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子像元结构碲镉汞光伏器件暗电流特性的研究
1
作者
乔辉
李向阳
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017年第6期489-494,共6页
针对碲镉汞光伏器件的暗电流随着物理面积增大而急剧增加,研究了子像元结构在降低大面积短波碲镉汞光伏器件暗电流方面的有效性。发现子像元结构在室温下相比常规结构可以有效降低器件的暗电流,但当温度降到180 K时,常规结构器件反而具...
针对碲镉汞光伏器件的暗电流随着物理面积增大而急剧增加,研究了子像元结构在降低大面积短波碲镉汞光伏器件暗电流方面的有效性。发现子像元结构在室温下相比常规结构可以有效降低器件的暗电流,但当温度降到180 K时,常规结构器件反而具有最小的暗电流,经过分析认为是子像元边界处引入的表面漏电所致。如果器件的表面态密度和表面固定电荷过多,会使得子像元边界在低温下引入表面隧穿电流和表面欧姆电流,这些与边界有关的表面漏电会成为低温下暗电流的主要成分,从而使子像元结构失去降低器件暗电流的优势。文章中同时给出了低温下子像元结构可以有效降低器件暗电流的条件,并针对不同的子像元结构,提出了漏电体积这一参量来评价不同结构子像元降低器件暗电流的效果。
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关键词
暗电流
子像元
光伏器件
漏电体积
碲镉汞
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职称材料
基于15位像素级模数转换器的640×512规格中波红外成像用48 mW数字读出电路
被引量：
3
2
作者
于善哲
张雅聪
+6 位作者
牛育泽
周晔
卓毅
马丁
鲁文高
陈中建
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期785-791,共7页
提出了一种用于中波红外成像的基于15位像素级单斜率模数转换器的低功耗数字读出电路。像素级模数转换器采用一种新型功耗自适应的脉冲输出型比较器,只有当斜坡电压信号接近积分电压时,比较器才产生功耗。此外,比较器输出脉冲信号,降低...
提出了一种用于中波红外成像的基于15位像素级单斜率模数转换器的低功耗数字读出电路。像素级模数转换器采用一种新型功耗自适应的脉冲输出型比较器,只有当斜坡电压信号接近积分电压时,比较器才产生功耗。此外,比较器输出脉冲信号,降低了15位量化结果存储器上消耗的动态功耗。该存储器采用三管动态结构,仅占约54μm^(2)面积,以满足15μm像素中心距的面积约束。量化结果以电流模式读出到列级,避免相邻列总线间的电压串扰。基于0.18μm CMOS工艺,采用该结构,设计并制造了640×512规格的数字读出电路。测试结果表明,在120 Hz的帧频下,功耗仅为48 mW,总积分电容为740 fF,电荷处理能力为8.8 Me^(-)。在满阱状态,等效到积分电容的噪声电压为116μV,峰值信噪比为84 dB。
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关键词
红外焦平面阵列
数字读出电路
像素级单斜率模数转换器
功耗自适应比较器
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职称材料
光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价
3
作者
钱大憨
贾嘉
+4 位作者
陈昱
王韡
汤亦聃
朱龙源
李向阳
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011年第6期328-331,344,共5页
制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,...
制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,发现在延伸台阶的侧面有孔洞出现。通过改进镀膜工艺,延伸台阶侧面的金属薄膜致密无孔洞。这表明宏观的电阻表征对微观缺陷不敏感,对电极可靠性的表征要结合微观形貌表征进行;同时适当的薄膜制备条件可以使大台阶侧面获得致密的金属薄膜,从而获得良好的台阶覆盖性。
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关键词
曲面延伸电极
光导型碲镉汞红外探测器
电阻表征
扫描电子显微镜
微观形貌
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职称材料
碲镉汞光导器件在风云气象卫星中的应用
被引量：
4
4
作者
乔辉
王妮丽
+5 位作者
贾嘉
兰添翼
许金通
杨晓阳
张燕
李向阳
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期1534-1544,共11页
风云气象卫星是中国作为世界大国的“标配”之一,高效服务于我国国民经济和社会发展,有效提升了中国作为世界负责任大国的国际形象。红外探测器作为风云气象卫星的“眼睛”,其性能直接关系到风云卫星的应用效果。碲镉汞光导器件作为第...
风云气象卫星是中国作为世界大国的“标配”之一,高效服务于我国国民经济和社会发展,有效提升了中国作为世界负责任大国的国际形象。红外探测器作为风云气象卫星的“眼睛”,其性能直接关系到风云卫星的应用效果。碲镉汞光导器件作为第一代光子型红外探测器,在我国风云气象卫星事业的发展壮大中起到了关键作用,尤其是作为全国产化高性能红外探测器,在如今风云变幻的国际环境中更是为我国气象卫星事业的继续发展起到了“定海神针”的作用。本文中以目前在轨运行的风云卫星为基础,概述了在我国风云气象卫星中应用的碲镉汞光导器件的最新性能,也为该系列高性能红外探测器的后续商业化推广应用进行了展望。
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关键词
气象卫星
风云卫星
碲镉汞
光导器件
定量化遥感
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职称材料
碲镉汞线列光导器件的失效模式及原因分析
被引量：
1
5
作者
乔辉
王妮丽
+15 位作者
兰添翼
赵水平
田启智
陆液
王仍
霍勤
施帆
汤亦聃
储开慧
贾嘉
周青
孙晓宇
姜佩璐
罗毅
陈心恬
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1009-1021,共13页
针对不同项目研制过程中碲镉汞线列光导器件在筛选测试和应用中出现的失效模式进行了归纳和总结,并综合碲镉汞材料参数、器件结构尺寸、器件物理、器件制备工艺和器件测试等几个方面因素对器件失效的可能原因进行了分析,首次提出碲镉汞...
针对不同项目研制过程中碲镉汞线列光导器件在筛选测试和应用中出现的失效模式进行了归纳和总结,并综合碲镉汞材料参数、器件结构尺寸、器件物理、器件制备工艺和器件测试等几个方面因素对器件失效的可能原因进行了分析,首次提出碲镉汞线列光导器件的优值因子作为失效判据,为进一步理解碲镉汞线列光导器件的物理机理以及更好优化器件的筛选过程提供了参考,为碲镉汞线列光导器件应用中出现的失效问题提供了分析和解决的方向。
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关键词
碲镉汞
光导器件
失效分析
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职称材料
不同钝化层结构的长波碲镉汞光伏探测器的γ辐照效应
被引量：
2
6
作者
乔辉
邓屹
+4 位作者
胡伟达
胡晓宁
张勤耀
李向阳
龚海梅
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期6-9,68,共5页
对采用单层ZnS和双层CdTe/ZnS两种钝化层结构的长波碲镉汞光伏器件进行了实时γ辐照效应研究.通过辐照过程中实时测试器件的电流-电压特性,发现随着辐照剂量的增加,两种器件表现出不同的辐照效应.结合光伏器件的电流机制分析,对器件的电...
对采用单层ZnS和双层CdTe/ZnS两种钝化层结构的长波碲镉汞光伏器件进行了实时γ辐照效应研究.通过辐照过程中实时测试器件的电流-电压特性,发现随着辐照剂量的增加,两种器件表现出不同的辐照效应.结合光伏器件的电流机制分析,对器件的电阻-电压曲线进行数值拟合,发现器件的主要电流机制在偏压较大时为间接隧道电流,在偏压较小及零偏压附近时为产生-复合电流.对辐照前后器件的电阻-电压曲线进行对比分析,认为CdTe/ZnS双层钝化结构有助于降低辐照位移效应的影响,使得器件间接隧道电流随辐照剂量无明显的增加;同时发现辐照电离效应的影响与器件材料的初始性能参数密切相关,拟合得到ZnS单层钝化结构的器件具有较高的少子产生-复合寿命,受电离效应的影响较大,导致其产生-复合电流随着辐照剂量增加持续增大.
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关键词
辐照效应
电流机制
钝化
光伏探测器
碲镉汞
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职称材料
离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进
被引量：
2
7
作者
贾嘉
刘诗嘉
+2 位作者
刘向阳
孙艳
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期282-285,共4页
高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅...
高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅离子源,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碲镉汞刻蚀图形的剖面轮廓并计算了深宽比.分析了这些工艺方法对刻蚀图形轮廓的影响,获得了一些有助于获得高深宽比的离子束刻蚀沟槽的实验结果.
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关键词
碲镉汞
离子束刻蚀
深宽比
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职称材料
基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
被引量：
1
8
作者
刘向阳
徐国庆
+2 位作者
贾嘉
孙艳
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期331-337,共7页
用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证结果表明在沟槽宽度为4~10μm...
用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证结果表明在沟槽宽度为4~10μm的范围内计算得到的刻蚀深度和SEM测量结果相差6~20%.对掩膜的轮廓演变进行了模拟给出了一个优化设计掩膜厚度来提高深宽比的实例.
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关键词
碲镉汞
离子束
刻蚀轮廓
水平集方法
刻蚀速度减缓
深宽比
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职称材料
中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma辐照效应（英文）
被引量：
1
9
作者
乔辉
李淘
+1 位作者
龚海梅
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期129-132,共4页
对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应:电离效应和位移效应.电离...
对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应:电离效应和位移效应.电离效应可以通过辐照过程中类似光电流的产生来表现出来,而位移效应则通过辐照过程中器件串联电阻的增加来体现.两种效应都表现为总剂量效应.分析认为,由于位移效应引入的辐照损伤随着辐照剂量的增加越来越多,辐照电离效应产生的自由载流子产额随之逐渐降低,说明随着辐照剂量增加,电离效应逐渐降低,而位移效应则逐渐增强,导致器件性能衰退.
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关键词
gamma辐照
实时辐照效应
光伏探测器
碲镉汞
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职称材料
题名
子像元结构碲镉汞光伏器件暗电流特性的研究
1
作者
乔辉
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017年第6期489-494,共6页
基金
国家自然科学基金(11304335)
文摘
针对碲镉汞光伏器件的暗电流随着物理面积增大而急剧增加,研究了子像元结构在降低大面积短波碲镉汞光伏器件暗电流方面的有效性。发现子像元结构在室温下相比常规结构可以有效降低器件的暗电流,但当温度降到180 K时,常规结构器件反而具有最小的暗电流,经过分析认为是子像元边界处引入的表面漏电所致。如果器件的表面态密度和表面固定电荷过多,会使得子像元边界在低温下引入表面隧穿电流和表面欧姆电流,这些与边界有关的表面漏电会成为低温下暗电流的主要成分,从而使子像元结构失去降低器件暗电流的优势。文章中同时给出了低温下子像元结构可以有效降低器件暗电流的条件,并针对不同的子像元结构,提出了漏电体积这一参量来评价不同结构子像元降低器件暗电流的效果。
关键词
暗电流
子像元
光伏器件
漏电体积
碲镉汞
Keywords
dark current, sub-pixel, photovoltaic detector, leakage current bulk, HgCdTe
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于15位像素级模数转换器的640×512规格中波红外成像用48 mW数字读出电路
被引量：
3
2
作者
于善哲
张雅聪
牛育泽
周晔
卓毅
马丁
鲁文高
陈中建
李向阳
机构
北京大学集成电路
学院
微米/纳米加工
技术
国家级
重点
实验室
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期785-791,共7页
基金
Supported by the National Key Research and Development Program of China(2021YFA0715503)
the Open Foundation of Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors Shanghai Institute of Technical Physics
Chinese Academy of Sciences。
文摘
提出了一种用于中波红外成像的基于15位像素级单斜率模数转换器的低功耗数字读出电路。像素级模数转换器采用一种新型功耗自适应的脉冲输出型比较器,只有当斜坡电压信号接近积分电压时,比较器才产生功耗。此外,比较器输出脉冲信号,降低了15位量化结果存储器上消耗的动态功耗。该存储器采用三管动态结构,仅占约54μm^(2)面积,以满足15μm像素中心距的面积约束。量化结果以电流模式读出到列级,避免相邻列总线间的电压串扰。基于0.18μm CMOS工艺,采用该结构,设计并制造了640×512规格的数字读出电路。测试结果表明,在120 Hz的帧频下,功耗仅为48 mW,总积分电容为740 fF,电荷处理能力为8.8 Me^(-)。在满阱状态,等效到积分电容的噪声电压为116μV,峰值信噪比为84 dB。
关键词
红外焦平面阵列
数字读出电路
像素级单斜率模数转换器
功耗自适应比较器
Keywords
IRFPA
DROIC
pixel-level single-slope ADC
power-self-adaptive pulse comparator
分类号
TN79 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价
3
作者
钱大憨
贾嘉
陈昱
王韡
汤亦聃
朱龙源
李向阳
机构
中国科学院
上海技术物理研究所
传感
技术
国家
重点
实验室
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院
研究
生院
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011年第6期328-331,344,共5页
基金
国家自然科学基金项目
编号:60907048
+1 种基金
上海市自然科学基金项目
编号:09ZR1436200
文摘
制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,发现在延伸台阶的侧面有孔洞出现。通过改进镀膜工艺,延伸台阶侧面的金属薄膜致密无孔洞。这表明宏观的电阻表征对微观缺陷不敏感,对电极可靠性的表征要结合微观形貌表征进行;同时适当的薄膜制备条件可以使大台阶侧面获得致密的金属薄膜,从而获得良好的台阶覆盖性。
关键词
曲面延伸电极
光导型碲镉汞红外探测器
电阻表征
扫描电子显微镜
微观形貌
Keywords
curved extended-electrode
HgCdTe IR photoconductor
resistance characterization
SEM
Micro topography characterization
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
碲镉汞光导器件在风云气象卫星中的应用
被引量：
4
4
作者
乔辉
王妮丽
贾嘉
兰添翼
许金通
杨晓阳
张燕
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期1534-1544,共11页
文摘
风云气象卫星是中国作为世界大国的“标配”之一,高效服务于我国国民经济和社会发展,有效提升了中国作为世界负责任大国的国际形象。红外探测器作为风云气象卫星的“眼睛”,其性能直接关系到风云卫星的应用效果。碲镉汞光导器件作为第一代光子型红外探测器,在我国风云气象卫星事业的发展壮大中起到了关键作用,尤其是作为全国产化高性能红外探测器,在如今风云变幻的国际环境中更是为我国气象卫星事业的继续发展起到了“定海神针”的作用。本文中以目前在轨运行的风云卫星为基础,概述了在我国风云气象卫星中应用的碲镉汞光导器件的最新性能,也为该系列高性能红外探测器的后续商业化推广应用进行了展望。
关键词
气象卫星
风云卫星
碲镉汞
光导器件
定量化遥感
Keywords
meteorological satellite
Fengyun satellite
HgCdTe
photoconductive detector
quantitative remote sensing
分类号
P414.4 [天文地球—大气科学及气象学]
V474.24 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
碲镉汞线列光导器件的失效模式及原因分析
被引量：
1
5
作者
乔辉
王妮丽
兰添翼
赵水平
田启智
陆液
王仍
霍勤
施帆
汤亦聃
储开慧
贾嘉
周青
孙晓宇
姜佩璐
罗毅
陈心恬
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1009-1021,共13页
基金
上海市青年科技英才扬帆计划(19YF1454800)。
文摘
针对不同项目研制过程中碲镉汞线列光导器件在筛选测试和应用中出现的失效模式进行了归纳和总结,并综合碲镉汞材料参数、器件结构尺寸、器件物理、器件制备工艺和器件测试等几个方面因素对器件失效的可能原因进行了分析,首次提出碲镉汞线列光导器件的优值因子作为失效判据,为进一步理解碲镉汞线列光导器件的物理机理以及更好优化器件的筛选过程提供了参考,为碲镉汞线列光导器件应用中出现的失效问题提供了分析和解决的方向。
关键词
碲镉汞
光导器件
失效分析
Keywords
HgCdTe
photoconductive detector
photoconductor
failure analysis
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
不同钝化层结构的长波碲镉汞光伏探测器的γ辐照效应
被引量：
2
6
作者
乔辉
邓屹
胡伟达
胡晓宁
张勤耀
李向阳
龚海梅
机构
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院
研究
生院
中国科学院
上海技术物理研究所
红外
物理
国家
重点
实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期6-9,68,共5页
基金
上海市自然科学基金资助(09ZR1436200)
文摘
对采用单层ZnS和双层CdTe/ZnS两种钝化层结构的长波碲镉汞光伏器件进行了实时γ辐照效应研究.通过辐照过程中实时测试器件的电流-电压特性,发现随着辐照剂量的增加,两种器件表现出不同的辐照效应.结合光伏器件的电流机制分析,对器件的电阻-电压曲线进行数值拟合,发现器件的主要电流机制在偏压较大时为间接隧道电流,在偏压较小及零偏压附近时为产生-复合电流.对辐照前后器件的电阻-电压曲线进行对比分析,认为CdTe/ZnS双层钝化结构有助于降低辐照位移效应的影响,使得器件间接隧道电流随辐照剂量无明显的增加;同时发现辐照电离效应的影响与器件材料的初始性能参数密切相关,拟合得到ZnS单层钝化结构的器件具有较高的少子产生-复合寿命,受电离效应的影响较大,导致其产生-复合电流随着辐照剂量增加持续增大.
关键词
辐照效应
电流机制
钝化
光伏探测器
碲镉汞
Keywords
irradiation effect
current mechanism
passivation
photovoltaic detector
HgCdTe
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进
被引量：
2
7
作者
贾嘉
刘诗嘉
刘向阳
孙艳
李向阳
机构
中国科学院
上海技术物理研究所
传感
技术
国家
重点
实验室
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院
上海技术物理研究所
红外
物理
国家
重点
实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期282-285,共4页
文摘
高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅离子源,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碲镉汞刻蚀图形的剖面轮廓并计算了深宽比.分析了这些工艺方法对刻蚀图形轮廓的影响,获得了一些有助于获得高深宽比的离子束刻蚀沟槽的实验结果.
关键词
碲镉汞
离子束刻蚀
深宽比
Keywords
HgCdTe,ion beam etching,aspect ratio
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
被引量：
1
8
作者
刘向阳
徐国庆
贾嘉
孙艳
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院
大学
中国科学院
上海技术物理研究所
红外
物理
国家
重点
实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期331-337,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFB0500600)~~
文摘
用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证结果表明在沟槽宽度为4~10μm的范围内计算得到的刻蚀深度和SEM测量结果相差6~20%.对掩膜的轮廓演变进行了模拟给出了一个优化设计掩膜厚度来提高深宽比的实例.
关键词
碲镉汞
离子束
刻蚀轮廓
水平集方法
刻蚀速度减缓
深宽比
Keywords
HgCdTe
ion beam
etching profile
the level set method
etch lag
aspect ratio
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma辐照效应（英文）
被引量：
1
9
作者
乔辉
李淘
龚海梅
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院
大学
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期129-132,共4页
基金
Supported by National Natural Science Foundation of China(11304335)
文摘
对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应:电离效应和位移效应.电离效应可以通过辐照过程中类似光电流的产生来表现出来,而位移效应则通过辐照过程中器件串联电阻的增加来体现.两种效应都表现为总剂量效应.分析认为,由于位移效应引入的辐照损伤随着辐照剂量的增加越来越多,辐照电离效应产生的自由载流子产额随之逐渐降低,说明随着辐照剂量增加,电离效应逐渐降低,而位移效应则逐渐增强,导致器件性能衰退.
关键词
gamma辐照
实时辐照效应
光伏探测器
碲镉汞
Keywords
gamma irradiation
dynamic irradiation effect
photovoltaic detector
HgCdTe
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
子像元结构碲镉汞光伏器件暗电流特性的研究
乔辉
李向阳
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
2
基于15位像素级模数转换器的640×512规格中波红外成像用48 mW数字读出电路
于善哲
张雅聪
牛育泽
周晔
卓毅
马丁
鲁文高
陈中建
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
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职称材料
3
光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价
钱大憨
贾嘉
陈昱
王韡
汤亦聃
朱龙源
李向阳
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
4
碲镉汞光导器件在风云气象卫星中的应用
乔辉
王妮丽
贾嘉
兰添翼
许金通
杨晓阳
张燕
李向阳
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023
4
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职称材料
5
碲镉汞线列光导器件的失效模式及原因分析
乔辉
王妮丽
兰添翼
赵水平
田启智
陆液
王仍
霍勤
施帆
汤亦聃
储开慧
贾嘉
周青
孙晓宇
姜佩璐
罗毅
陈心恬
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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职称材料
6
不同钝化层结构的长波碲镉汞光伏探测器的γ辐照效应
乔辉
邓屹
胡伟达
胡晓宁
张勤耀
李向阳
龚海梅
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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职称材料
7
离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进
贾嘉
刘诗嘉
刘向阳
孙艳
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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职称材料
8
基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
刘向阳
徐国庆
贾嘉
孙艳
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
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职称材料
9
中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma辐照效应（英文）
乔辉
李淘
龚海梅
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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