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激光锡等离子体极紫外光源发射光谱诊断研究
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作者 胡桢麟 王天泽 +3 位作者 何梁 林楠 冷雨欣 陈卫标 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第7期1834-1841,共8页
由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,... 由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,在真空中测量了不同激光峰值功率密度下1μm激光激发固体Sn靶等离子体的13.5 nm带内辐射能量、7~24 nm EUV波段和350~750 nm可见光(VIS)波段的发射光谱,计算了能量转换效率(CE)和光谱纯度(SP),分析了激光峰值功率密度对Sn等离子体EUV光谱、VIS光谱、CE和SP的影响规律。在本实验的参数范围内,CE随着激光峰值功率密度的提升先快速增大后缓慢减小,在激光峰值功率密度为5.2×10^(11)W·cm^(-2)时达到最大值2.47%。SP随激光峰值功率密度的提升而增大,在1.5×10^(12)W·cm^(-2)时达到最大值7.52%。然后,基于Sn等离子体VIS波段的时间分辨光谱,采用萨哈-玻尔兹曼图法和斯塔克展宽法计算了等离子体起爆后60~160 ns的电子温度(T_(e))和电子密度(n_(e)),研究了真空中Sn等离子体T_(e)和n_(e)随时间的演化规律,并进一步分析了T_(e)和n_(e)对EUV波段辐射和13.5 nm带内辐射的影响规律。结果表明,激光峰值功率密度的上升会导致等离子体T_(e)和n_(e)的上升,T_(e)和n_(e)的变化影响着不同电荷态离子的分布,进而导致EUV辐射谱分布的变化。在本实验的参数范围内,随着T_(e)和n_(e)增大,CE先增大后减小,而SP一直增大。过低的T_(e)会导致Sn等离子体UTA峰位未达到13.5 nm,过高的T_(e)会导致更多的驱动激光能量转化为13.5 nm以下的EUV辐射,造成CE未达到最优。以上研究结果为固体激光驱动LPP-EUV光源的工程化研发,以及我国自主开展EUV光刻、EUV计量与检测提供了研究基础与技术支持。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 发射光谱诊断 等离子体温度 电子密度
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星载激光雷达视轴监测系统设计 被引量:2
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作者 万渊 李蕊 +5 位作者 张扬 袁金如 熊恒 周国威 刘继桥 侯霞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期61-70,共10页
提出了一种针对星载激光雷达在轨高精度光轴监测与标定需求的多光轴监测方法,该方法基于主动激光光源。通过使用785 nm的激光,分束后分别照射到星敏感器的基准棱镜和接收望远镜的取光棱镜,反射信号被聚焦至监视相机的焦平面,实现了对接... 提出了一种针对星载激光雷达在轨高精度光轴监测与标定需求的多光轴监测方法,该方法基于主动激光光源。通过使用785 nm的激光,分束后分别照射到星敏感器的基准棱镜和接收望远镜的取光棱镜,反射信号被聚焦至监视相机的焦平面,实现了对接收光轴及星敏光轴的精确监测。此外,监视相机还同步采集发射激光的部分能量,用于测量监测发射光轴。文中详细描述了光学系统的设计流程及关键组件的优化方案,并通过地面真空环境试验及在轨监测数据进行了验证。设计结果表明,各监视通道的成像质量达到了衍射极限,收发光轴的设计精度分别为0.09μrad和2.28μrad,关键组件取光棱镜的温控精度达到了±0.2℃。地面的真空热光试验结果进一步验证了该方案的高精度光轴监视能力,收发光轴的监测精度均优于3μrad。最后通过分析激光雷达入轨后的测量数据,确认了视轴监测系统的工作稳定性,成功实现了在轨的高精度光轴监视。该研究成果为星载激光雷达提供了一种有效的在轨高精度光轴监测与标定解决方案。 展开更多
关键词 主动遥感 星载激光雷达 光轴监测单元 光轴匹配
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铽铝石榴石磁光陶瓷真空固相反应制备及格位取代研究进展
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作者 陈杰 沈世纪 +1 位作者 田燕娜 周圣明 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第11期1927-1935,共9页
作为一类典型的高能固体激光系统用石榴石透明陶瓷,铽铝石榴石(Tb_(3)Al_(5)O_(12),TAG)磁光陶瓷以其优良的磁光性能和高功率服役特性成为相关领域的研究焦点。本文聚焦于真空固相反应法制备TAG磁光陶瓷,尤其是烧结助剂和格位掺杂改性... 作为一类典型的高能固体激光系统用石榴石透明陶瓷,铽铝石榴石(Tb_(3)Al_(5)O_(12),TAG)磁光陶瓷以其优良的磁光性能和高功率服役特性成为相关领域的研究焦点。本文聚焦于真空固相反应法制备TAG磁光陶瓷,尤其是烧结助剂和格位掺杂改性等方面的优化工作,通过对比得到了TAG陶瓷较为合适的添加剂种类,总结了TAG陶瓷长期以来质量难以进一步提升的根本原因,即对较大剂量烧结助剂的依赖和烧结助剂残留导致的组分不均匀性之间的矛盾关系。针对以上问题,介绍了本团队近期的研究进展,即一种通过Mg^(2+)-Si^(4+)格位共掺,在不减少MgO和TEOS绝对用量的情况下,通过一步真空固态烧结工艺制备更高光学质量TAG陶瓷的方法,最佳样品在1064 nm处的透过率达到82.48%。采用晶格掺杂而非传统质量比添加烧结助剂,有望为高能激光系统用石榴石透明陶瓷质量进一步突破提供一种新的有效思路。 展开更多
关键词 TAG 磁光透明陶瓷 烧结助剂 组分不均匀性 格位共掺 Mg 2+-Si 4+
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微重力环境下超冷原子物理研究
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作者 李琳 汪斌 +3 位作者 周小计 陈徐宗 李唐 刘亮 《空间科学学报》 北大核心 2025年第1期29-55,共27页
中国空间站的发展和建成为微重力环境下超冷原子物理的研究及其应用提供了必要的实验条件.2022年10月31日,中国科学院上海光学精密机械研究所联合北京大学研制的中国空间站超冷原子物理实验柜(简称超冷柜)搭载梦天实验舱进入中国空间站... 中国空间站的发展和建成为微重力环境下超冷原子物理的研究及其应用提供了必要的实验条件.2022年10月31日,中国科学院上海光学精密机械研究所联合北京大学研制的中国空间站超冷原子物理实验柜(简称超冷柜)搭载梦天实验舱进入中国空间站.超冷柜的主要目标是在中国空间站建成以87Rb玻色–爱因斯坦凝聚(Bose-Einstein Condensate,BEC)为工作物质的超冷原子物理实验平台,基于微重力环境优势利用两级交叉光束冷却(Two-Stage Crossed Beams Cooling,TSCBC)的实验方案获得皮-开尔文(picoKelvin,pK)量级的超冷原子,在微重力环境下通过调控以及观察极低温超冷原子以发现新奇的物理现象.本文介绍了BEC的实现和深度冷却实验方案,以及微重力环境下超冷原子物理研究与应用领域所取得的一系列进展;详细介绍了超冷柜的设计方案以及地面验证实验.到目前为止,超冷柜按照预期持续开展微重力环境下的超冷原子物理研究,在轨连续运行时间超过2年,取得了初步的实验结果,实现了超冷柜作为微重力环境下超冷原子物理实验平台的主要目标. 展开更多
关键词 玻色-爱因斯坦凝聚 超冷原子 中国空间站 微重力环境
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基于腔内原位探测的空间冷原子微波钟
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作者 吕德胜 任伟 +2 位作者 项静峰 赵剑波 邓思敏达 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期95-101,共7页
原子钟作为目前最精密的计时仪器,在国民经济和国家安全各领域发挥着重要作用。在地球轨道卫星上运行高精度原子钟,可以在地球大范围内开展高精度时间同步与比对。不同于以往通过抛射冷原子团两次经过微波腔实现Ramsey微波作用的空间冷... 原子钟作为目前最精密的计时仪器,在国民经济和国家安全各领域发挥着重要作用。在地球轨道卫星上运行高精度原子钟,可以在地球大范围内开展高精度时间同步与比对。不同于以往通过抛射冷原子团两次经过微波腔实现Ramsey微波作用的空间冷原子钟,提出了一种新型的基于腔内原位探测的空间冷原子微波钟方案,在同一微波谐振腔内先后完成铷87原子的激光冷却、原子微波相互作用、冷原子探测等过程。该方案可以更好的利用微重力环境提高钟周期中原子与微波相互作用时间的占空比,从而有效减小Dick效应对原子钟性能的影响。介绍了冷原子微波钟系统设计与工作原理,给出了微重力环境下性能分析和预期指标,最后展示了冷原子微波钟地面测试中获得的大约为1.35×10^(-12)τ^(-1/2)的频率稳定度,初步展示了新型空间冷原子钟方案的可行性。 展开更多
关键词 原子钟 微重力 微波腔 空间站 频率稳定度
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激光雷达水下障碍物剖面图像处理方法 被引量:3
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作者 阮英杰 贺岩 +5 位作者 吕德亮 侯春鹤 徐广袖 张超然 黄宜帆 郝歆珂 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期118-129,共12页
机载激光雷达已被广泛运用在水底地形测绘等领域,针对水下障碍物探测及识别的需求,基于线形扫描激光雷达的数据特点,提出将波形数据拼接为二维剖面图直观地反映回波能量的分布。使用上升沿线性近似的方法从回波提取水面斜距,并构建了基... 机载激光雷达已被广泛运用在水底地形测绘等领域,针对水下障碍物探测及识别的需求,基于线形扫描激光雷达的数据特点,提出将波形数据拼接为二维剖面图直观地反映回波能量的分布。使用上升沿线性近似的方法从回波提取水面斜距,并构建了基于机载激光雷达系统扫描结构的光线出射角度模型,通过对水面变形的校正实现了对水下障碍物回波轮廓的还原。使用Canny边缘检测算子提取相邻扫描线所成图像中高回波能量的边缘,最后通过Hu矩对比边缘结果间的相似度,构建障碍物识别判据并进行验证。该算法为机载激光雷达系统水下障碍物探测和识别的数据处理方式提供参考。 展开更多
关键词 激光雷达 水下探测 图像处理 边缘检测
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腔内倍频454 nm脉冲蓝光Nd∶YLF激光器
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作者 张一诺 马剑 +1 位作者 张俊旋 朱小磊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期117-125,共9页
面向海洋激光应用,针对LD端面抽运的紧凑型准三能级Nd∶YLF晶体激光器实现454 nm蓝光激光脉冲输出特性开展了实验研究。设计了两种方案,电光调Q法和增益调制法,获得454 nm蓝光脉冲激光输出。在增益调制方法中,当重复频率为100 Hz时,Nd∶... 面向海洋激光应用,针对LD端面抽运的紧凑型准三能级Nd∶YLF晶体激光器实现454 nm蓝光激光脉冲输出特性开展了实验研究。设计了两种方案,电光调Q法和增益调制法,获得454 nm蓝光脉冲激光输出。在增益调制方法中,当重复频率为100 Hz时,Nd∶YLF晶体激光器腔内倍频获得了最大功率为3.16 mW的454 nm蓝光脉冲激光输出,脉冲宽度约为418 ns。而在电光调Q方法中,100 Hz的重复频率下,腔内倍频454 nm蓝光脉冲输出平均功率最大为23.62 mW,脉冲宽度约为66 ns,倍频效率约为3.7%。该研究为获得高重复频率、百纳秒脉宽的紧凑型蓝光454 nm波长脉冲激光提供参考。 展开更多
关键词 Nd∶YLF激光器 蓝光激光 腔内倍频 增益调制 电光调Q
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基于波导倏逝耦合的硅基片上量子点激光器的仿真设计
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作者 肖茗月 何希文 +3 位作者 周琛 马德岳 李儒新 周治平 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期102-111,共10页
针对目前硅基光电子芯片缺失片上光源这一问题,设计了一种基于波导倏逝耦合的硅基片上量子点激光器。整体结构基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)平台引入倏逝波耦合结构来完成量子点增益芯片和波导间的耦合,利用布拉格光栅形成... 针对目前硅基光电子芯片缺失片上光源这一问题,设计了一种基于波导倏逝耦合的硅基片上量子点激光器。整体结构基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)平台引入倏逝波耦合结构来完成量子点增益芯片和波导间的耦合,利用布拉格光栅形成激光腔体来完成光放大和波长选择功能。通过Lumerical仿真软件对O波段硅基片上光源的锥形(taper)耦合器结构和布拉格光栅结构进行了优化。结果表明,长142μm的锥形耦合器具有最高的耦合效率;长于30μm的锥形光斑塑形波导可以使光束以更低损耗在片上传输;优化后的布拉格光栅在波导两端的长度为110μm和240μm,分别实现了40%和90%的反射率。两段布拉格光栅形成谐振腔,放大并选择出1.31μm波长。文中设计显著提高了硅基片上光源整体的发光效率并降低了成本,实现了超过98%的耦合效率,且与CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)工艺兼容。相关研究结果可为后续工艺设计和实验验证提供数据支持。 展开更多
关键词 硅基光电子学 硅基片上光源 倏逝波耦合 布拉格光栅
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Development of an active-detection mid-wave infrared search and track system based on "cat-eye effect"
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作者 ZHOU Pan-Wei DING Xue-Zhuan +1 位作者 LI Fan-Ming YE Xi-Sheng 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第4期617-629,共13页
In order to meet the urgent need of infrared search and track applications for accurate identification and positioning of infrared guidance aircraft,an active-detection mid-wave infrared search and track system(ADMWIR... In order to meet the urgent need of infrared search and track applications for accurate identification and positioning of infrared guidance aircraft,an active-detection mid-wave infrared search and track system(ADMWIRSTS)based on"cat-eye effect"was developed.The ADMWIRSTS mainly consists of both a light beam control subsystem and an infrared search and track subsystem.The light beam control subsystem uses an integrated opto-mechanical two-dimensional pointing mirror to realize the control function of the azimuth and pitch directions of the system,which can cover the whole airspace range of 360°×90°.The infrared search and track subsystem uses two mid-wave infrared cooled 640×512 focal plane detectors for co-aperture beam expanding,infrared and illumination laser beam combining,infrared search,and two-stage track opto-mechanical design.In this work,the system integration design and structural finite-element analysis were conducted,the search imaging and two-stage track imaging for external scenes were performed,and the active-detection technologies were experimentally verified in the laboratory.The experimental investigation results show that the system can realize the infrared search and track imaging,and the accurate identification and positioning of the mid-wave infrared guidance,or infrared detection system through the echo of the illumination laser.The aforementioned work has important technical significance and practical application value for the development of compactly-integrated high-precision infrared search and track,and laser suppression system,and has broad application prospects in the protection of equipment,assets and infrastructures. 展开更多
关键词 active-detection mid-wave infrared search and track "cat-eye effect" illumination laser light beam control
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结合主被动卫星遥感数据综合分析云相态分布特征
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作者 范兰兰 杜晓铮 +2 位作者 林军 涂碧海 胡建波 《航天返回与遥感》 2025年第5期65-78,共14页
云相态的准确识别是深入探究云的光学和物理特征参数的基础,其准确性直接影响云光学厚度及有效粒子半径的反演精度。大气环境监测卫星搭载的多角度偏振成像仪(Directional Polarimetric Camera,DPC)和大气探测激光雷达(Aerosol and Carb... 云相态的准确识别是深入探究云的光学和物理特征参数的基础,其准确性直接影响云光学厚度及有效粒子半径的反演精度。大气环境监测卫星搭载的多角度偏振成像仪(Directional Polarimetric Camera,DPC)和大气探测激光雷达(Aerosol and Carbon Detection Lidar,ACDL)均具备有效识别水云和冰云的能力。为探究主被动卫星遥感数据云相态识别的应用,文章分别基于主动传感器ACDL回波信号的退偏特征,以及被动传感器DPC获取的云粒子偏振散射特征,开展云相态识别算法研究。以2024年7月的第3号台风“格美”为研究对象,将两种算法应用于台风过程中的云相态识别,并与可见光红外成像辐射仪(Visible Infrared Imaging Radiometer,VIIRS)云相态产品进行对比。结果显示,DPC和VIIRS对云相态的识别一致性高达85.3%。ACDL对单层云和多层云识别效果良好,能够识别台风“格美”的云相态的垂直的结构。综上所述,DPC.载荷具备高效的全球覆盖能力,可获取云顶相态的全面情况;而ACDL载荷可以提供高精确、高分辨率的垂直云相态信息。主被动联合观测显著提升了云相态识别的准确性和完整性,为台风的演化发展提供了重要的科学依据。 展开更多
关键词 云相态识别 多角度偏振成像仪 大气探测激光雷达 主被动联合观测 大气探测技术
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