我国电子显微镜的研制与生产(英文) 被引量：15

1

作者 姚骏恩 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期345-358,共14页

本文记述了我国研制与生产的各种电子显微镜 ,主要是透射电子显微镜 ,扫描电子显微镜和电子探针X射线微区分析仪。 1 95 8～ 1 95 9年中国科学院长春光学精密机械研究所制成了我国第一台电子显微镜 ,又率先自行设计研制完成 1 0 0kV大... 本文记述了我国研制与生产的各种电子显微镜 ,主要是透射电子显微镜 ,扫描电子显微镜和电子探针X射线微区分析仪。 1 95 8～ 1 95 9年中国科学院长春光学精密机械研究所制成了我国第一台电子显微镜 ,又率先自行设计研制完成 1 0 0kV大型电子显微镜。根据 1 996～ 1 997年国家科委组织的一项调查 ,当时我国拥有 2 0 2 1台电子显微镜 ,包括透射电子显微镜 75 6台 ,扫描电子显微镜 1 1 6 5台 ,合计 1 92 1台。其中 ,进口 91 5台 ,占 4 7.6 % ;我国生产了 1 0 0 6台 ,占 5 2 .4 % ,但大多为中、低档产品。中国科学院北京科学仪器研制中心KYKY ,上海电子光学技术研究所和南京光学仪器厂生产的占国产 1 0 0 6台中的 95 %以上。云南大学 ,北京仪器厂 ,上海第三分析仪器厂和国营 4 5 0 展开更多

关键词 研制 电子显微镜 仪器制造 生产 中国

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纳米测量仪器和纳米加工技术 被引量：14

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作者 姚骏恩 《中国工程科学》 2003年第1期33-37,共5页

纳米科技是当今国际上的一个热点。文章对纳米科技作了简要介绍 ,纳米测量和加工是纳米科技中的一个不可缺少的重要组成部分。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径 :一是发展传统技术 ,主要是电子显微术以及最近发展起来的... 纳米科技是当今国际上的一个热点。文章对纳米科技作了简要介绍 ,纳米测量和加工是纳米科技中的一个不可缺少的重要组成部分。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径 :一是发展传统技术 ,主要是电子显微术以及最近发展起来的聚焦离子束 (FIB) -电子束数控加工中心 ;二是创造新的测量仪器 ,建立新原理和新方法 ,介绍了国内外电子显微镜和扫描探针显微镜这两类纳米测量分析仪器的发展、应用和生产现状。指出我国电子显微仪器和扫描探针显微镜的开发和生产面临困境 ,应尽快建立和加强自己的电子显微仪器和扫描探针显微镜等纳米测量和纳米加工设备制造产业 。 展开更多

关键词 纳米测量仪器 纳米加工技术 纳米科技 电子显微镜 扫描探针显微镜 聚焦离子束-电子束装置

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我国超显微镜的研制与发展 被引量：11

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作者 姚骏恩 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第2期353-370,共18页

本文记述了我国研制的各种超显微镜,包括:透射电镜,扫描电镜,电子探针X射线微区分析仪,电子衍射仪,扫描隧道显微镜,原子力显微镜和光子扫描隧道显微镜的主要性能及发展过程。

关键词 超显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 仪器制造

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纳米结构可重入STM/SEM超高真空多功能系统的研制 被引量：1

4

作者 刘总顺 李启珍 +2 位作者 高素菊 刘其武 袁殿平 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期148-150,共3页

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）分辨率极高，是微观研究的重要仪器；但由于其视场小，样品易受污染等原因，在某些研究工作中的应用受到了限制。扫描电子显微镜（ＳＥＭ）的最低放大倍数在十倍左右，视场可达２０ｍｍ２～３０ｍｍ２（如４ｍ... 扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）分辨率极高，是微观研究的重要仪器；但由于其视场小，样品易受污染等原因，在某些研究工作中的应用受到了限制。扫描电子显微镜（ＳＥＭ）的最低放大倍数在十倍左右，视场可达２０ｍｍ２～３０ｍｍ２（如４ｍｍ×６ｍｍ），可以引导扫描隧道显微镜进入试样预期研究的区域；另外超高真空的扫描电镜的样品室可以为扫描隧道显微镜提供清洁的工作环境，减少样品的污染。超高真空扫描电镜与扫描隧道显微镜的结合，可以弥补扫描隧道显微镜的不足，同时也拓展了扫描电镜的应用领域。本文介绍了集扫描隧道显微镜和扫描电镜于一体的纳米结构可重入ＳＴＭ／ＳＥＭ超高真空多功能系统的基本原理、结构和性能情况。 展开更多

关键词 纳米结构 重入 超高真空 扫描电镜 STM SEM

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电子显微镜的现状与展望 被引量：55

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作者 姚骏恩 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第6期767-776,共10页

本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望。透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，１２０ｋＶ，１００... 本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望。透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，１２０ｋＶ，１００ｋＶ分析电镜，场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等，透射电镜将又一次面临新的重大突破；扫描电子显微镜方面主要有：分析扫描电镜和Ｘ射线能谱仪、Ｘ射线波谱仪和电子探针仪、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜、超大试样室扫描电镜、环境扫描电镜、扫描电声显微镜、测长／缺陷检测扫描电镜、晶体学取向成像扫描电子显微术和计算机控制扫描电镜等。扫描电镜的分辨本领可望达到０．２—０．３ｎｍ并观察到原子像。 展开更多

关键词 透射电子显微镜 扫功电子显微镜 仪器制造

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LS－1型扫描电镜拉伸台 被引量：1

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作者 范士荣 张肇华 +2 位作者 姜新力 刘捷 刘亚琪 《电子显微学报》 CAS CSCD 1995年第2期147-151,共5页

本文着重介绍ＬＳ－１型扫描电镜拉伸台的设计思想与结构特点，文中还有应用实例。

关键词 扫描电镜拉伸台 电镜

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早期电子显微镜制造的回忆 被引量：7

7

作者 黄兰友 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第2期344-352,共9页

本文是作者对我国早期电子显微镜研制的个人回忆,包括对1958年和1959年在中国科学院长春光学精密机械研究所研制我国最早的两台电子显微镜的回忆。

关键词 电子显微镜 中国 制造

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MS—10质谱计控制器的改造

8

作者 桑海清 潘谷臣 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1992年第4期48-53,共6页

A.E.I.MS—10质谱计控制器是一台电子管电路仪器。本工作采用集成电路代替加以改造,使新控制器获得了良好的稳定性。放大器的测量范围从10mV—10V扩大到10mV—100V,测量误差为±0.5%以内,适用于K—Ar和^(40)Ar—^(39)Ar定年。

关键词 质谱计 控制器 集成电路 改造

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1000B型SEM普通三极电子枪低加速电压像的改进

9

作者 姜新力 章一鸣 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第1期63-67,共5页

通过对kyky—1000B型扫描电镜普通三极电子枪的不同几何尺寸、低加速电压下的束斑直径电子枪亮度、信噪比的测量,以及对低压高倍像的观察,探讨了观察低压象的条件。实验表明,在正常状态下加速电压低于5KV时,由于空间电荷效应,电子束斑... 通过对kyky—1000B型扫描电镜普通三极电子枪的不同几何尺寸、低加速电压下的束斑直径电子枪亮度、信噪比的测量,以及对低压高倍像的观察,探讨了观察低压象的条件。实验表明,在正常状态下加速电压低于5KV时,由于空间电荷效应,电子束斑点急骤加大;亮度急骤下降;致使图象分辩率变坏;S/N差,观察较高倍率很困难。对不同加速电压下缩短1000B SEM的阳—栅极间距离,使电子束斑直径明显减小,亮度提高半个数量级,使图象分辩得到明显改善。 展开更多

关键词 SEM 电子枪 加速电压像 生物样品

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电子轰击型离子源磁场方向的探讨

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作者 王理 刘志欣 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1994年第3期28-31,共4页

本文报道对尼尔型离子源的改进试验。

关键词 电子轰击型 离子源 磁场方向

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高分辨飞行时间质谱仪的原理及设计 被引量：5

11

作者 郁昆云 彭建和 +10 位作者 韩俊 高松梅 周红华 相秉仁 盛龙生 王珣 张蕾 黄水英 汪国良 李士丽 王成智 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1998年第1期6-11,共6页

讨论了影响飞行时间质谱仪分辨率的因素，包括基质辅助激光解吸离子化所产生的对分辨率的影响因素。参照近代文献资料，提出了自行设计制造的飞行时间质谱仪的基本设计方案，指出这种仪器在我国的应用前景。

关键词 飞行时间质谱仪 TOFMS 原理 设计 分辨率

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CAMECA IMS—4F离子探针的灵敏度分析 被引量：1

12

作者 刘容 韩象明 王理 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1992年第2期11-18,共8页

本文叙述在CAMECA IMS—4F离子探针上利用各种方法进行灵敏度测试的实验结果,并与各国离子探针的灵敏度进行对比,从而进一步证实了在国产LT-1A离子探针上的实验数据和分析结果是正确的。

关键词 离子探针 灵敏度 质谱仪

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扫描电镜自动样品台控制系统 被引量：2

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作者 刘其武 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第1期76-80,共5页

本文主要从自动样品台控制系统的功能分析、设计原理以及运作过程的角度阐述其开发设计的基本思想与所采用方案,并通过对其性能、结构特点等的介绍表明系统具有相对独立性和扩展性,可对不同的电镜样品台进行改造。

关键词 扫描电子显微镜 样品台控制系统 功能分析

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从解析角度试论SEM分辨率 被引量：1

14

作者 汪滨 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第9期82-86,共5页

对于一个电子光学系统我们在考虑了各静电透镜和电磁透镜的球差、色差、衍射和高斯像斑之后。用解析的方法求出了上靶束径的条件极值,得到了最佳放大倍数和最佳孔径角的解析表达式,反过来这为完善该系统的设计提供了依据与途径。还证明... 对于一个电子光学系统我们在考虑了各静电透镜和电磁透镜的球差、色差、衍射和高斯像斑之后。用解析的方法求出了上靶束径的条件极值,得到了最佳放大倍数和最佳孔径角的解析表达式,反过来这为完善该系统的设计提供了依据与途径。还证明了d作为a和M的函数在无条件限制下不存在最佳值。 展开更多

关键词 孔径角 扫描电镜 分辨率 解析法

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一种附有过滤噪声场的离子阱质谱计 被引量：1

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作者 王梦瑞 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1997年第1期70-73,共4页

本文介绍一种由TeledneElectronicTecbndogies公司最近获得专利的带有过滤噪声场（FilteredNoiseField，简称FNF^TM）的离子阱质谱计，此项专利显著地改善了仪器的灵敏度和离子阱质谱计的特性。

关键词 过滤噪声场 离子阱质谱计 三维四极

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一种用于电子探针的计算机控制数字图像分析系统

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作者 马瑗 张秀 +5 位作者 任刚 杨红云 罗鸣华 刘世远 索志成 张永明 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期660-661,共2页

随着计算机及数字图像处理和分析技术的飞速发展，电子光学类仪器已不再满足于原始的显微形貌观察和图像记录方式，正在向综合智能化发展，其最具代表性的就是计算机控制和数字成像及处理分析能力。我们结合多年从事分析仪器的开发、制... 随着计算机及数字图像处理和分析技术的飞速发展，电子光学类仪器已不再满足于原始的显微形貌观察和图像记录方式，正在向综合智能化发展，其最具代表性的就是计算机控制和数字成像及处理分析能力。我们结合多年从事分析仪器的开发、制造和应用研究经验，在一台日本电子公... 展开更多

关键词 数字式 图像分析系统 电子探针 计算机控制

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基于PCI总线的扫描电镜图像采集系统

17

作者 段呈昕 罗鸣华 张永明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期79-82,共4页

图像采集系统是扫描电镜的一个重要组成部分 ,用于控制扫描电镜的扫描电源 ,视频图像采集、数字化与显示 ,电镜主控计算机与底层微机板的通讯和电镜照相。本图像采集系统基于PCI总线接口设计 ,硬件主要设计采用FPGA技术 ,实现了数字电... 图像采集系统是扫描电镜的一个重要组成部分 ,用于控制扫描电镜的扫描电源 ,视频图像采集、数字化与显示 ,电镜主控计算机与底层微机板的通讯和电镜照相。本图像采集系统基于PCI总线接口设计 ,硬件主要设计采用FPGA技术 ,实现了数字电路的模块化设计 ,集成度和灵活性高。目前 。 展开更多

关键词 扫描电镜 图像采集 PCI总线 现场可编程门阵列 照相 扫描电子显微镜

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非对称磁透镜物镜的数字计算

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作者 孙占峰 Michael Rauscher +1 位作者 Erich Plies 张永明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期358-361,共4页

采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜 (SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计。本文通过采用已发表的通用数据和用软件计算实际透镜得到的数据来计算电子束斑直径 ,研究非对称透镜物镜的光学特性。

关键词 扫描电子显微镜 球差 色差 衍射 束斑尺寸 物镜计算

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电子通道技术在YBa＿2Cu＿3O＿7外延超导薄膜研究中的应用

19

作者 张存 张会珍 +2 位作者 熊光成 连贯君 李林涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第3期208-212,共5页

本研究采用电子通道技术（ＥＣＰ）对单晶和双晶外延生长的ＹＢａ＿２Ｃｕ＿３Ｏ＿７（ＹＢＣＯ）超导薄膜的结构、取向和表面完好性作检测，并证实对衬底的预处理可改善外延超导薄膜的质量；还对ＹＢＣＯ／ＣｅＯ＿２／ＭｇＯ／ＳｒＴ... 本研究采用电子通道技术（ＥＣＰ）对单晶和双晶外延生长的ＹＢａ＿２Ｃｕ＿３Ｏ＿７（ＹＢＣＯ）超导薄膜的结构、取向和表面完好性作检测，并证实对衬底的预处理可改善外延超导薄膜的质量；还对ＹＢＣＯ／ＣｅＯ＿２／ＭｇＯ／ＳｒＴｉＯ３的双外延薄膜作研究。 展开更多

关键词 电子通道图 外延超导薄膜 电子显微镜

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在给定探针直径的条件下获取最大的上靶束流

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作者 汪滨 黄兰友 《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第1期53-57,共5页

对于一个电子探针系统，我们在考虑了它的球差、色差、衍射以及高斯斑大小的条件下，推导出了一个获得最佳放大倍数和孔径角的公式，这些最佳值可确保该系统在给定探针直径的条件下获得最大的上靶束流。本文中还将阐明：给定束径下使束... 对于一个电子探针系统，我们在考虑了它的球差、色差、衍射以及高斯斑大小的条件下，推导出了一个获得最佳放大倍数和孔径角的公式，这些最佳值可确保该系统在给定探针直径的条件下获得最大的上靶束流。本文中还将阐明：给定束径下使束流最大的最佳条件可同时满足在束流一定时使束径达到最小。本文并以一个实例说明上述公式的使用。 展开更多

关键词 电子探针 直径 上靶束流

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