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40 K双波段长波探测器冷箱封装技术研究
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作者 王小坤 陈俊林 +2 位作者 罗少博 曾智江 李雪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期41-51,共11页
冷光学技术是弱目标及多光谱红外探测的重要支撑技术。为了实现低温光学系统温度精确控制和防污染,一般多将低温光学与探测器集成在冷箱内。某高光谱相机需要1个320×64量子阱探测器和1个320×64 II类超晶格探测器共面拼接,集... 冷光学技术是弱目标及多光谱红外探测的重要支撑技术。为了实现低温光学系统温度精确控制和防污染,一般多将低温光学与探测器集成在冷箱内。某高光谱相机需要1个320×64量子阱探测器和1个320×64 II类超晶格探测器共面拼接,集成双波段微型滤光片,形成长波双波段探测杜瓦组件,探测器工作所需的40 K低温环境由脉管制冷机提供。杜瓦采用无窗口设计,并通过柔性波纹管将杜瓦外壳与冷箱外壳集成,以实现气密性集成和光校调节。针对40 K温区双波段探测器封装的三维拼接、探测器及滤光片的低应力封装、制冷机与探测器的高效热传输等难点,对探测器的三维拼接、40 K温区高效热传输、探测器低应力集成的热层结构、低应力滤光片支撑、杜瓦与制冷机耦合等进行研究,创新性提出了三点Z向调节拼接方法、探测器Al2O3载体复合钼基板和钼冷平台的热层结构、双波段滤光片集成的钼支撑结构、带应力隔离的冷平台与制冷机过盈装配的耦合方法,最终实现了40 K温区下双波段探测器平面度优于±2.06μm(RMS)、探测器的低温应力小于22.06 MPa、双波段滤光片低温形变小于8.55μm、探测器与制冷机温度梯度为2.6 K。40 K长波双波段红外探测器冷箱杜瓦组件经过2000 h通电老练和300次开关机试验验证,试验前后组件性能未发生明显变化,满足工程化应用的要求。 展开更多
关键词 杜瓦 冷光学 量子阱 二类超晶格 40 K温区
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空间生命科学实验设备与技术研究
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作者 张涛 《载人航天》 CSCD 2005年第4期10-12,共3页
概述了空间生命科学研究与空间实验设备及技术之间彼此依赖、相互促进、共同提高的辩证关系,对国际空间生命科学实验设备与仪器的技术特点进行了详细分析与讨论,提出了适合于我国空间飞行器平台运行模式的、功能模块化、模块智能化标准... 概述了空间生命科学研究与空间实验设备及技术之间彼此依赖、相互促进、共同提高的辩证关系,对国际空间生命科学实验设备与仪器的技术特点进行了详细分析与讨论,提出了适合于我国空间飞行器平台运行模式的、功能模块化、模块智能化标准化、系统集成化的空间生命科学实验室设备和技术研究的发展思路及开展空间生命科学实验的新方法和新模式。 展开更多
关键词 空间生命科学 实验平台 设备与技术
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空天元宇宙的关键技术及应用研究
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作者 王众 孙胜利 +3 位作者 陈锐 马一骏 徐文君 张亚峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期703-721,共19页
通过充分的调研和对比总结,梳理了20世纪60年代以来,元宇宙概念以及航天领域相关技术的发展趋势和代表性工作,指出多星组网以及数字化、虚拟化成为未来空天科技发展的重要方向。针对这一发展态势提出了“空天元宇宙”的概念,围绕这一概... 通过充分的调研和对比总结,梳理了20世纪60年代以来,元宇宙概念以及航天领域相关技术的发展趋势和代表性工作,指出多星组网以及数字化、虚拟化成为未来空天科技发展的重要方向。针对这一发展态势提出了“空天元宇宙”的概念,围绕这一概念对其数理基础进行了分析,提出航天数字孪生、广域超高速智能感知等构建空天元宇宙所需的关键技术并对其实现途径进行了阐述;进一步地,结合航天科技蓬勃发展的蓝图,预判了可能首先获得应用的场景,分析了构建空天元宇宙的现有困难,并提出了解决建议,为空天技术的发展提供了新思路,最后对空天元宇宙未来的发展进行了展望。 展开更多
关键词 空天元宇宙 虚拟化 多星组网 航天数字孪生 全光感知
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空间啮齿类动物培养装置及实验技术研究进展
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作者 张晶晶 吕勇 +1 位作者 张涛 刘方武 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期544-555,共12页
空间动物实验是人类空间生命科学研究的重要组成部分.一直以来,空间动物实验为探索地球生物体在航天环境中的生命现象及活动规律、支持载人航天的可持续性发展做出了重要贡献.随着航天工程的发展,航天员在空间驻留的时间越来越长,为解... 空间动物实验是人类空间生命科学研究的重要组成部分.一直以来,空间动物实验为探索地球生物体在航天环境中的生命现象及活动规律、支持载人航天的可持续性发展做出了重要贡献.随着航天工程的发展,航天员在空间驻留的时间越来越长,为解决人类在空间旅行中的健康问题,各国先后开展了空间啮齿类动物实验,研究空间环境给生命体带来的影响,为人类空间飞行提供重要的生理和医学数据.本文研究了国外主流的空间啮齿类动物培养装置,根据各类装置培养动物的存活情况及死亡原因,提出装置的不足与可改进之处;深入分析空间啮齿类动物实验发射前、在轨、返回地面阶段的相关实验技术,为中国空间啮齿类动物培养装置设计及动物实验提供参考. 展开更多
关键词 空间飞行 啮齿类动物 培养装置 实验技术
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机械制冷机多向自适应主动振动控制技术研究
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作者 李尚举 杨宝玉 +2 位作者 诸经豪 张家昆 李玉涵 《红外与激光工程》 CSCD 北大核心 2024年第12期23-30,共8页
机械制冷机作为提供空间红外载荷低温环境的主要设备,其多向微振动问题是影响大口径、高分辨率空间望远镜成像质量及原子光钟系统中超稳腔稳定性的重要因素。针对机械制冷机多向振动特性,对比不同主动减振方法提出基于自适应窄带滤波器... 机械制冷机作为提供空间红外载荷低温环境的主要设备,其多向微振动问题是影响大口径、高分辨率空间望远镜成像质量及原子光钟系统中超稳腔稳定性的重要因素。针对机械制冷机多向振动特性,对比不同主动减振方法提出基于自适应窄带滤波器原理的多向主动振动控制方法,搭建了多向自适应主动减振系统。并通过实验验证了该方法可以有效抑制制冷机多向微振动,压缩机轴向、连管方向与垂直底板方向高阶振动加速度均减小至1E–4 g量级。 展开更多
关键词 机械制冷机 多方向主动减振 自适应控制 振动控制
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有关民用航天技术预先研究项目绩效产出的思考
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作者 张亚峰 陶俊超 《航天工业管理》 2024年第10期86-89,共4页
民用航天技术预先研究(以下简称民用航天预研)项目是我国航天领域技术创新的重要载体,旨在先行攻克宇航关键核心技术和系统集成验证的重难点问题,开展核心组部件等成熟度提升和工程化试用,促进新概念、新原理、新技术、新功能在航天领... 民用航天技术预先研究(以下简称民用航天预研)项目是我国航天领域技术创新的重要载体,旨在先行攻克宇航关键核心技术和系统集成验证的重难点问题,开展核心组部件等成熟度提升和工程化试用,促进新概念、新原理、新技术、新功能在航天领域的新质能力生成,推动国家民用空间基础设施等重大工程培育和建设,构建多元化参与的协同创新生态,提升我国航天发展的自主创新能力。新时期,我国科技创新进入新发展阶段,面向新时代航天强国建设的目标,民用航天预研项目作为技术创新的重要源头活水,最大化项目的绩效产出仍值得探索和创新实践。 展开更多
关键词 新发展阶段 协同创新 自主创新能力 预先研究 技术创新 重难点问题 工程化 航天强国
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蒸发因素对高密度焦平面铟凸点制备影响研究
7
作者 宝鹏飞 朱宪亮 +4 位作者 于春蕾 杨波 邵秀梅 李雪 刘大福 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期137-145,共9页
高一致性、高深宽比凸点制备是高密度红外焦平面制造的关键技术之一。以10μm间距铟凸点阵列为研究对象,通过提取铟凸点高度、顶部直径、生长速率纵横比和铟膜粗糙度等参数,结合薄膜形核生长理论,深入分析热蒸发过程中关键因素对铟凸点... 高一致性、高深宽比凸点制备是高密度红外焦平面制造的关键技术之一。以10μm间距铟凸点阵列为研究对象,通过提取铟凸点高度、顶部直径、生长速率纵横比和铟膜粗糙度等参数,结合薄膜形核生长理论,深入分析热蒸发过程中关键因素对铟凸点生长的影响,为更小间距铟凸点制备提供理论与技术参考。实验结果表明,沉积速率和基底温度对铟凸点生长的影响具有两面性:一方面,高沉积速率和低基底温度会细化铟膜晶粒,有利于沉积高均匀性铟凸点阵列。基底温度下降了45 K,铟凸点高度非均匀性从15.4%降低到6.6%,铟凸点顶部直径范围差下降了0.9μm。沉积速率增加了21A/s后,铟凸点高度非均匀性从11.8%降低到6.6%,铟凸点顶部直径范围差下降了0.4μm。另一方面,高沉积速率下的动理学粗糙化影响比重增加,铟薄膜粗糙度随沉积速率变化趋缓。同时高沉积速率和低基底温度下的光刻孔缘铟向四周扩散的能力减弱,继续降温后铟层横向生长速率从3.4?/s升至4.1?/s,光刻孔加速闭合不利于高密度、高深宽比、高均匀性铟凸点的生长制备。 展开更多
关键词 红外焦平面 铟凸点 热蒸发 基底温度 沉积速率
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机械蒸汽再压缩技术处理兽药废水特性研究
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作者 孙桂祥 侯超 +1 位作者 杨伊琳 张云 《节能与环保》 2024年第9期38-46,共9页
兽药生产过程产生大量含盐高浓有机废水,成分复杂、可生化性差,难以满足生物处理进水要求。本文以典型兽用抗生素—泰妙菌素生产废水为处理物料,基于机械蒸汽再压缩(MVR)蒸发系统开展实验研究,验证工艺可行性。结果表明:系统运行过程蒸... 兽药生产过程产生大量含盐高浓有机废水,成分复杂、可生化性差,难以满足生物处理进水要求。本文以典型兽用抗生素—泰妙菌素生产废水为处理物料,基于机械蒸汽再压缩(MVR)蒸发系统开展实验研究,验证工艺可行性。结果表明:系统运行过程蒸发冷凝液出水水质稳定,COD平均值为2795mg·L^(-1),达到生物处理进水要求;随着浓缩倍数增加,系统蒸发量降低、运行功率升高,运行经济性下降;当浓缩倍数为12倍时,采用“MVR蒸发+浓缩液滚筒刮板干燥”工艺处理成本最低,为70.1元/t。 展开更多
关键词 兽药废水 泰妙菌素 机械蒸汽再压缩 蒸发浓缩
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航天精密仪器总装设备知识图谱管理范式研究
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作者 袁梦琦 孙胜利 金钢 《上海航天(中英文)》 2025年第2期19-27,共9页
随着制造系统的发展,系统构成日趋复杂,数据信息的统一管理面临挑战:数据内容缺失、更新缓慢、指称不一致等问题导致信息覆盖、信息偏差。为应对挑战,首先,定义了智能制造背景下的知识图谱(KG)管理范式;其次,提出了针对多源异构数据的... 随着制造系统的发展,系统构成日趋复杂,数据信息的统一管理面临挑战:数据内容缺失、更新缓慢、指称不一致等问题导致信息覆盖、信息偏差。为应对挑战,首先,定义了智能制造背景下的知识图谱(KG)管理范式;其次,提出了针对多源异构数据的自顶而下与自底而上结合构建领域KG的方法,利用自然语言处理(NLP)技术抽取实体,并实现多源异构数据的规范化与标准化;再次,通过实例结合大语言模型展示数据处理、图谱构建与信息查询的结果;最后,探讨了基于KG进一步提升管理智能化的方向。 展开更多
关键词 设备管理范式 智能实验室 知识图谱(KG) 命名实体识别(NER) 大语言模型
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上海市红外技术研究和应用进展近况 Ⅱ.红外材料与器件的发展
10
作者 张添立 张小平 冯锡淇 《红外技术》 CSCD 1990年第4期6-10,共5页
本文综述近几年来上海市红外材料和器件的研究和发展概况。包括该市各单位研制和生产的各种光子探测器与热探测器的性能及其应用,红外光学材料及其应用。
关键词 红外技术 红外材料 红外器件
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上海市红外技术研究和应用进展近况 Ⅰ.红外技术的应用开发
11
作者 俞福堂 《红外技术》 CSCD 1990年第4期1-6,共6页
本文综述近年来上海市红外技术应用概况,包括红外测温、红外热图象、红外遥感、红外报警、红外加热等技术的应用。
关键词 红外技术 红外测温 红外热象 遥感
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热红外高光谱成像技术的研究现状与展望 被引量:20
12
作者 王建宇 李春来 +4 位作者 姬弘桢 袁立银 王跃明 吕刚 刘恩光 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期51-59,共9页
高光谱成像具有精细的光谱分辨能力,在热红外谱段实施高光谱成像对目标探测与识别有显著效果.与国外相比,我国在该领域的研究还相对薄弱,应用部门的研究主要基于国外数据,国内尚未有成熟的仪器.对国内外研究现状进行了详细调研,并结合... 高光谱成像具有精细的光谱分辨能力,在热红外谱段实施高光谱成像对目标探测与识别有显著效果.与国外相比,我国在该领域的研究还相对薄弱,应用部门的研究主要基于国外数据,国内尚未有成熟的仪器.对国内外研究现状进行了详细调研,并结合目前国内已经布局的研究项目对该领域未来的发展进行了展望,对我国发展高性能空间红外光谱成像技术具有一定意义. 展开更多
关键词 热红外高光谱成像 背景抑制 低温光学 平面光栅 焦平面组件
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激光测距仪距离模拟源技术研究与精度分析 被引量:20
13
作者 林盈侃 郭颖 +1 位作者 黄庚华 舒嵘 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第6期1089-1093,共5页
在对激光测距仪进行性能测试时,需要输入高精度、稳定且可调的仿真距离测试值。对激光测距仪的地面距离模拟源技术进行了研究,设计了集成激光接收和发射单元的距离模拟源系统,通过使用同步时钟计数的方法实现长度可实时输入的延时,以模... 在对激光测距仪进行性能测试时,需要输入高精度、稳定且可调的仿真距离测试值。对激光测距仪的地面距离模拟源技术进行了研究,设计了集成激光接收和发射单元的距离模拟源系统,通过使用同步时钟计数的方法实现长度可实时输入的延时,以模拟激光测距仪从激光发射到接收激光回波间的时间间隔,并对影响距离模拟精度的系统误差和随机误差源进行了分析和计算,最后通过高精度时间间隔测量装置对距离模拟源进行了实际模拟精度的测量,验证了距离模拟源提供的距离值的绝对精度和相对精度。 展开更多
关键词 激光测距仪 距离模拟源 精度 系统误差 随机误差
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第三代红外焦平面基础技术的研究进展 被引量:11
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作者 何力 胡晓宁 +3 位作者 丁瑞军 李言谨 杨建荣 张勤耀 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期696-701,共6页
叙述了围绕第三代红外焦平面的需求所进行的HgCdTe分子束外延以及台面结芯片技术研究的一些成果。对GaAs、Si基大面积异质外延、p型掺杂以及台面刻蚀等主要难点问题进行了阐述。研究表明,7.6 cm(3 in)材料的组分均匀性良好,晶格失配引... 叙述了围绕第三代红外焦平面的需求所进行的HgCdTe分子束外延以及台面结芯片技术研究的一些成果。对GaAs、Si基大面积异质外延、p型掺杂以及台面刻蚀等主要难点问题进行了阐述。研究表明,7.6 cm(3 in)材料的组分均匀性良好,晶格失配引发的孪晶缺陷可以通过合适的低温成核方法得到有效抑制。在GaAs和Si衬底上外延的HgCdTe材料的(422)X射线衍射半峰宽的典型值为55″~75″。对ICP技术刻蚀HgCdTe的表面形貌、刻蚀速率、反应微观机理、负载效应和刻蚀延迟效应以及刻蚀损伤进行了研究,得到了高选择比的掩模技术和表面光亮、各向异性较好的刻蚀形貌。采用HgCdTe多层材料试制了长波n-on-p以及p-on-n型掺杂异质结器件以及双色红外短波/中波焦平面探测器,取得了一些初步结果。 展开更多
关键词 红外焦平面 HGCDTE 台面结 分子束外延 电感耦合等离子体刻蚀技术
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基于FPGA的激光雷达恒虚警率控制技术研究 被引量:8
15
作者 欧阳俊华 黄庚华 +2 位作者 程鹏飞 舒嵘 王建宇 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期50-53,共4页
研究了激光雷达中的雪崩光电二极管恒虚警率控制技术,提出了一种基于FPGA的恒虚警率控制电路,通过噪声检测能够有效地根据背景辐射进行自适应调整,保持恒定的虚警率,并使雪崩二极管处于最佳工作偏压.实验结果表明其良好地实现了恒虚警... 研究了激光雷达中的雪崩光电二极管恒虚警率控制技术,提出了一种基于FPGA的恒虚警率控制电路,通过噪声检测能够有效地根据背景辐射进行自适应调整,保持恒定的虚警率,并使雪崩二极管处于最佳工作偏压.实验结果表明其良好地实现了恒虚警率控制. 展开更多
关键词 遥感技术 激光雷达 恒虚警率 噪声检测
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激光诱导等离子体光谱技术应用于月球探测的可行性研究 被引量:6
16
作者 亓洪兴 潘明忠 +3 位作者 吕刚 何志平 闫志欣 舒嵘 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期93-96,共4页
阐述了激光诱导等离子体光谱技术的物理机制,分析了气压影响激光诱导等离子体光谱探测的机制和规律,建立了低气压环境下进行激光诱导等离子体光谱探测的试验装置,开展了不同等级低气压环境下的试验研究,通过试验数据具体量化了气压对激... 阐述了激光诱导等离子体光谱技术的物理机制,分析了气压影响激光诱导等离子体光谱探测的机制和规律,建立了低气压环境下进行激光诱导等离子体光谱探测的试验装置,开展了不同等级低气压环境下的试验研究,通过试验数据具体量化了气压对激光诱导等离子体光谱探测的影响,进而论证了激光诱导等离子体光谱技术应用于月球探测的可行性. 展开更多
关键词 月球探测 激光诱导等离子体光谱技术 低气压 雪崩电离 多光子吸收电离
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16通道微型集成滤光片制备技术的研究 被引量:6
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作者 林炳 于天燕 +2 位作者 李大琪 刘定权 张凤山 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期287-290,共4页
多光谱成像光谱技术正在向光谱通道更多、集成度更高、体积小和重量更轻的方向发展,而用于分光的多通道滤光片是其关键光学元件,需要相应发展新型多光谱窄带集成滤光片制备技术.提出了组合刻蚀法布里-珀罗(F-P)滤光片间隔层的方法,将光... 多光谱成像光谱技术正在向光谱通道更多、集成度更高、体积小和重量更轻的方向发展,而用于分光的多通道滤光片是其关键光学元件,需要相应发展新型多光谱窄带集成滤光片制备技术.提出了组合刻蚀法布里-珀罗(F-P)滤光片间隔层的方法,将光学薄膜制备技术,离子束刻蚀技术与掩膜法技术相结合,形成新的多通道集成滤光片的制备方法.并在单个微型基片上,成功制备了集成16通道窄带线阵滤光片,获得的单元滤光片几何线宽为0.7mm,相对半峰全宽优于1.0%,透射峰定位精度优于0.25%.这一方法不但可满足集成度更高的滤光器件的要求,而且拓展了薄膜制备的方法. 展开更多
关键词 光学薄膜 集成滤光片 组合刻蚀法 多通道滤光片 微型滤光片
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超长线列双波段红外焦平面探测器杜瓦封装技术研究 被引量:11
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作者 李俊 王小坤 +6 位作者 孙闻 林加木 曾智江 沈一璋 范广宇 丁瑞军 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第11期165-171,共7页
针对拼接型短/中波的超长线列焦平面探测器与直线脉管集成耦合的要求,分析了超长线列焦平面杜瓦封装的难点。通过对超长冷平台的温度均匀性、超长冷平台支撑结构、大体积组件杜瓦低热负载、超长线列杜瓦真空寿命等封装技术进行研究,提... 针对拼接型短/中波的超长线列焦平面探测器与直线脉管集成耦合的要求,分析了超长线列焦平面杜瓦封装的难点。通过对超长冷平台的温度均匀性、超长冷平台支撑结构、大体积组件杜瓦低热负载、超长线列杜瓦真空寿命等封装技术进行研究,提出了多点"S"型冷链结合导热层的三维热输出方法,设计了"桥式"两基板的超长冷平台支撑结构,解决了超长冷平台高温度均匀性、集成探测器后低应力及焦深控制、超长线列探测器杜瓦组件的环境适应性、低热负载和长真空寿命等关键技术,成功研制超长线列双波段焦平面探测器制冷组件,并通过一系列空间环境适应性试验验证,试验前后组件性能未发生明显变化,满足工程化应用的要求。 展开更多
关键词 超长线列红外探测器 双波段 杜瓦封装
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基于SWAD算法的空间面目标高精度跟踪技术研究 被引量:6
19
作者 杨明冬 王建宇 +2 位作者 贾建军 张亮 强佳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期257-262,共6页
针对空间面目标的高精度跟踪问题,提出一种面目标高精度跟踪方法,该方法利用SWAD模板匹配算法和亚像素拟合算法提取目标精确的位置信息,并在跟踪过程中对模板进行实时更新。对传统的无限冲击响应滤波模板更新方法进行了改进,提出一种变... 针对空间面目标的高精度跟踪问题,提出一种面目标高精度跟踪方法,该方法利用SWAD模板匹配算法和亚像素拟合算法提取目标精确的位置信息,并在跟踪过程中对模板进行实时更新。对传统的无限冲击响应滤波模板更新方法进行了改进,提出一种变系数模板更新方法,该方法计算量小,不需要经过复杂的置信度判断,模板更新系数由当前模板图像和当前最佳匹配区域图像的灰度值决定;利用不同亮度的目标,以及对目标图像进行尺度变换模拟姿态变化的目标,比较了该模板更新算法和传统算法的匹配误差,结果表明:该算法能够更好地适应目标姿态的变化;最后通过平行光管和靶标板模拟远场非合作目标,搭建了室内演示试验,证明了利用模板匹配进行高精度目标跟踪的可行性。 展开更多
关键词 图像处理 高精度跟踪 SWAD算法 变系数模板更新 演示实验
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HgCdTe探测列阵干法技术的刻蚀形貌研究 被引量:5
20
作者 叶振华 胡晓宁 +2 位作者 全知觉 丁瑞军 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期325-328,共4页
首次报道了HgCdTe微台面焦平面探测列阵成形工艺的干法刻蚀技术有关刻蚀形貌的一些研究结果.从HgCdTe外延材料的特点出发,详细分析了其干法刻蚀适用的RIE(reactive ion etching)设备和刻蚀原理.采用高等离子体密度、低腔体工作压力、高... 首次报道了HgCdTe微台面焦平面探测列阵成形工艺的干法刻蚀技术有关刻蚀形貌的一些研究结果.从HgCdTe外延材料的特点出发,详细分析了其干法刻蚀适用的RIE(reactive ion etching)设备和刻蚀原理.采用高等离子体密度、低腔体工作压力、高均匀性和低刻蚀能量的ICP(inductively coupled plasma)增强型RIE技术,研究了不同的工艺气体配比、腔体工作压力、ICP源功率和RF源功率对HgCdTe材料刻蚀形貌的影响,并初步得到了一种稳定的、刻蚀表面清洁、光滑、图形轮廓良好、均匀性较好和刻蚀速率较高的干法刻蚀工艺. 展开更多
关键词 HGCDTE 微台面列阵 干法刻蚀 反应离子刻蚀 刻蚀形貌
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