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基于PDMS的人工视网膜神经微电极阵列
被引量：
2
1
作者
朱壮晖
李刚
+2 位作者
周洪波
张华
赵建龙
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期1731-1736,共6页
为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、...
为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、释放以及键合完成基于PDMS微电极制作.其中,微电极绝缘层制作和电极位点暴露采用浇注PDMS并结合外力夹压固化和PDMS湿法刻蚀来实现.使用该方法制作的PDMS电极,结构稳定、可靠性好,具有良好的贴附性.同时,通过SEM和阻抗测试对所制作的微电极进行了表面形貌和电学性能的测试和评价.结果显示,相对于传统方法制作的PDMS微电极,电化学阻抗降低了近60%(频率1 kHz处),基于该方法制作的PDMS微电极在力学和电学性能方面均具明显优势.
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关键词
微电极阵列
聚二甲基硅氧烷
电镀
人工视网膜
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职称材料
悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造
被引量：
2
2
作者
郭南翔
汪飞
李昕欣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第4期12-14,共3页
集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,...
集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,难以得到正确的测试结果。结合先进的MEMS技术,提出了一种采用铝通孔导电、金属自隔离结构的MEMS探卡,探卡由台阶结构的悬臂梁探针陈列构成,探针的具体结构排列依据待测芯片(DUT)的管脚分布,同时测试探针电学导通电阻小于1Ω.详细叙述了探卡的结构设计和制造方法。
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关键词
悬臂梁
探卡
MEMS
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职称材料
题名
基于PDMS的人工视网膜神经微电极阵列
被引量：
2
1
作者
朱壮晖
李刚
周洪波
张华
赵建龙
机构
中国科学院
上海
微
系统与
信息
技术
研究所
传感器
技术
联合
国家
重点
实验室
中国科学院
研究
生院
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期1731-1736,共6页
基金
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2011CB707505)
国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA04Z326)
+2 种基金
国家自然科学基金资助项目(30872629)
上海市自然科学基金(10ZR1436200)
上海-应用材料研究与发展基金(08520740300)
文摘
为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、释放以及键合完成基于PDMS微电极制作.其中,微电极绝缘层制作和电极位点暴露采用浇注PDMS并结合外力夹压固化和PDMS湿法刻蚀来实现.使用该方法制作的PDMS电极,结构稳定、可靠性好,具有良好的贴附性.同时,通过SEM和阻抗测试对所制作的微电极进行了表面形貌和电学性能的测试和评价.结果显示,相对于传统方法制作的PDMS微电极,电化学阻抗降低了近60%(频率1 kHz处),基于该方法制作的PDMS微电极在力学和电学性能方面均具明显优势.
关键词
微电极阵列
聚二甲基硅氧烷
电镀
人工视网膜
Keywords
microelectrode array
polydimethylsiloxane（PDMS）
electroplated
retinal prosthesis
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM938.82 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造
被引量：
2
2
作者
郭南翔
汪飞
李昕欣
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第4期12-14,共3页
文摘
集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,难以得到正确的测试结果。结合先进的MEMS技术,提出了一种采用铝通孔导电、金属自隔离结构的MEMS探卡,探卡由台阶结构的悬臂梁探针陈列构成,探针的具体结构排列依据待测芯片(DUT)的管脚分布,同时测试探针电学导通电阻小于1Ω.详细叙述了探卡的结构设计和制造方法。
关键词
悬臂梁
探卡
MEMS
Keywords
cantilever
probe card
MEMS
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PDMS的人工视网膜神经微电极阵列
朱壮晖
李刚
周洪波
张华
赵建龙
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造
郭南翔
汪飞
李昕欣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006
2
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职称材料
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