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题名光学元件磁流变加工不确定度误差工艺方法
被引量：2
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作者
高博
范斌
王佳
吴湘
辛强
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机构
光场调控科学技术全国重点实验室
中国科学院先进光学研制中心
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第3期203-212,共10页
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基金
国家重点研发计划项目(2021YFC2202101)。
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文摘
为减少磁流变抛光过程中误差对加工精度的影响,实现光学元件磁流变高精度加工,采用一种不确定度误差工艺方法对加工中的误差进行抑制。通过对磁流变加工过程中的位置误差和去除函数误差进行不确定度分析,在理论分析与实验分析的基础上进行验证实验。由仿真与实验结果可知,加工中面形误差与中频误差均存在3.5 nm的不确定度误差值,通过验证实验,得到了加工后的面形误差RMS值为20 nm,中频误差RMS值为14 nm。结果表明,采用误差不确定度的方法可优化加工工艺流程,减少误差对加工过程的影响,可以达到不确定度下的面形精度。该方法为磁流变高精度确定性加工以及面形误差与中频误差的抑制问题提供了一种解决方案。
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关键词
光学加工
面形误差
磁流变抛光
中频误差
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Keywords
optical manufacturing
surface error
magnetorheological finishing
mid-spatial error
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分类号
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名一种评价磁流变抛光工艺误差抑制能力的方法
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作者
高博
范斌
王佳
吴湘
辛强
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机构
中国科学院光场调控科学技术全国重点实验室
中国科学院先进光学研制中心
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
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出处
《激光技术》
北大核心
2025年第1期135-143,共9页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2021YFC2202101)。
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文摘
为了分析磁流变加工过程中去除函数对加工精度的影响以及去除函数的抗中频误差性能,采用平滑谱方法对加工中误差抑制能力进行了评估。通过非球面光学元件对平滑谱方法及传统功率谱方法进行了理论分析、仿真实验及实验验证,采用平滑谱方法及传统功率谱方法分析了去除函数对非球面光学元件的面形误差和中频误差的抑制能力。结果表明,平滑谱方法对加工中误差抑制能力即去除函数可修正的面形误差值为0.22 mm-1;平滑谱函数可直观地判断去除函数对面形误差和中频误差的抑制能力,并可明确地定量化判断中频误差的变化规律。此方法为磁流变加工中误差抑制能力的评估问题提供了一种解决方案。
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关键词
光学制造
误差评价
平滑谱曲线
中频误差
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Keywords
optical fabrication
error evaluation
smooth spectral curve
mid-spatial error
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分类号
TN205
[电子电信—物理电子学]
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