旺 吴金良 尹志岗 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期420-423,共4页
利用布里奇曼法进行了InAsSb半导体合金的生长,并对其结构、光学及电学特性进行了表征.研究发现,As替位掺杂造成X射线(111)衍射峰略微右移,同时其半高宽明显展宽.基于X射线衍射数据,利用Vegard定律计算出的As组分与能谱测量得到的结果... 利用布里奇曼法进行了InAsSb半导体合金的生长,并对其结构、光学及电学特性进行了表征.研究发现,As替位掺杂造成X射线(111)衍射峰略微右移,同时其半高宽明显展宽.基于X射线衍射数据,利用Vegard定律计算出的As组分与能谱测量得到的结果基本吻合.此外,As的掺入使得材料背景载流子浓度略有上升.傅里叶变换红外光谱结果显示,As的替入使得材料带隙明显变小,拟合得到的光学带隙与通过Woolley-Warner经验公式得到的值定性一致.研究结果表明,As掺杂是减小InSb带隙,开拓其面向第二个大气窗口红外探测应用的有效途径. 展开更多
关键词 红外探测 带隙 布里奇曼法 掺杂 微重力
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Si纳米线的生长机制及其研究进展 被引量:2
13
作者 彭英才 X.W.Zhao +1 位作者 范志东 白振华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期429-436,共8页
Si纳米线及其阵列是近年内新发展起来的准一维半导体光电信息材料,在场效应器件、单电子存储器件、光探测器件、场发射器件、纳米传感器件和高效率发光器件以及集成技术中具有潜在的应用。本文以气-液-固(VLS)生长机制为主线,介绍与评... Si纳米线及其阵列是近年内新发展起来的准一维半导体光电信息材料,在场效应器件、单电子存储器件、光探测器件、场发射器件、纳米传感器件和高效率发光器件以及集成技术中具有潜在的应用。本文以气-液-固(VLS)生长机制为主线,介绍与评论了近5年来Si纳米线在制备与合成技术方面所取得的一些最新进展。其主要内容包括Si纳米线的各种金属催化生长和氧化物辅助生长,最后指出了今后该研究的发展方向。 展开更多
关键词 SI纳米线 气-液-固生长 金属催化生长 氧化物辅助生长 光电器件应用
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基于放大反馈激光器高速全光时钟提取的研究 被引量:1
14
作者 王黎 孙瑜 +4 位作者 赵晓凡 娄采云 陆丹 赵玲娟 王圩 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期1-3,共3页
为了研究放大反馈激光器全光时钟提取的性能,采用单边带相位噪声功率谱积分的方法,对40Gbit/s无恶化信号和噪声恶化信号分别进行了时钟提取实验,计算了所提取时钟的时间抖动。同时还测量了放大反馈激光器的锁定范围。通过实验取得了恶... 为了研究放大反馈激光器全光时钟提取的性能,采用单边带相位噪声功率谱积分的方法,对40Gbit/s无恶化信号和噪声恶化信号分别进行了时钟提取实验,计算了所提取时钟的时间抖动。同时还测量了放大反馈激光器的锁定范围。通过实验取得了恶化前后所提取时钟的时间抖动分别为130fs和150fs,放大反馈激光器的锁定范围为234MHz。结果表明,基于放大反馈激光器的全光时钟提取方案对噪声恶化具有较强的容忍度,而且具有较宽的锁定范围。这一结果对于全光时钟提取技术的进一步发展具有重要意义。 展开更多
关键词 光通信 全光时钟提取 放大反馈激光器 时间抖动 锁定范围
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光致发光谱研究自组织InAs双模量子点态填充
15
作者 贾国治 姚江宏 +4 位作者 张春玲 舒强 刘如彬 叶小玲 王占国 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2178-2181,共4页
采用固态源分子束外延技术在GaAs(100)衬底上,制备了InAs量子点,对样品进行原子力显微镜测试,统计结果表明量子点尺寸呈双模分布。光致发光谱研究表明,在室温和77K下,小量子点的发光峰均占主导地位,原因可能是:(1)大量子点的态密度小于... 采用固态源分子束外延技术在GaAs(100)衬底上,制备了InAs量子点,对样品进行原子力显微镜测试,统计结果表明量子点尺寸呈双模分布。光致发光谱研究表明,在室温和77K下,小量子点的发光峰均占主导地位,原因可能是:(1)大量子点的态密度小于小量子点;(2)捕获载流子速率,大量子点小于小量子点;(3)大量子点与盖层存在较大的应变势垒和可能出现的位错和缺陷,导致温度变化引起载流子从小尺寸量子点转移到大尺寸的量子点中概率很小。 展开更多
关键词 光致发光谱 量子点 双模分布 态填充
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R面、C面蓝宝石上生长的InGaN多层量子点的发光性质研究
16
作者 李昱峰 陈振 +1 位作者 韩培德 王占国 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期451-455,共5页
采用表面钝化和MOCVD低温生长在蓝宝石 (0 0 0 1)面 (即C面 )和蓝宝石 (110 2 )面 (即R面 )上形成了InGaN量子点 ,并构成了该量子点的多层结构。原子力显微镜测试的结果表明单层InGaN量子点平均宽约 40nm ,高约15nm ;而多层量子点上层... 采用表面钝化和MOCVD低温生长在蓝宝石 (0 0 0 1)面 (即C面 )和蓝宝石 (110 2 )面 (即R面 )上形成了InGaN量子点 ,并构成了该量子点的多层结构。原子力显微镜测试的结果表明单层InGaN量子点平均宽约 40nm ,高约15nm ;而多层量子点上层的量子点则比单层的InGaN量子点大。R面蓝宝石衬底上生长的InGaN量子点和C面蓝宝石衬底上生长的InGaN量子点相比 ,其PL谱不仅强度高 ,而且没有多峰结构。这是由于在C面蓝宝石衬底上生长的InGaN/GaN多层量子点沿生长方向 [0 0 0 1]存在较强的内建电场 ,而在R面蓝宝石衬底上得到的多层量子点沿着生长方向 [112 0 ]没有内建电场。InGaN量子点变温光致发光 (PL)谱研究发现量子点相关的峰有快速红移现象 ,这是量子点系统所特有的PL谱特征。用在R面蓝宝石上生长的InGaN量子点作有源层有望避免内建电场的影响 ,得到高量子效率且发光波长稳定的发光器件。 展开更多
关键词 R面 C面 蓝宝石 INGAN 多层量子点 发光性质 研究 MOCVD
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氮化镓材料中质子输运过程的模拟
17
作者 张明兰 张晓倩 +1 位作者 杨瑞霞 狄炤厅 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期648-651,共4页
对入射能量为50keV~3MeV的质子在氮化镓(GaN)材料中的输运过程进行了Monte-Carlo模拟,得到垂直入射质子在GaN材料中的输运情况、质子与晶格原子作用产生的空位分布特征。模拟结果表明:在厚度固定(3.5μm)的GaN材料中,当入射能量小于300... 对入射能量为50keV~3MeV的质子在氮化镓(GaN)材料中的输运过程进行了Monte-Carlo模拟,得到垂直入射质子在GaN材料中的输运情况、质子与晶格原子作用产生的空位分布特征。模拟结果表明:在厚度固定(3.5μm)的GaN材料中,当入射能量小于300keV时,质子束横向扩展明显,入射离子全部被阻止在材料中;随着入射能量增大,质子束横向扩展减弱,离子穿透几率增大,当能量大于500keV时,入射离子几乎全部从材料中穿出。 展开更多
关键词 GAN 质子 辐射 输运 缺陷
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SiC衬底GaN基HEMT结构材料与器件
18
作者 王晓亮 陈堂胜 +5 位作者 唐健 肖红领 王翠梅 李晋闽 王占国 侯洵 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期202-205,共4页
使用金属有机物化学气相外延(MOCVD)技术在50mm半绝缘6H-SiC衬底上生长了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料。50mmHEMT外延片平均方块电阻为305.3Ω/□,不均匀性为3.85%。使用此材料研制的单管2mm栅宽HEMT,其饱和漏极电流为1.36A/... 使用金属有机物化学气相外延(MOCVD)技术在50mm半绝缘6H-SiC衬底上生长了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料。50mmHEMT外延片平均方块电阻为305.3Ω/□,不均匀性为3.85%。使用此材料研制的单管2mm栅宽HEMT,其饱和漏极电流为1.36A/mm,跨导为460mS/mm。利用内匹配技术对两个2mm栅宽器件进行了合成,输入信号频率8GHz,脉冲下输出功率为34.1W,功率增益为6.1dB,功率附加效率为37.3%。 展开更多
关键词 氮化镓 高电子迁移率晶体管 功率器件
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异质外延立方氮化硼薄膜的微结构研究
19
作者 张兴旺 陈诺夫 +1 位作者 OYEN H-G ZIEMANN P 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第1期23-28,共6页
利用离子束辅助沉积技术在金刚石薄膜衬底上制备立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外谱的结果表明,在高度(001)织构金刚石薄膜衬底上沉积的立方氮化硼薄膜是纯的立方相,而在多晶金刚石薄膜衬底上制备的立方氮化硼薄膜中还含少量的六角氮化硼... 利用离子束辅助沉积技术在金刚石薄膜衬底上制备立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外谱的结果表明,在高度(001)织构金刚石薄膜衬底上沉积的立方氮化硼薄膜是纯的立方相,而在多晶金刚石薄膜衬底上制备的立方氮化硼薄膜中还含少量的六角氮化硼。高分辨透射电镜的分析表明,在金刚石晶粒上异质外延的c BN直接成核于金刚石衬底,界面没有六角氮化硼过渡层;而在含有大量缺陷的晶粒边界,存在六角氮化硼的成核与生长。 展开更多
关键词 立方氮化硼薄膜 衬底 金刚石薄膜 成核 异质外延 高分辨透射电镜 微结构 立方相 红外 晶粒边界
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表面光栅垂直腔面发射激光器偏振特性研究
20
作者 李明 李耀斌 +3 位作者 邱平平 颜伟年 贾瑞雯 阚强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期185-190,共6页
研究了表面光栅结构对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振控制作用。引入表面光栅后,对不同刻蚀深度下的偏振相关的镜面损耗进行了仿真,结果表明表面光栅刻蚀深度在44~130 nm范围内均可实现稳定偏振,具有较大的工艺容差。表面光栅VCSEL在... 研究了表面光栅结构对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振控制作用。引入表面光栅后,对不同刻蚀深度下的偏振相关的镜面损耗进行了仿真,结果表明表面光栅刻蚀深度在44~130 nm范围内均可实现稳定偏振,具有较大的工艺容差。表面光栅VCSEL在基横模工作状态下偏振抑制比(Orthogonal Polarization Suppression Ratio, OPSR)超过20 dB,偏振光谱峰间偏振抑制比达到40 dB,且在多横模状态也实现了有效的偏振控制。为了进一步验证光栅对偏振控制的效果,制作了方向互相垂直的两种表面光栅,具有这两种方向光栅的VCSEL的OPSR均达20 dB以上。测试分析表明表面光栅是VCSEL实现稳定偏振的一种有效手段。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 表面光栅 偏振控制 偏振抑制比
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