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中国科学院上海光学精密机械研究所鬼成像理论研究的若干进展(特邀) 被引量:3
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作者 刘震涛 胡晨昱 +2 位作者 童智申 褚春艳 韩申生 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第12期33-50,共18页
相比利用光场的一阶关联实现物空间与像空间一一对应的传统成像,鬼成像基于光场的二阶关联实现物空间与像空间的一一对应,从而获取物体图像信息。通过引入光场涨落调制和计算重构,鬼成像不仅可以具有更高的信息获取效率,而且提升了图像... 相比利用光场的一阶关联实现物空间与像空间一一对应的传统成像,鬼成像基于光场的二阶关联实现物空间与像空间的一一对应,从而获取物体图像信息。通过引入光场涨落调制和计算重构,鬼成像不仅可以具有更高的信息获取效率,而且提升了图像信息获取方式的灵活性,能够具备传统成像所不具备的成像能力。随着鬼成像在系统优化及技术应用方面的进一步发展,对鬼成像理论也提出了新的要求和挑战。文中分别从鬼成像的物理本质、图像信息获取理论及理论分辨率研究三方面介绍了中国科学院上海光学精密机械研究所近期在鬼成像理论上的若干研究工作,并对今后鬼成像的理论研究工作进行了展望。 展开更多
关键词 成像系统 鬼成像 压缩感知 图像重建误差 Fisher信息 衍射极限
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上海超强超短激光实验装置研制进展——专访中国科学院上海光学精密机械研究所李儒新院士 被引量:2
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作者 《强激光与粒子束》编辑部 李儒新 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期2-4,共3页
超强超短激光的发展与应用是国际激光科技的最新前沿与竞争重点领域。当前,超强超短激光正处于取得重大科技突破和开拓重大应用的关键阶段。而中国科学家可望在此领域取得重大突破并在世界上占有一席之地。这既是重大挑战,更是难得的机... 超强超短激光的发展与应用是国际激光科技的最新前沿与竞争重点领域。当前,超强超短激光正处于取得重大科技突破和开拓重大应用的关键阶段。而中国科学家可望在此领域取得重大突破并在世界上占有一席之地。这既是重大挑战,更是难得的机遇。上海超强超短激光实验装置(SULF)作为我国正在建设的大科学装置之一,是上海建设具有全球影响力的科创中心、打造世界级重大科技基础设施集群的首批重大项目之一。 展开更多
关键词 激光科技 大科学装置 中国科学院 重大科技基础设施 全球影响力 科创中心 研制进展 关键阶段
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微重力环境下超冷原子物理研究
3
作者 李琳 汪斌 +3 位作者 周小计 陈徐宗 李唐 刘亮 《空间科学学报》 北大核心 2025年第1期29-55,共27页
中国空间站的发展和建成为微重力环境下超冷原子物理的研究及其应用提供了必要的实验条件.2022年10月31日,中国科学院上海光学精密机械研究所联合北京大学研制的中国空间站超冷原子物理实验柜(简称超冷柜)搭载梦天实验舱进入中国空间站... 中国空间站的发展和建成为微重力环境下超冷原子物理的研究及其应用提供了必要的实验条件.2022年10月31日,中国科学院上海光学精密机械研究所联合北京大学研制的中国空间站超冷原子物理实验柜(简称超冷柜)搭载梦天实验舱进入中国空间站.超冷柜的主要目标是在中国空间站建成以87Rb玻色–爱因斯坦凝聚(Bose-Einstein Condensate,BEC)为工作物质的超冷原子物理实验平台,基于微重力环境优势利用两级交叉光束冷却(Two-Stage Crossed Beams Cooling,TSCBC)的实验方案获得皮-开尔文(picoKelvin,pK)量级的超冷原子,在微重力环境下通过调控以及观察极低温超冷原子以发现新奇的物理现象.本文介绍了BEC的实现和深度冷却实验方案,以及微重力环境下超冷原子物理研究与应用领域所取得的一系列进展;详细介绍了超冷柜的设计方案以及地面验证实验.到目前为止,超冷柜按照预期持续开展微重力环境下的超冷原子物理研究,在轨连续运行时间超过2年,取得了初步的实验结果,实现了超冷柜作为微重力环境下超冷原子物理实验平台的主要目标. 展开更多
关键词 玻色-爱因斯坦凝聚 超冷原子 中国空间站 微重力环境
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单晶光纤的包层结构制备研究进展
4
作者 陈逸翀 程跃 +3 位作者 王亚飞 邵冲云 于春雷 胡丽丽 《材料导报》 北大核心 2025年第11期42-52,共11页
单晶光纤兼具光纤的结构优势与晶体的优良物理性能,在高功率激光和高温传感等领域具有广泛的应用前景。目前,导模法(EFG)、微下拉法(μ-PD)和激光加热基座法(LHPG)等技术可生产百微米级单晶光纤,其中LHPG法可生产直径小于100μm的单晶... 单晶光纤兼具光纤的结构优势与晶体的优良物理性能,在高功率激光和高温传感等领域具有广泛的应用前景。目前,导模法(EFG)、微下拉法(μ-PD)和激光加热基座法(LHPG)等技术可生产百微米级单晶光纤,其中LHPG法可生产直径小于100μm的单晶光纤。然而,晶体生长无法直接形成匹配的光学包层,限制了单晶光纤的发展。在过去40年里,单晶光纤包层制备技术已取得了许多进展,通过外包玻璃、晶体、多晶材料或飞秒激光改性大大提升了单晶光纤的应用潜力。本文系统地概述了各晶体生长技术的特点,并以蓝宝石(α-Al_(2)O_(3))和钇铝石榴石(YAG)单晶光纤为例,总结了各单晶光纤包层制备方法的优势和局限性,最后展望了单晶光纤包层结构制备的未来发展和应用。 展开更多
关键词 单晶光纤 激光加热基座法 光纤包层 钇铝石榴石 蓝宝石
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激光焦斑尺寸对极紫外辐射影响的理论研究
5
作者 蓝翔 李学成 +3 位作者 杨顺熠 唐桧波 况龙钰 胡广月 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第5期52-66,共15页
为了解激光焦斑尺寸对极紫外转换效率影响及产生影响的物理机制,通过理论解析的方式提出了激光烧蚀平面靶产生冕区等离子体的二维瞬态膨胀模型来研究激光焦斑对极紫外光转换效率的影响。发现在激光光强7.45×10^(10) W/cm^(2)、半... 为了解激光焦斑尺寸对极紫外转换效率影响及产生影响的物理机制,通过理论解析的方式提出了激光烧蚀平面靶产生冕区等离子体的二维瞬态膨胀模型来研究激光焦斑对极紫外光转换效率的影响。发现在激光光强7.45×10^(10) W/cm^(2)、半高全宽5 ns、波长1 064 nm时,随着激光焦斑半径从60μm增大到300μm,相应地极紫外转换效率从1%增大到5.5%;而焦斑半径大于300μm后,相应地极紫外转换效率保持在5.5%。这是由于激光烧蚀平面靶产生的冕区等离子体从初始的一维膨胀到随后的二维膨胀过程决定了发射极紫外光的等离子体区的饱和尺寸,并最终决定了极紫外光的转换效率。转换效率随焦斑半径变化的趋势可以解释激光烧蚀锡靶实验观察到的物理现象。 展开更多
关键词 激光等离子体 极紫外辐射 激光焦斑尺寸 理论解析 二维膨胀
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空间科学用COTS元器件的质量与可靠性保证研究 被引量:4
6
作者 李永正 党炜 +2 位作者 吕德胜 张泽明 梁兆刚 《电子产品可靠性与环境试验》 2014年第5期37-42,共6页
商用货架(COTS)元器件具有高性能、低成本、易采购和短货期等优点,但是,在有高可靠性要求的空间领域使用存在一定的风险。为了探索COTS元器件空间应用的可行性,对几种空间科学用COTS元器件质量保证过程中出现的问题进行了研究,分析了问... 商用货架(COTS)元器件具有高性能、低成本、易采购和短货期等优点,但是,在有高可靠性要求的空间领域使用存在一定的风险。为了探索COTS元器件空间应用的可行性,对几种空间科学用COTS元器件质量保证过程中出现的问题进行了研究,分析了问题机理,以及可能造成的失效。根据环境剖面和元器件特点,制定了有针对性的元器件质量保证方案,预计了COTS元器件质量保证后在空间应用的可靠性,并通过环境与可靠性试验得到验证,结果证明COTS元器件的空间应用是可行的。 展开更多
关键词 商用货架元器件 空间应用 可靠性
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光纤飞秒光梳频率精密控制的研究 被引量:1
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作者 刘星洋 周大伟 +3 位作者 戴少阳 刘立洋 马兆远 陈徐宗 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期543-548,共6页
新一代光纤飞秒光梳在精密测量和基础物理研究领域中有着广阔的前景,一种通过数字电荷泵锁相环和温控电路相结合的方法可以精密控制光纤飞秒光梳。成功搭建了光纤飞秒光梳系统。光梳的重复频率为129 MHz,初始频率大约为33 MHz。通过自... 新一代光纤飞秒光梳在精密测量和基础物理研究领域中有着广阔的前景,一种通过数字电荷泵锁相环和温控电路相结合的方法可以精密控制光纤飞秒光梳。成功搭建了光纤飞秒光梳系统。光梳的重复频率为129 MHz,初始频率大约为33 MHz。通过自主研发的温控和数字电荷泵锁相环成功地把光纤飞秒光梳锁定在了由Agilent PSG Analog Singal Generator提供的标准微波信号上,锁定时间至少长达1天。锁定后重复频率的抖动标准差为0.78 mHz,与基准源同一个数量级且很接近,锁定后初始频率的抖动标准差达8.98 Hz。 展开更多
关键词 激光技术 光纤飞秒光梳 光梳稳频 数字电荷泵锁相环
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泰国铁器时代宝石珠饰的科学研究 被引量:2
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作者 刘珺 刘琦 +1 位作者 刘松 李青会 《宝石和宝石学杂志》 CAS 2020年第1期39-50,共12页
采用能量色散型X射线荧光光谱、共聚焦激光显微拉曼光谱、超景深体式显微系统等多种无损分析技术,结合硅胶覆膜方法,对泰国三乔山遗址出土及泰国、缅甸等地采集的铁器时代宝石珠饰的材质、包裹体、制作加工工艺、产地来源等进行了科学... 采用能量色散型X射线荧光光谱、共聚焦激光显微拉曼光谱、超景深体式显微系统等多种无损分析技术,结合硅胶覆膜方法,对泰国三乔山遗址出土及泰国、缅甸等地采集的铁器时代宝石珠饰的材质、包裹体、制作加工工艺、产地来源等进行了科学研究。化学成分和物相结构测试结果表明,所分析的宝石珠饰样品的矿物类型主要有绿柱石(海蓝宝石)、铁铝榴石、水晶、玉髓等四种。微痕分析结果表明,这批珠饰样品采用了砣具旋磨和球磨两种磨制技术。珠饰穿孔具有4种孔道组合模式,采用了钻石钻头及石质钻头、棒状实心钻头等钻孔工具,钻孔方式有单面钻孔和双面钻孔两种。科技分析结果表明,宝石珠饰样品具有多种材质属性,穿孔特征多样,制作加工工艺差异明显,说明其产地来源应具有多源性,部分珠饰与南亚地区存在紧密联系。 展开更多
关键词 海上丝绸之路 宝石珠饰 材质属性 制作工艺 泰国 东南亚
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高功率激光能量精密测量的研究
9
作者 王瑞华 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期48-48,共1页
高功率激光能量精密测量的研究王瑞华(中国科学院上海光机所上海201800)根据多年来对激光能量测量的研究、能量计的研制以及针对能量计实际使用过程中发现的问题,对高功率激光能量精密测量进行了深入的研究,并提出了进一步提... 高功率激光能量精密测量的研究王瑞华(中国科学院上海光机所上海201800)根据多年来对激光能量测量的研究、能量计的研制以及针对能量计实际使用过程中发现的问题,对高功率激光能量精密测量进行了深入的研究,并提出了进一步提高测量精度的建议。高功率激光能量精... 展开更多
关键词 精密测量 激光能量 高功率 中国科学院 能量计 测量精度 量的研究 实际使用
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空间应用激光薄膜元件研究进展
10
作者 王志皓 王胭脂 +2 位作者 沈自才 贺洪波 邵建达 《航空材料学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期13-22,共10页
随着空间激光技术的不断进步,空间激光系统逐渐向更短应用波长、更长使用寿命、更高应用轨道等方向发展,对薄膜元件提出了更高的性能要求。本文综述国内外主要空间激光器的发展方向,在空间激光系统研制过程中薄膜元件的真空、高低温、... 随着空间激光技术的不断进步,空间激光系统逐渐向更短应用波长、更长使用寿命、更高应用轨道等方向发展,对薄膜元件提出了更高的性能要求。本文综述国内外主要空间激光器的发展方向,在空间激光系统研制过程中薄膜元件的真空、高低温、质子辐射、伽马射线辐射等空间环境损伤效应,以及使役条件(即空间与激光耦合作用)下薄膜的性能演化机理。介绍在高性能空间激光薄膜元件研制技术方面的新进展,结合空间引力波探测、深空探测等未来发展方向对空间激光薄膜元件提出了展望。 展开更多
关键词 空间激光 空间辐射 激光薄膜 引力波探测 深空
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推动激光聚变点火实验研究和关键技术
11
作者 滕晓丽 沈力 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第1期19-25,共7页
2021年8月8日,国家点火装置(National Ignition Facility,NIF)上获得1.3 MJ能量产出,首次达到MJ量级。这一进展使激光聚变研究接近美国国家科学院和国家核安全管理局定义的点火门槛,极大地鼓舞了激光聚变领域的研究人员。此次实验取得... 2021年8月8日,国家点火装置(National Ignition Facility,NIF)上获得1.3 MJ能量产出,首次达到MJ量级。这一进展使激光聚变研究接近美国国家科学院和国家核安全管理局定义的点火门槛,极大地鼓舞了激光聚变领域的研究人员。此次实验取得的成果取决于过去几年整个NIF研究团队的努力,包括理论和数值模拟、诊断技术、制靶技术、黑腔、靶壳以及填充管相关技术。调研了NIF上聚变点火的发展进程,梳理了美国过去十年为推动惯性聚变研究发展在实验和相关技术方面所作的努力,以期对中国激光聚变研究提供参考。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 ICF诊断 制靶技术 激光技术 实验设计 光学元器件
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星载激光雷达全球温室气体探测技术研究与展望
12
作者 吴子童 郭丁 +4 位作者 陈橙 樊纯璨 竹孝鹏 刘继桥 陈卫标 《上海航天(中英文)》 CSCD 2024年第S1期73-84,共12页
气候问题已经成为人类需要采取紧急措施共同面对的一大挑战,温室气体的全球测量对于监测气候状况、了解排放变化等至关重要。激光雷达技术发展日趋成熟,在全球温室气体探测领域展现出巨大潜力。本文首先介绍了主动遥感在温室气体探测方... 气候问题已经成为人类需要采取紧急措施共同面对的一大挑战,温室气体的全球测量对于监测气候状况、了解排放变化等至关重要。激光雷达技术发展日趋成熟,在全球温室气体探测领域展现出巨大潜力。本文首先介绍了主动遥感在温室气体探测方面的优势,随后对当前国内外主要的星载温室气体探测激光雷达ASCENDS、A-SCOPE、MERLIN以及相关的方案进行了总结。最后介绍了国际上首个可以昼夜工作的星载激光雷达温室气体测量系统ACDL及其数据结果,并对未来的星载激光雷达在温室气体测量领域的发展进行了展望。 展开更多
关键词 温室气体 星载激光雷达 ACDL 积分路径差分吸收
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高密度高载钆闪烁玻璃的闪烁性能和中子探测性能研究
13
作者 殷生华 胡鹏 +21 位作者 蔡华 陈丹平 韩纪锋 何冬兵 胡辰 华哲浩 李帅奇 李溦长 刘珊 钱森 秦来顺 任晶 宋瑞强 隋泽萱 孙心瑗 唐高 王志乐 王梓然 温玉锋 杨冬 张明辉 朱瑶 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2024年第6期1034-1042,共9页
闪烁玻璃可以通过改变玻璃基质成分和掺杂元素来调整其闪烁性能以及理化性质,是一种可适应多种应用场景的多功能闪烁材料。闪烁玻璃具有制备工艺相对简单,成本较低,成型加工性能优良、易于大批量生产和规模化生产等优点,在核辐射探测和... 闪烁玻璃可以通过改变玻璃基质成分和掺杂元素来调整其闪烁性能以及理化性质,是一种可适应多种应用场景的多功能闪烁材料。闪烁玻璃具有制备工艺相对简单,成本较低,成型加工性能优良、易于大批量生产和规模化生产等优点,在核辐射探测和高能物理实验中展现了巨大的应用潜力。为了研制满足核辐射探测以及高能物理实验需求的高性能闪烁玻璃材料(即高密度、较高光产额和快衰减),中国科学院高能物理研究所于2021年联合国内多家生产制备闪烁玻璃的高校,科研院所和核探测器研发企业,成立了闪烁玻璃研发合作组,推动高性能闪烁玻璃的研发和应用。本文基于闪烁玻璃合作组近期研发的高密度的高载钆含量的闪烁玻璃样品,探究了其闪烁性能,同时也研究了其对中子的响应,对高载钆闪烁玻璃在核辐射探测,特别是中子探测中的应用进行了初步的探索。研究表明本文测试的玻璃样品的密度能达到6g/cm^(3),光产额大于1000 ph/MeV,且衰减时间接近400 ns。另外玻璃样品能够探测到中子信号,但目前还无法实现有效的中子和伽马事例甄别。 展开更多
关键词 闪烁玻璃 高Gd含量 闪烁性能 中子探测
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面向空间应用的钙钛矿太阳电池研究
14
作者 张国栋 郇正豪 +1 位作者 郑毅帆 邵宇川 《中国航天》 2024年第9期6-12,共7页
随着人类探索太空的不断深入,空间能源的需求日益增长。在砷化镓太阳能电池在空间应用中占据主导地位的同时,新型太阳电池不断涌现。钙钛矿太阳电池作为一种具有巨大潜力的新型太阳电池,因其出色的光电转换效率、可调带隙、高质量比功... 随着人类探索太空的不断深入,空间能源的需求日益增长。在砷化镓太阳能电池在空间应用中占据主导地位的同时,新型太阳电池不断涌现。钙钛矿太阳电池作为一种具有巨大潜力的新型太阳电池,因其出色的光电转换效率、可调带隙、高质量比功率和柔性制造等优势,在空间能源领域引起了广泛关注。但在空间应用中钙钛矿太阳电池仍面临稳定性的严峻考验,未来需要进一步的研究和技术突破,以提升其在空间环境中的长期可靠性和稳定性,推动钙钛矿太阳电池在空间领域的广泛应用。 展开更多
关键词 钙钛矿太阳能电池 空间环境 稳定性 能质比
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紫外激光切割Si片的实验研究 被引量:19
15
作者 楼祺洪 章琳 +2 位作者 叶震寰 董景星 魏运荣 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期250-251,254,共3页
报道了用 193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于 15 μm的切缝及小于 5
关键词 紫外激光 切割 实验 硅片 半导体 柱透镜光学 热劈裂法
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高功率光纤激光器研究进展 被引量:69
16
作者 楼祺洪 周军 +1 位作者 朱健强 王之江 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第2期135-138,共4页
高功率掺镱双包层光纤激光器由于在效率、散热和光束质量方面的优势,在工业加工、医疗和国防等领域具有广泛的应用前景,是目前国际上激光技术研究的热点之一。首先综述了国际上高功率光纤激光器的研究进展情况,然后重点介绍了中国科学... 高功率掺镱双包层光纤激光器由于在效率、散热和光束质量方面的优势,在工业加工、医疗和国防等领域具有广泛的应用前景,是目前国际上激光技术研究的热点之一。首先综述了国际上高功率光纤激光器的研究进展情况,然后重点介绍了中国科学院上海光学精密机械研究所在连续光纤激光和脉冲光纤激光方面所取得的进展,采用双端泵浦技术,在15 m的国产双包层光纤中获得440W的连续输出,采用MOPA方式,以4m长的国产光纤作为放大介质,在100kHz时,获得了133W的平均功率输出。 展开更多
关键词 激光技术 光纤激光器 双包层掺镱光纤
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KDP晶体增透膜和保护膜性能研究 被引量:19
17
作者 张伟清 唐永兴 +3 位作者 乐月琴 蒋敏华 刘小林 孙今人 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期220-224,共5页
报道了溶胶-凝胶工艺制备的KDP晶体保护膜、增透膜和它们的性能。多孔二氧化硅增透膜峰值透射率大于99%,膜层折射率约1.23。对1.06μm,脉宽约1ns的激光,单层膜的激光破坏阈值约10J/cm2左右,有保护膜和增... 报道了溶胶-凝胶工艺制备的KDP晶体保护膜、增透膜和它们的性能。多孔二氧化硅增透膜峰值透射率大于99%,膜层折射率约1.23。对1.06μm,脉宽约1ns的激光,单层膜的激光破坏阈值约10J/cm2左右,有保护膜和增透膜的膜层激光破坏阈值约5~8J/cm2。 展开更多
关键词 KDP晶体 增透膜 保护膜 薄膜性能
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基于稀疏和冗余表象的鬼成像雷达研究进展 被引量:13
18
作者 韩申生 龚文林 +8 位作者 陈明亮 李恩荣 薄遵望 李望 张惠 高昕 邓陈进 梅笑东 王成龙 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第9期2547-2555,共9页
基于稀疏和冗余表象的鬼成像雷达(Ghost Image via Sparsity Constraints,GISC Lidar)是一种结合光场空间涨落特性和现代信息论的全新雷达成像体制,其成像视场和分辨率无关,由此可在探测时采用大视场凝视成像模式捕捉运动目标以对其进... 基于稀疏和冗余表象的鬼成像雷达(Ghost Image via Sparsity Constraints,GISC Lidar)是一种结合光场空间涨落特性和现代信息论的全新雷达成像体制,其成像视场和分辨率无关,由此可在探测时采用大视场凝视成像模式捕捉运动目标以对其进行高分辨率成像探测。与闪光照相雷达需要将目标的反射光信号成像分布在焦平面阵列光电探测器件上相比,GISC雷达只需要一个无空间分辨能力的单像素探测器接收目标场景的全部反射光信号,因此可以极大地提升系统的成像探测灵敏度。此外,GISC雷达在成像探测过程中可以利用图像的各种先验约束,从而突破奈奎斯特采样定理对采样次数的要求,大幅度提高图像的信息获取效率。文中将结合上海光机所将鬼成像技术应用于雷达探测的研究历程,介绍GISC雷达研究进展,并指出GISC雷达工程化实际应用中仍待解决的若干问题。 展开更多
关键词 鬼成像 雷达成像 稀疏和冗余表象 压缩感知 信息论
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4程放大光路自动准直系统研究 被引量:27
19
作者 刘代中 朱健强 +1 位作者 徐仁芳 范滇元 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期582-586,共5页
 激光束光路自动准直系统用于神光 Ⅲ原型装置光束精密准直。针对神光 Ⅲ原型的总体要求和主光路,结合光路自动准直的关键技术,充分考虑了其4程放大主空间滤波器的4个小孔空间分布和光学位置的特点,利用小孔像传递的原理,设计出一套优...  激光束光路自动准直系统用于神光 Ⅲ原型装置光束精密准直。针对神光 Ⅲ原型的总体要求和主光路,结合光路自动准直的关键技术,充分考虑了其4程放大主空间滤波器的4个小孔空间分布和光学位置的特点,利用小孔像传递的原理,设计出一套优化、合理的4程放大的光路准直总体方案,并且在多程放大实验平台上得到了充分的验证和考核。 展开更多
关键词 激光技术 光束准直 四程放大 像传递
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扫描型哈特曼检测装置研究 被引量:9
20
作者 刘丹 闫岩 +4 位作者 任冰强 赵永凯 黄立华 黄惠杰 王向朝 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1377-1381,共5页
在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量。该检测装置由大口径标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机及计算机组成,在水平和垂直两... 在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量。该检测装置由大口径标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机及计算机组成,在水平和垂直两个径向上开有等间距排列且相互错开半个间距的小孔,并且在步进电机的驱动下绕光轴旋转,可对被检聚焦镜进行全口径连续采样。对有效口径为154 mm的斐索平面干涉仪非球面准直物镜的球差及焦斑能量集中度进行了测量,进而由球差计算得到了波像差,并用干涉法对该准直物镜进行了测量。球差的理论值与测量值最大偏差为14.6%;由新装置测量并计算得到的波像差PV值与干涉法测量并计算得到的PV值偏差为11.5%;实测的80%的能量集中在34μm的范围内,而计算得到的80%的能量集中在28μm之内,最后对结果进行了分析并提出了进一步改进的意见。 展开更多
关键词 光学检测 哈特曼检验法 扫描式哈特曼光阑 非球面准直物镜 球差 波像差 能量集中度
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