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相变存储器器件单元测试系统
被引量：
7
1
作者
梁爽
宋志棠
+2 位作者
刘波
陈小刚
封松林
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第8期614-617,共4页
通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备,实现对硫系化合物随机存储器(C-RAM)器件性能的测试。该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加的脉冲信号关系的测试和疲劳特性测试等模块组成。通过这些...
通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备,实现对硫系化合物随机存储器(C-RAM)器件性能的测试。该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加的脉冲信号关系的测试和疲劳特性测试等模块组成。通过这些测试从而找出写脉冲信号与擦脉冲信号的高度和宽度的最佳参数、C-RAM器件的阈值电压、循环寿命等重要参数。此系统不仅为研究C-RAM器件的速度、功耗、可靠性等提供了一个途径,又为C-RAM的工艺和结构参数的研究提供了试验平台。
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关键词
硫系化合物随机存储器
远程控制
测试系统
相变
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职称材料
题名
相变存储器器件单元测试系统
被引量：
7
1
作者
梁爽
宋志棠
刘波
陈小刚
封松林
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程技术研究中心纳米技术研究室
中国科学院
研究
生院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第8期614-617,共4页
基金
中国科学院资助项目(Y2005027)
上海市科委项目(0452nm012
+7 种基金
04DZ05612
04ZR14154
04JC14080
05JC14076
AM0414
05nm05043
AM0517)
美国SST公司资助
文摘
通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备,实现对硫系化合物随机存储器(C-RAM)器件性能的测试。该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加的脉冲信号关系的测试和疲劳特性测试等模块组成。通过这些测试从而找出写脉冲信号与擦脉冲信号的高度和宽度的最佳参数、C-RAM器件的阈值电压、循环寿命等重要参数。此系统不仅为研究C-RAM器件的速度、功耗、可靠性等提供了一个途径,又为C-RAM的工艺和结构参数的研究提供了试验平台。
关键词
硫系化合物随机存储器
远程控制
测试系统
相变
Keywords
C-RAM
remote control
test system
phase change
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
相变存储器器件单元测试系统
梁爽
宋志棠
刘波
陈小刚
封松林
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
7
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