期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究
被引量：
4
1
作者
杜春雷
邱传凯
+3 位作者
邓启凌
潘丽
白临波
王永茹
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期1-4,共4页
在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平...
在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。
展开更多
关键词
微透镜列阵
红外探测器
集成芯片
热成像
在线阅读
下载PDF
职称材料
RIE精确传递微光学三维结构于红外材料的方法
被引量：
1
2
作者
邱传凯
杜春雷
+2 位作者
潘丽
曾红军
王永茹
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1999年第9期849-852,共4页
本文对红外光学材料锗的蚀刻性能、机制进行了深入的研究，在反应离子蚀刻（ＲＩＥ）实验基础上，建立了锗材料蚀刻性能与ＲＩＥ工艺参量的关系，经过大量的实验，找到了稳定蚀刻速率的方法和条件。
关键词
反应离子蚀刻
微浮雕结构
蚀刻率
红外材料
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究
被引量：
4
1
作者
杜春雷
邱传凯
邓启凌
潘丽
白临波
王永茹
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点开放实验室
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期1-4,共4页
基金
国防预研项目
文摘
在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。
关键词
微透镜列阵
红外探测器
集成芯片
热成像
Keywords
Detectors
Energy utilization
Infrared imaging
Silicon
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
RIE精确传递微光学三维结构于红外材料的方法
被引量：
1
2
作者
邱传凯
杜春雷
潘丽
曾红军
王永茹
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点开放实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1999年第9期849-852,共4页
文摘
本文对红外光学材料锗的蚀刻性能、机制进行了深入的研究，在反应离子蚀刻（ＲＩＥ）实验基础上，建立了锗材料蚀刻性能与ＲＩＥ工艺参量的关系，经过大量的实验，找到了稳定蚀刻速率的方法和条件。
关键词
反应离子蚀刻
微浮雕结构
蚀刻率
红外材料
Keywords
Reactive ion etching
Micro relief profile
Etching rate
分类号
TN405.983 [电子电信—微电子学与固体电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究
杜春雷
邱传凯
邓启凌
潘丽
白临波
王永茹
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
RIE精确传递微光学三维结构于红外材料的方法
邱传凯
杜春雷
潘丽
曾红军
王永茹
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1999
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
