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石英基底上亚微米级二元光学元件的电子束直写加工工艺
1
作者
黄胜利
凌天宇
+4 位作者
徐剑
胡敬佩
付学成
刘民
权雪玲
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第3期461-467,共7页
使用电子束直写加工工艺,在石英基底上完成了亚微米级8台阶二元光学元件的光刻加工。由于石英基底为绝缘体,导电性差,不利于电子束直写时电荷的传导。为了抑制石英基底上电荷的积累,探讨了不同的增强导电技术对电子束直写效果的影响,最...
使用电子束直写加工工艺,在石英基底上完成了亚微米级8台阶二元光学元件的光刻加工。由于石英基底为绝缘体,导电性差,不利于电子束直写时电荷的传导。为了抑制石英基底上电荷的积累,探讨了不同的增强导电技术对电子束直写效果的影响,最终选择了光刻胶表面沉积金属的方式,同时配合优化的特定对准标记设计,不仅提高了电子束直写在石英基底上加工二元光学元件的对准精度,套刻误差小于400 nm,而且拼接缺陷大幅度减少,显著提升了元件的加工质量。
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关键词
石英
亚微米
二元光学元件
电荷积累
电子束直写
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职称材料
反向摄影大尺度空间结构光三维测量
2
作者
肖永亮
文永富
+1 位作者
李思坤
张启灿
《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期120-130,共11页
结合结构光三维测量与近景摄影测量各自的优势,实现高精度高分辨率三维测量,成为大尺寸空间光学三维测量的有效手段。其测量过程需在待测物体上粘贴一定数目的标记点,而粘贴标记点会带来一系列的缺点和限制。本文提出舍弃粘贴标记点的步...
结合结构光三维测量与近景摄影测量各自的优势,实现高精度高分辨率三维测量,成为大尺寸空间光学三维测量的有效手段。其测量过程需在待测物体上粘贴一定数目的标记点,而粘贴标记点会带来一系列的缺点和限制。本文提出舍弃粘贴标记点的步骤,从理论上分析了反向摄影大尺度空间结构光三维测量的可行性。在结构光三维测量系统上安装辅助的反向摄像机,在结构光系统进行大尺寸物体局部三维数据单次测量时,用辅助摄像机反向观测作为定向靶标的大型液晶显示器,根据反向摄像机对液晶定向靶标的多次成像约束,反向追踪结构光三维测量系统相对于定向靶标的位姿,在反向摄像机位姿传递的辅助下,将所有结构光系统单次测量的三维数据统一在定向靶标坐标系下,实现大尺寸空间高精度高分辨率三维测量目的。反向摄影结构光三维测量技术体现了信息反向传递的优势,可实现无接触大尺寸空间结构光的三维测量。
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关键词
大尺度空间
结构光测量
摄影测量
条纹分析
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职称材料
题名
石英基底上亚微米级二元光学元件的电子束直写加工工艺
1
作者
黄胜利
凌天宇
徐剑
胡敬佩
付学成
刘民
权雪玲
机构
上海
交通大学电子
信息
与电气工程
学院
先进电子材料与器件平台
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第3期461-467,共7页
基金
2018年度上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400)。
文摘
使用电子束直写加工工艺,在石英基底上完成了亚微米级8台阶二元光学元件的光刻加工。由于石英基底为绝缘体,导电性差,不利于电子束直写时电荷的传导。为了抑制石英基底上电荷的积累,探讨了不同的增强导电技术对电子束直写效果的影响,最终选择了光刻胶表面沉积金属的方式,同时配合优化的特定对准标记设计,不仅提高了电子束直写在石英基底上加工二元光学元件的对准精度,套刻误差小于400 nm,而且拼接缺陷大幅度减少,显著提升了元件的加工质量。
关键词
石英
亚微米
二元光学元件
电荷积累
电子束直写
Keywords
quartz
submicron
binary optical element
charge accumulation
electron beam direct writing
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
反向摄影大尺度空间结构光三维测量
2
作者
肖永亮
文永富
李思坤
张启灿
机构
湘潭大学物理
与光电
工程
学院
北京理工大学
光电
学院
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
四川大学电子
信息
学院
出处
《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期120-130,共11页
基金
"国家仪器重大专项"(2013YQ49087901)
中国博士后科学基金(2013M540710)
四川省博士后科学基金资助
文摘
结合结构光三维测量与近景摄影测量各自的优势,实现高精度高分辨率三维测量,成为大尺寸空间光学三维测量的有效手段。其测量过程需在待测物体上粘贴一定数目的标记点,而粘贴标记点会带来一系列的缺点和限制。本文提出舍弃粘贴标记点的步骤,从理论上分析了反向摄影大尺度空间结构光三维测量的可行性。在结构光三维测量系统上安装辅助的反向摄像机,在结构光系统进行大尺寸物体局部三维数据单次测量时,用辅助摄像机反向观测作为定向靶标的大型液晶显示器,根据反向摄像机对液晶定向靶标的多次成像约束,反向追踪结构光三维测量系统相对于定向靶标的位姿,在反向摄像机位姿传递的辅助下,将所有结构光系统单次测量的三维数据统一在定向靶标坐标系下,实现大尺寸空间高精度高分辨率三维测量目的。反向摄影结构光三维测量技术体现了信息反向传递的优势,可实现无接触大尺寸空间结构光的三维测量。
关键词
大尺度空间
结构光测量
摄影测量
条纹分析
Keywords
large scale space
structured light measurement
photogrammetry
fringe analysis
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石英基底上亚微米级二元光学元件的电子束直写加工工艺
黄胜利
凌天宇
徐剑
胡敬佩
付学成
刘民
权雪玲
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
0
在线阅读
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职称材料
2
反向摄影大尺度空间结构光三维测量
肖永亮
文永富
李思坤
张启灿
《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
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