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MEMS传感器性能提高相关技术研究 被引量:4
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作者 黄树森 李昕欣 +1 位作者 王跃林 鲍敏杭 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第1期8-9,25,共3页
在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。
关键词 微电子机械系统 微传感器 微执行器 微机械技术
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基于振动能量采集器的无源无线传感节点技术研究 被引量:4
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作者 李梦阳 董川 +2 位作者 唐翘楚 徐大诚 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1260-1266,共7页
随着以MEMS技术为依托,结合压电效应的振动能量采集技术的日臻完善,如何利用振动能量采集器构成高效的无源无线传感节点成为近期研究热点,而能量采集器输出的电能储存控制和低功耗发射技术是实现该节点的难点。在设计出对储能电容电压... 随着以MEMS技术为依托,结合压电效应的振动能量采集技术的日臻完善,如何利用振动能量采集器构成高效的无源无线传感节点成为近期研究热点,而能量采集器输出的电能储存控制和低功耗发射技术是实现该节点的难点。在设计出对储能电容电压具有双阈值检测与控制功能的低功耗电路基础上,给出了一种自报警、无源无线低功耗传感节点。实验表明,在频率52 Hz正弦振动、振动加速度幅值为5 gn激励下,经过125 s的能量储存,节点能够以+10 d Bm功率在16 ms内完成发射及无线报警,发射距离可达1.31 km。该节点构成的无线传感网络可广泛应用于石油管线、桥梁和军事侦察等外部供电极度受限环境的现场监控等用途。 展开更多
关键词 自供电 无线传感节点 振动能量采集器 电源管理电路 双阈值检测 低功耗发射
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应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展 被引量:3
3
作者 杨天天 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第6期5-8,12,共5页
针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面... 针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面能变化、位阻作用、静电力、氢键作用等与表面应力大小及方向之间的关系,总结了应力型微悬臂梁生化传感器的响应机理的研究。 展开更多
关键词 微悬臂梁 生化传感器 表面应力 响应机制
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基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统 被引量:6
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作者 任艳波 于海涛 +2 位作者 赵伟 刘民 李昕欣 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第12期11-14,共4页
为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过... 为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过在软件部分设计的锁相跟踪算法,使锁相更具针对性,锁相过程更快更准。采用该系统制作了便携式气体传感器样机,并对二氧化碳气体进行了实测,验证了该系统具有快速的频率跟踪能力和良好的频率稳定性。 展开更多
关键词 谐振式微悬臂梁传感器 接口电路 LABVIEW 自适应软件锁相环 扫频 锁相跟踪
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基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究 被引量:2
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作者 陆荣 陆松涛 杨恒 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第12期118-120,共3页
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝... 提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝化效应一次性腐蚀出与衬底绝缘,由约4μm厚的金电极支撑,厚度约为235 nm的亚微米梁结构,具有制作简单、成品率高、成本低等特点,应用前景广阔。 展开更多
关键词 亚微米梁 自停止腐蚀 电化学腐蚀 原电池
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一种基于压力传感器的穿戴式呼吸监测系统设计 被引量:14
6
作者 肖小玉 黄善洛 +3 位作者 陈淑靖 宋元林 金庆辉 赵建龙 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第2期126-129,共4页
为指导慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者完成标准的呼吸操康复训练,设计了一种穿戴式呼吸监测系统,系统包括呼吸波传感器、数据采集电路板和手机APP软件。通过该系统,患者能实时观测自身呼吸波形和各项呼吸参数,通过比对标准呼吸曲线,根据同... 为指导慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者完成标准的呼吸操康复训练,设计了一种穿戴式呼吸监测系统,系统包括呼吸波传感器、数据采集电路板和手机APP软件。通过该系统,患者能实时观测自身呼吸波形和各项呼吸参数,通过比对标准呼吸曲线,根据同步提示音修正并完成标准呼吸操。临床实验表明:患者使用该系统锻炼可增加肺部通气量,改善肺功能。 展开更多
关键词 穿戴式设备 呼吸监测 手机APP软件 呼吸操 慢性阻塞性肺疾病
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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究 被引量:3
7
作者 杨尊先 于映 +1 位作者 林丽华 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期766-770,共5页
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随... 进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2。 展开更多
关键词 NEMS 压阻敏感器 纳机电探针 数据存储
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基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制 被引量:3
8
作者 张缓缓 刘彬 +1 位作者 金庆辉 刘咏松 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第10期99-101,105,共4页
研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电... 研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定;氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.99733接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。 展开更多
关键词 微机电系统技术 Ag/AgCl参比电极 集成微电极 水质监测
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曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究 被引量:3
9
作者 杨尊先 李昕欣 于映 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期138-144,共7页
利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动... 利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁固有频率振动的叠加。当阻尼带隙较小时,输出结果表现为冲击载荷下的受迫振动响应;随着阻尼带隙变宽,悬臂梁固有频率振动渐突显,响应峰值电压也近线性增加,而峰值电压所对应时间则非线性减小。在其它条件相同情况下,阻尼介质粘滞系数越大,响应输出曲线越光滑,但其峰值电压也相应越低。在空气阻尼介质中,过载保护曲面的平移距离控制在0.5~0.65μm范围内,以获取较好的动态响应效果。 展开更多
关键词 高g加速度传感器 压膜阻尼 曲面过载保护 冲击响应
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酸性环境中基于Ta_2O_5的场效应管pH传感器的研究 被引量:2
10
作者 金妍 陈淼 +1 位作者 金庆辉 赵建龙 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第1期26-30,34,共6页
研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器,此传感器对pH有较好的敏感性:pH为1—7的范围内呈现出-57.4mV/pH的响应,漂移性约为3mV,迟滞效应小于5mV,且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究,并采用不同的等... 研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器,此传感器对pH有较好的敏感性:pH为1—7的范围内呈现出-57.4mV/pH的响应,漂移性约为3mV,迟滞效应小于5mV,且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究,并采用不同的等效电路来拟合此Si/SiO2/Ta2O5/电解液体系的响应机理,得出最佳的等效电路模型为RC(CR)(C(RW))。对拟合参数进行分析,此Ta2O5敏感膜与不同pH的电解液接触时,敏感膜与电解液的界面作用最终会引起半导体硅中空间电荷的变化,进而引起整个传感器结构的电容变化。制作的pH传感器稳定性好,适合于生物冶金过程(pH为1-4)的长时间连续监测。 展开更多
关键词 TA2O5 PH传感器 电化学阻抗谱 原子力显微镜 等效电路模型
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用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器 被引量:1
11
作者 杨天天 于海涛 +1 位作者 许鹏程 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1233-1237,共5页
采用化学修饰法,将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中,然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面,制得一种高性能的挥发性胺类同系物传感器。胺类分子的吸附将导致质量型微悬臂梁传感器谐振频率的下降,传感... 采用化学修饰法,将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中,然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面,制得一种高性能的挥发性胺类同系物传感器。胺类分子的吸附将导致质量型微悬臂梁传感器谐振频率的下降,传感器检测下限可达ppb量级。对一系列胺类同系物的检测结果表明,胺类分子在羧基功能化介孔表面的吸附程度与其气相碱度强弱有关。 展开更多
关键词 微电子机械系统 化学传感器 微悬臂梁 介孔材料
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一维纳米材料组装技术的研究进展 被引量:1
12
作者 刘梅 周林峰 +1 位作者 彭艳 吴智政 《材料导报》 CSCD 北大核心 2013年第5期6-13,28,共9页
分别分析和讨论了纳米线阵列直接有序生长法、随机组装法和不同驱动机制的组装法,展望了其下一步的研究方向。总体来说,直接有序生长法适用的材料范围受限制,对生长环境要求严格;随机组装法成功率比较低;而将纳米线合成和组装分立并加... 分别分析和讨论了纳米线阵列直接有序生长法、随机组装法和不同驱动机制的组装法,展望了其下一步的研究方向。总体来说,直接有序生长法适用的材料范围受限制,对生长环境要求严格;随机组装法成功率比较低;而将纳米线合成和组装分立并加入驱动机制后,适用的材料范围广泛,组装效果提高。其中,液体剪切力驱动组装法、介电泳法、接触打印法和碾压法的效果最突出,都取得了很好的实验结果。未来的努力方向包括:如何更精确地控制纳米线阵列的位置、密度等参数,如何建立纳米线阵列与电路系统的电联接等。 展开更多
关键词 一维纳米材料 纳米线 纳米管 排列 组装 驱动机制
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新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
13
作者 杨尊先 于映 +1 位作者 林丽华 李昕欣 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期693-697,共5页
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机... 对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6GB/in2. 展开更多
关键词 纳米针尖 集成探针阵列 存储特性 电阻加热器
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基于二硫化钼的电容式土壤湿度传感器 被引量:4
14
作者 李露 葛玉卿 赵建龙 《智慧农业(中英文)》 CSCD 2024年第1期28-35,共8页
[目的/意义]土壤中含水率直接影响农作物生长状态和产量。开发出一种可靠、高效的土壤湿度传感器对实施农田科学灌溉具有重要指导意义。[方法]本研究提出一种基于微加工工艺制备的二硫化钼电容式土壤湿度传感器,通过叉指电极上同一平面... [目的/意义]土壤中含水率直接影响农作物生长状态和产量。开发出一种可靠、高效的土壤湿度传感器对实施农田科学灌溉具有重要指导意义。[方法]本研究提出一种基于微加工工艺制备的二硫化钼电容式土壤湿度传感器,通过叉指电极上同一平面上的金电极阵列实现数个电容并联,表面修饰二硫化钼作为敏感层实现对土壤湿度的测量。通过计算及使用COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件研究电极参数对电容敏感度的影响,最终确定电极参数使用10μm间距、75对叉指。[结果和讨论]在保证测量精度的前提下,大大缩小了传感器的体积,可以实现土壤湿度的原位动态监测。在室温下相对湿度值从11%变化到96%时,电容式土壤湿度传感器在200 Hz频率下的电容输出为12.13 pf~187.42 nF;当土壤含水量由8.66%增加到42.75%时,传感器的电容输出在200 Hz频率下由119.51 nF增长到377.98 nF,显示出较高的湿度灵敏度及较宽的敏感范围。[结论]本研究提出的土壤水分传感器有望实现原位长期监测电容式土壤传感器的电容变化,从而监测土壤湿度的变化。 展开更多
关键词 土壤传感器 二硫化钼 电容式传感器 微机电系统
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微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
15
作者 王家畴 刘洁丹 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期885-890,共6页
介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制... 介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体。同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放。该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容。文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果。 展开更多
关键词 MEMS MISSM技术 单硅片单面加工 微型释放窗口
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应用于MOEMS集成的TSV技术研究 被引量:3
16
作者 胡正高 盖蔚 +1 位作者 徐高卫 罗乐 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期649-653,共5页
硅通孔(TSV)通过缩短互连长度可实现低延迟、低功耗等目的。对应用于微光机电系统(MOEMS)集成的TSV工艺进行了研究,通过ICP-DRIE参数优化获得了陡直TSV通孔;通过金-金键合及bottom-up法,实现了TSV的无缺陷填充;对填充后的TSV进行电学表... 硅通孔(TSV)通过缩短互连长度可实现低延迟、低功耗等目的。对应用于微光机电系统(MOEMS)集成的TSV工艺进行了研究,通过ICP-DRIE参数优化获得了陡直TSV通孔;通过金-金键合及bottom-up法,实现了TSV的无缺陷填充;对填充后的TSV进行电学表征,测试结果表明,单个TSV的电阻平均值为0.199Ω、相邻两个TSV的电容在无偏压时为170.45 fF、TSV的漏电流在100 V时为9.43 pA,具有良好的电学特性。 展开更多
关键词 硅通孔(TSV) 微光机电系统(MOEMS) ICP刻蚀 键合 电镀
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高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试 被引量:3
17
作者 胡凯凯 尹加文 +3 位作者 麦裕良 栾安博 郜晚蕾 金庆辉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第1期74-77,共4页
面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgC... 面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。 展开更多
关键词 海洋温/盐/酸度 微纳传感器 微机电系统(MEMS)技术 批量制造 高精度网格化测量
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刺激因子提升梅奇酵母抑制苹果青霉病机制研究
18
作者 杜静婷 蔺楠 +4 位作者 丛龙美 胡俊月 施俊凤 葛玉卿 张茜 《食品工业科技》 北大核心 2025年第16期365-374,共10页
实验室筛选所得梅奇酵母(Metschnikowia rubicola,M.rubicola)能有效抑制苹果采后青霉病的发生,为提高梅奇酵母对苹果青霉病的抑制效果,筛选与梅奇酵母具有协同效应的刺激因子,通过对比添加刺激因子前后梅奇酵母生活量、扩展青霉(Penici... 实验室筛选所得梅奇酵母(Metschnikowia rubicola,M.rubicola)能有效抑制苹果采后青霉病的发生,为提高梅奇酵母对苹果青霉病的抑制效果,筛选与梅奇酵母具有协同效应的刺激因子,通过对比添加刺激因子前后梅奇酵母生活量、扩展青霉(Penicillium expansum,P.eaxpansum)的孢子萌发和菌丝生长、苹果果肉中抗性相关酶活测定及对展青霉素(Patulin,PAT)的降解方面,探讨刺激因子对梅奇酵母抗青霉病的提升机制。结果表明,添加5 g/L的褐藻寡糖(Alginate oligosaccharides,AOS)或4μmol/L的植酸(Phytic acid,PA)能降低扩展青霉的孢子萌发和菌丝生长速率,其中添加AOS效果更加显著(P<0.05),抑制率分别提升21.67%和31.40%。添加AOS或PA还可增强M.rubicola在果实伤口和表面定殖能力,显著(P<0.05)提高苹果中苯丙烷代谢途径相关酶(多酚氧化酶(Polyphenol oxidase,PPO)、过氧化物酶(Peroxidase,POD)、苯丙氨酸解氨酶(Phenylalanine ammonia-lyase,PAL)、肉桂醇脱氢酶(Cinnamyl alcohol dehydrogenase,CAD)、肉桂酸-4-羟化酶(Cinnamic-4-hydroxylase,C4H)、4-香豆酰辅酶A连接酶(4-Coumaroyl-CoA ligase,4CL)、查尔酮异构酶(Chalcone Isomerase,CHI)、β-1,3-葡聚糖酶(β-1,3-Glucanase,GLU))活性和物质(木质素、总酚、类黄酮)含量;经AOS诱导还能增强酵母降解PAT的能力。综上,添加AOS或PA均可有效提升梅奇酵母对苹果青霉病的防治效果,且添加AOS能增强M.rubicola降解PAT的能力。 展开更多
关键词 苹果 青霉病 梅奇酵母 刺激因子
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基于氧敏感膜荧光特性的溶解氧传感器研制 被引量:2
19
作者 陈强 王勤 +5 位作者 戚海燕 王跃 章立 李铭 张洹千 金庆辉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第11期1-3,共3页
溶解氧值是研究水自净能力的一种依据。传统的实验室溶解氧测定方法(如碘量法),在测定上耗时耗力,且不能实现实时获得数据,因此不能实时地监测自然水体等所需应用领域的溶氧变化。文中介绍了一种基于氧分子特异性敏感膜的溶解氧传感器,... 溶解氧值是研究水自净能力的一种依据。传统的实验室溶解氧测定方法(如碘量法),在测定上耗时耗力,且不能实现实时获得数据,因此不能实时地监测自然水体等所需应用领域的溶氧变化。文中介绍了一种基于氧分子特异性敏感膜的溶解氧传感器,以高功率蓝光发光二极管为激发光源,激发敏感膜产生特定波长的荧光,通过滤光及光电管光电信号转换,进行信号的采集,水体中氧浓度的多少与检测到的荧光信号强度成反比,通过测定荧光强度即可测定水体中溶解氧的浓度。该传感器具有结构简单、测定迅速、准确、稳定,并具有在线连续监测和数据发送功能,适合于自然水体等水质环境的监测应用。 展开更多
关键词 溶解氧 氧敏感膜 荧光 光传感器 光电信号转换 在线检测
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大型起重机械在线监测的无线传感器网络节点设计 被引量:3
20
作者 刘大洋 赵伟 杨恒 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第9期76-79,共4页
从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行... 从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行了现场实验,证明了节点能够很好地完成结构健康监测数据的采集与发送,能够满足在实际现场环境中大型起重机械结构健康监测对通信距离和可靠性以及节点功耗的要求。 展开更多
关键词 起重机械 结构健康监测 无线传感器网络
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