-
题名可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析
被引量：2
- 1
-
-
作者
许嘉俊
邢廷文
-
机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院大学
-
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期64-70,共7页
-
文摘
干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备,其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生参考波,理论上的检测精度能够达到纳米及纳米以下。基于有限元方法,计算了300～400nm直径针孔,在膜层厚度300nm时,存在不同形状误差时,衍射参考波前与理想波面的偏差。同时,针孔形状误差引入的衍射参考波前像差也进行了分析。针孔椭圆截面长轴为380nm,短轴为320nm时,衍射波面误差约为0.9e-3λ。
-
关键词
光学检测
点衍射干涉仪
矢量衍射
波前分析
-
Keywords
optical testing
point diffraction interferometer
vector diffraction
wave-front analysis
-
分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
TN247
[电子电信—物理电子学]
-
