不同波长激光同时辐照薄膜热效应研究 被引量：5

1

作者 周明 范正修 +2 位作者 邵建达 赵元安 李大伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2608-2612,共5页

通过分析两个不同波长激光同时辐照下薄膜体内驻波场分布并求解热传导方程,得到1064nm激光和355nm激光在三倍频分离膜内共同作用下二维温度场分布.研究表明:1064nm激光和355nm激光共同作用引起薄膜体内的温升峰值高于相同能量1064nm激... 通过分析两个不同波长激光同时辐照下薄膜体内驻波场分布并求解热传导方程,得到1064nm激光和355nm激光在三倍频分离膜内共同作用下二维温度场分布.研究表明:1064nm激光和355nm激光共同作用引起薄膜体内的温升峰值高于相同能量1064nm激光单独作用引起的薄膜体内的温升峰值,低于相同能量355nm激光单独作用引起的薄膜体内的温升峰值. 展开更多

关键词 三倍频分离膜 高斯激光 温度场分布 薄膜损伤

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激光光刻技术的研究与发展 被引量：12

2

作者 邓常猛 耿永友 吴谊群 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期1223-1231,共9页

光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体行业的发展和半导体器件的性能。随着半导体工业的发展,集成电路的特征尺寸越来越小,光刻技术将面临新的挑战。分析了激光光刻技术,包括投影式光刻和激光无掩膜光刻技术的研究现... 光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体行业的发展和半导体器件的性能。随着半导体工业的发展,集成电路的特征尺寸越来越小,光刻技术将面临新的挑战。分析了激光光刻技术,包括投影式光刻和激光无掩膜光刻技术的研究现状,着重介绍了极紫外光刻(EUVL)作为下一代光刻技术的发展前景和技术难点、激光无掩膜光刻技术的发展,特别是激光近场扫描光刻、激光干涉光刻、激光非线性光刻等新技术的最新进展及其在高分辨率纳米加工领域的应用前景。 展开更多

关键词 投影式光刻 无掩膜光刻 发展趋势

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极紫外光刻材料研究进展 被引量：6

3

作者 耿永友 邓常猛 吴谊群 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1850-1856,共7页

极紫外光刻是微电子领域有望用于下一代线宽为22nm及以下节点的商用投影光刻技术,光刻材料的性能与工艺是其关键技术之一。为我国开展极紫外光刻材料研究提供参考,综述了最近几年来文献报道的研究成果,介绍了极紫外光刻技术发展历程、... 极紫外光刻是微电子领域有望用于下一代线宽为22nm及以下节点的商用投影光刻技术,光刻材料的性能与工艺是其关键技术之一。为我国开展极紫外光刻材料研究提供参考,综述了最近几年来文献报道的研究成果,介绍了极紫外光刻技术发展历程、现状、光刻特点及对光刻材料的基本要求,总结了极紫外光刻材料的研究领域和具体分类,着重阐述了主要光刻材料的组成、光刻原理,光刻性能所达到的水平和存在的主要问题,最后探讨了极紫外光刻材料未来的主要研究方向。 展开更多

关键词 极紫外光刻 极紫外光刻材料 极紫外光刻性能

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钛宝石激光晶体研究进展 被引量：2

4

作者 徐民 龚巧瑞 +1 位作者 李善明 杭寅 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期148-159,共12页

钛宝石(Ti:Al_(2)O_(3))激光晶体具有高硬度、高热导、宽带吸收、宽带发射等性能特点,广泛应用于可调谐、高功率和超快激光领域。近年来,钛宝石晶体的生长技术、基础理论分析和器件化应用都得到了极大的发展,对其进行的研究也越来越深... 钛宝石(Ti:Al_(2)O_(3))激光晶体具有高硬度、高热导、宽带吸收、宽带发射等性能特点,广泛应用于可调谐、高功率和超快激光领域。近年来,钛宝石晶体的生长技术、基础理论分析和器件化应用都得到了极大的发展,对其进行的研究也越来越深入、广泛。综述了钛宝石晶体材料研究和应用的主要进展。 展开更多

关键词 材料 钛宝石晶体 性能 晶体生长方法 残余红外吸收 器件应用

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高显色激光照明用宽光谱远程荧光转换材料 被引量：11

5

作者 孙炳恒 姜本学 +1 位作者 范金太 张龙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期1585-1618,共34页

基于荧光陶瓷、荧光玻璃以及荧光晶体等远程荧光转换材料的新一代激光固态光源具有热稳定性高、热承载能力强、荧光特性稳定等特点,在汽车大灯、投影显示以及航天航海照明等领域具有广阔的应用前景。但其目前面临的瓶颈之一是难以实现... 基于荧光陶瓷、荧光玻璃以及荧光晶体等远程荧光转换材料的新一代激光固态光源具有热稳定性高、热承载能力强、荧光特性稳定等特点,在汽车大灯、投影显示以及航天航海照明等领域具有广阔的应用前景。但其目前面临的瓶颈之一是难以实现可见光宽光谱发射,照明品质较低。本综述重点总结了近年来可应用于高显指、低色温激光白光光源的各类远程荧光转换材料的研究进展,分析了高流明密度激发下,激光光源光色品质下降的原因。阐述了现有单色和多色荧光体的光谱调控方案以及封装光源的显色指数、色温的提升效果。针对荧光转换材料需要重点解决的几个重要问题展开讨论,包括效能提升、高温猝灭和评判标准等三个方面。最后对宽光谱发射的远程荧光转换材料在固态照明与显示领域的应用前景进行了展望。 展开更多

关键词 激光照明 宽光谱发射 光色品质 固溶/掺杂 多色复合

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铽铝石榴石磁光陶瓷真空固相反应制备及格位取代研究进展

6

作者 陈杰 沈世纪 +1 位作者 田燕娜 周圣明 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第11期1927-1935,共9页

作为一类典型的高能固体激光系统用石榴石透明陶瓷,铽铝石榴石(Tb_(3)Al_(5)O_(12),TAG)磁光陶瓷以其优良的磁光性能和高功率服役特性成为相关领域的研究焦点。本文聚焦于真空固相反应法制备TAG磁光陶瓷,尤其是烧结助剂和格位掺杂改性... 作为一类典型的高能固体激光系统用石榴石透明陶瓷,铽铝石榴石(Tb_(3)Al_(5)O_(12),TAG)磁光陶瓷以其优良的磁光性能和高功率服役特性成为相关领域的研究焦点。本文聚焦于真空固相反应法制备TAG磁光陶瓷,尤其是烧结助剂和格位掺杂改性等方面的优化工作,通过对比得到了TAG陶瓷较为合适的添加剂种类,总结了TAG陶瓷长期以来质量难以进一步提升的根本原因,即对较大剂量烧结助剂的依赖和烧结助剂残留导致的组分不均匀性之间的矛盾关系。针对以上问题,介绍了本团队近期的研究进展,即一种通过Mg^(2+)-Si^(4+)格位共掺,在不减少MgO和TEOS绝对用量的情况下,通过一步真空固态烧结工艺制备更高光学质量TAG陶瓷的方法,最佳样品在1064 nm处的透过率达到82.48%。采用晶格掺杂而非传统质量比添加烧结助剂,有望为高能激光系统用石榴石透明陶瓷质量进一步突破提供一种新的有效思路。 展开更多

关键词 TAG 磁光透明陶瓷 烧结助剂 组分不均匀性 格位共掺 Mg 2+-Si 4+

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Nd,Ce共掺YAG透明陶瓷的制备及其光谱性能研究

7

作者 滕浩 李宇焜 +5 位作者 林辉 李文杰 侯肖瑞 贾婷婷 易庆 周圣明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1439-1442,共4页

采用固相反应真空烧结法首次制备出Nd3+和Ce3+的掺杂浓度分别为1.0 at%和0.3 at%,Nd、Ce共掺YAG透明陶瓷,并对样品的相结构、显微结构、光学透过率和光谱性能进行了表征。结果表明,Nd3+和Ce3+都进入了YAG晶格,样品的平均晶粒尺寸约为5μ... 采用固相反应真空烧结法首次制备出Nd3+和Ce3+的掺杂浓度分别为1.0 at%和0.3 at%,Nd、Ce共掺YAG透明陶瓷,并对样品的相结构、显微结构、光学透过率和光谱性能进行了表征。结果表明,Nd3+和Ce3+都进入了YAG晶格,样品的平均晶粒尺寸约为5μm,1.5 mm样品的光学透过率除吸收带外基本都在75 at%以上。采用467 nm的激发源对样品Ce3+的5d能级进行激发,Ce3+通过对Nd3+的能量转移,实现了Nd3+的近红外发射,主荧光发射峰位于在1064 nm处,荧光寿命为256μs。 展开更多

关键词 透明陶瓷 Nd Ce∶YAG 固相反应 真空烧结 光谱性能

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激光预处理提升DKDP晶体加工表面的抗损伤能力 被引量：5

8

作者 罗阳 胡国行 +4 位作者 赵元安 杨留江 曹珍 李大伟 刘晓凤 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1987-1994,共8页

针对晶体表面的损伤特性,采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件,并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况,比较预处理和未预处理区域的损伤点密度确定表面预处理效果,并进一步模拟分析表面各类... 针对晶体表面的损伤特性,采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件,并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况,比较预处理和未预处理区域的损伤点密度确定表面预处理效果,并进一步模拟分析表面各类缺陷在纳秒强激光辐照下的动态过程,解释激光预处理对精抛表面提升作用的微观机制并分析它对粗抛表面提升不明显的原因。实验结果表明,激光预处理技术对粗抛表面的提升作用并不明显,但是可以大幅度抑制精抛表面的损伤点密度。在本文的实验条件下,晶体表面的抗激光损伤能力可以提升约60%。比较体材料和精抛表面的预处理效果发现:当体材料的抗破坏能力通过预处理提升后,精抛表面的抗激光损伤能力也会提升,由此可见精抛表面的激光预处理效果与体材料性能相关。 展开更多

关键词 激光损伤 激光预处理 损伤阈值 预处理效果 氘化磷酸二氢钾(DKDP)

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蓝宝石晶体的热学性能研究 被引量：6

9

作者 施纯俊 张连翰 +3 位作者 洪佳琪 张方方 潘世烈 杭寅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2652-2657,共6页

对热交换法生长的蓝宝石晶体的热学性质做了系统的研究。在298~1773 K的温度范围内,用热膨胀仪测量晶体的主热膨胀系数分别为α11=5.312×10-6~8.379×10-6K-1,α33=6.008×10-6~9.317×10-6K-1,r向热膨胀系数αr=5.402... 对热交换法生长的蓝宝石晶体的热学性质做了系统的研究。在298~1773 K的温度范围内,用热膨胀仪测量晶体的主热膨胀系数分别为α11=5.312×10-6~8.379×10-6K-1,α33=6.008×10-6~9.317×10-6K-1,r向热膨胀系数αr=5.402×10-6K-1~8.821×10-6K-1。在298~1273 K的温度范围内,测得晶体的比热为0.7798~1.2242 J/（g·K）。采用激光脉冲法测量了在298~1273 K温度范围内晶体的热扩散系数,并通过计算得出主热导率分别为k11=31.429~5.556 W/（m·K）和k33=33.611~7.651 W/（m·K）,r向热导率kr=36.521~9.153 W/（m·K）。 展开更多

关键词 蓝宝石晶体 热膨胀 比热 热扩散系数 热导率

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飞秒激光作用下啁啾镜膜层内损伤相关动力学 被引量：2

10

作者 邢昕 袁伟 +6 位作者 李泽汉 薛冰 小林孝嘉 杜鹃 赵元安 冷雨欣 邵建达 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期117-122,共6页

光学元器件的激光损伤问题,一直以来都困扰着超强超短激光系统的进一步发展。飞秒激光领域,激光脉冲引起的光学器件损伤主要由材料的本征特性决定。光学材料内的多光子电离、雪崩电离、导带电子弛豫等一系列非线性过程,与材料的激光损... 光学元器件的激光损伤问题,一直以来都困扰着超强超短激光系统的进一步发展。飞秒激光领域,激光脉冲引起的光学器件损伤主要由材料的本征特性决定。光学材料内的多光子电离、雪崩电离、导带电子弛豫等一系列非线性过程,与材料的激光损伤过程密切相关。利用泵浦探测技术,采用中心波长为800 nm,重复频率1 k Hz的飞秒激光脉冲,对Nb2O5/Si O2啁啾镜介质膜的内部与飞秒激光损伤相关的超快动力学进行了研究。发现强的泵浦光脉冲辐照结束后飞秒乃至几十皮秒的范围内,啁啾镜对探测光的反射率有一定程度的下降。反射率降低的主要原因是泵浦光在介质膜的Nb2O5层内激发的大量的自由电子对探测光吸收所致,且该过程对激光诱导损伤过程起主导作用。通过反射率的变化,对其介质膜内导带电子弛豫过程进行探究,测定得到其衰减寿命,分别为1.31、6.88、22.34 ps。 展开更多

关键词 激光诱导损伤 啁啾镜 多光子电离 电子弛豫

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重频纳秒大能量激光增益介质初探 被引量：2

11

作者 陈跃 姜本学 +1 位作者 冯涛 张龙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1789-1807,共19页

重频纳秒大能量激光器在科研探究、工业制造、军事防务等领域发挥着重要作用,本文详细介绍了Yb^(3+)或Nd^(3+)稀土离子掺杂的激光晶体、激光玻璃和激光陶瓷的研究进展以及相应的重频纳秒大能量激光器代表性成果,分析了激光增益介质发射... 重频纳秒大能量激光器在科研探究、工业制造、军事防务等领域发挥着重要作用,本文详细介绍了Yb^(3+)或Nd^(3+)稀土离子掺杂的激光晶体、激光玻璃和激光陶瓷的研究进展以及相应的重频纳秒大能量激光器代表性成果,分析了激光增益介质发射截面、热导率、上能级寿命等参数特性对激光系统的影响。针对重频纳秒大能量激光器增益介质的选择制备、热管理、自发辐射放大效应管控展开讨论并梳理解决对策,对其未来的发展前景进行了展望。 展开更多

关键词 重频脉冲激光器 大能量激光器 Yb^(3+) Nd^(3+) 增益介质

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二维金纳米阵列制备及其光学响应 被引量：1

12

作者 白正元 张龙 王康鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期13-18,共6页

有序贵金属纳米结构由于其本身所特有的光学响应及灵活调控能力,在微纳光电子材料与器件研究领域得到了广泛应用。在众多相关研究中,如何实现金(Au)纳米周期结构的大面积快速制备是人们关心的重要问题之一。采用纳米球自组装刻蚀方法,... 有序贵金属纳米结构由于其本身所特有的光学响应及灵活调控能力,在微纳光电子材料与器件研究领域得到了广泛应用。在众多相关研究中,如何实现金(Au)纳米周期结构的大面积快速制备是人们关心的重要问题之一。采用纳米球自组装刻蚀方法,在大孔周期结构模板内部成功制备了新型二维Au纳米阵列,并有效避免了杂散Au纳米颗粒的产生。通过进一步的工艺优化和参量控制,实现了Au纳米颗粒尺寸的灵活调控,并探讨了其结构形成的物理机理。光学测试研究结果揭示了二维Au纳米阵列的表面等离子体吸收与散射响应,并证明其在近红外飞秒脉冲激励下具有显著的双光子吸收(饱和)效应。该研究结果在太阳能电池,光开关及材料微纳制备等领域具有潜在应用。 展开更多

关键词 纳米结构制备 金纳米阵列 自组装 非线性光学吸收

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WO3含量对Tm^3＋掺杂TeO2-WO3-La2O3玻璃热学性能及光谱性质的影响 被引量：5

13

作者 李科峰 汪国年 +2 位作者 胡丽丽 张军杰 胡俊江 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期429-434,共6页

研究了(90-x)TeO2-xWO3-9La2O3-1Tm2O3(x=10、20、30(mol%))玻璃(以下简称TWL玻璃)的热学性能和光谱性质.研究发现WO3的增加可以提高TWL玻璃的热稳定性,降低玻璃的热膨胀系数.WO3含量为30mol%时,玻璃化转变温度Tg达457℃,DTA曲线上无析... 研究了(90-x)TeO2-xWO3-9La2O3-1Tm2O3(x=10、20、30(mol%))玻璃(以下简称TWL玻璃)的热学性能和光谱性质.研究发现WO3的增加可以提高TWL玻璃的热稳定性,降低玻璃的热膨胀系数.WO3含量为30mol%时,玻璃化转变温度Tg达457℃,DTA曲线上无析晶开始温度Tx,且热膨胀系数降为1.224×10-5/℃(30~300℃).玻璃的最大声子能量随WO3的增加而略微增大.用J-O理论计算了Tm3+离子在TWL玻璃中的光谱参数和部分能级的自发辐射几率、荧光分支比、辐射寿命.用M cCumber理论计算了Tm3+离子3F4→3H6跃迁的受激发射截面,在60TeO2-30WO3-9La2O3-1Tm2O3玻璃中,Tm3+离子的最大受激发射截面达到9.6×10-21cm2.研究结果表明,60TeO2-30WO3-10La2O3玻璃具有优良的热学性能和光谱性质,是一种实现~2.0μm激光输出的理想玻璃基质材料. 展开更多

关键词 碲钨酸盐玻璃 Tm3+ 热稳定性 光谱性质

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Yb^3＋,Ho^3＋共掺氧化钇透明陶瓷的制备及其性能 被引量：5

14

作者 李文杰 林辉 +5 位作者 滕浩 刘娜 李宇焜 侯肖瑞 贾婷婷 周圣明 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第4期687-692,共6页

研究了共沉淀法制备Yb/Ho∶Y2O3纳米粉末及其透明陶瓷的烧结工艺,采用Y(NO3)3、Yb(NO3)3和Ho(NO3)3的混合溶液为母盐溶液,以氨水为沉淀剂,在不同pH值下,用共沉淀法制备得到了碱式硝酸盐前驱体沉淀。1100℃煅烧2h得到Yb/Ho∶Y2O3纳米粉... 研究了共沉淀法制备Yb/Ho∶Y2O3纳米粉末及其透明陶瓷的烧结工艺,采用Y(NO3)3、Yb(NO3)3和Ho(NO3)3的混合溶液为母盐溶液,以氨水为沉淀剂,在不同pH值下,用共沉淀法制备得到了碱式硝酸盐前驱体沉淀。1100℃煅烧2h得到Yb/Ho∶Y2O3纳米粉末。采用0.5wt%的TEOS(正硅酸四乙酯)为添加剂,1700～1850℃真空烧结15～25h后,得到了Yb/Ho∶Y2O3透明陶瓷。 展开更多

关键词 共沉淀法 Yb/Ho共掺 Y2O3 pH值 透明陶瓷

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退火温度对宽带脉冲压缩光栅载体金属/介质多层高反膜的影响 被引量：4

15

作者 吴建波 晋云霞 +4 位作者 关贺元 孔钒宇 刘文文 刘世杰 易葵 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1087-1092,共6页

分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。... 分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。实验结果表明:退火前后样品表面均方根粗糙度变化很小;提高退火温度能提高金属/介质多层膜的抗化学清洗破坏能力,但反射率会随之下降。250℃退火10 h后金属/介质多层膜不仅可以承受住化学清洗过程,而且反射率下降也比较小,可以作为金属/介质多层膜的最佳退火工艺。 展开更多

关键词 金属/介质多层膜 脉冲压缩光栅 退火 化学清洗 反射率

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Fe、Cu离子掺杂及退火对YAP晶体的生长及光谱性能的影响 被引量：3

16

作者 陈建玉 唐强 +2 位作者 董勤 丁雨憧 赵广军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1025-1028,共4页

采用提拉法成功生长了高光学质量掺杂浓度分别为0.2at%的Fe:YAP和0.5at%的Cu:YAP晶体.ICP-AES测试得出Fe、Cu离子在YAP晶体中的分凝系数分别为0.13和0.28.室温下测试了两种晶体经不同气氛高温退火后的吸收光谱和X射线激发发射光谱,分析... 采用提拉法成功生长了高光学质量掺杂浓度分别为0.2at%的Fe:YAP和0.5at%的Cu:YAP晶体.ICP-AES测试得出Fe、Cu离子在YAP晶体中的分凝系数分别为0.13和0.28.室温下测试了两种晶体经不同气氛高温退火后的吸收光谱和X射线激发发射光谱,分析了光谱特征及退火对光谱产生影响的微观机理.最后研究了两种晶体的热释光性能,发现Cu:YAP晶体是一种非常有潜力的辐照剂量计材料. 展开更多

关键词 Fe:YAP Cu:YAP 退火 热释光

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辐射光致发光剂量计玻璃的制备与性能 被引量：1

17

作者 凡思军 于春雷 +1 位作者 何冬兵 胡丽丽 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期502-507,共6页

采用传统的熔融冷却法制得5种不同Li/Na原子比(7:0、5:2、1:1、2:5、0:7)的辐射光致发光剂量计玻璃,研究结果揭示了玻璃性能随玻璃组成的变化规律。混合碱作用下玻璃的化学稳定性在Li/Na原子比为5:2时为最佳,本底剂量则在Li/Na原子比为... 采用传统的熔融冷却法制得5种不同Li/Na原子比(7:0、5:2、1:1、2:5、0:7)的辐射光致发光剂量计玻璃,研究结果揭示了玻璃性能随玻璃组成的变化规律。混合碱作用下玻璃的化学稳定性在Li/Na原子比为5:2时为最佳,本底剂量则在Li/Na原子比为2:5时为最差。用钠离子取代锂离子后,钠离子半径大于锂离子半径(rNa+>rLi+),Na—O键较Li—O键弱,使得玻璃的紫外截止边红移。玻璃中钠离子含量增加使分子量增大,密度随之增大。在337nm紫外光激发下,荧光强度随玻璃中钠离子含量的增加而增强。电子顺磁共振实验(EPR)表明,随着玻璃中钠离子含量的增加,荧光能增大时间变短。研究结果为在玻璃剂量计实际应用中选择合适的玻璃组成提供依据。 展开更多

关键词 辐射光致发光 剂量计 银掺杂 磷酸盐玻璃

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不同基底上SiO2薄膜的显微结构和力学性能 被引量：4

18

作者 王河 贺洪波 张伟丽 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期653-658,共6页

用电子束蒸发技术在K9玻璃及两种不同取向的钇铝石榴石(Y3Al5O12,简称YAG)晶体上沉积了SiO2薄膜,采用X射线衍射仪和纳米划痕仪对薄膜显微结构和力学性能进行了研究。实验结果表明:薄膜在K9、YAG(100)和YAG(111)基底上分别呈现非晶态和... 用电子束蒸发技术在K9玻璃及两种不同取向的钇铝石榴石(Y3Al5O12,简称YAG)晶体上沉积了SiO2薄膜,采用X射线衍射仪和纳米划痕仪对薄膜显微结构和力学性能进行了研究。实验结果表明:薄膜在K9、YAG(100)和YAG(111)基底上分别呈现非晶态和多晶态;沉积在不同基底上的薄膜的弹性模量并无明显差异;SiO2薄膜在K9和YAG基底上呈现不同的划痕破坏模式,并且YAG晶体上薄膜的粘附失效临界附着力远远小于SiO2薄膜与K9基底的附着力。本文从薄膜的结构和弹性模量两方面分析解释了不同基底上薄膜的力学行为。 展开更多

关键词 SIO2薄膜 显微结构 弹性模量 附着力 K9 YAG

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中红外稀土掺杂碲酸盐玻璃和光纤 被引量：5

19

作者 尹朋伟 李彦潮 +3 位作者 赵文凯 赵国营 张龙 姜益光 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1705-1720,共16页

中红外稀土掺杂连续光纤激光在光声技术、红外制导、医疗手术、塑料加工以及5G通信等领域有着十分广阔的应用前景。然而,制备中红外稀土掺杂连续光纤激光器的光纤基质材料单一,再加上高增益光纤和器件的缺乏,大大限制了大功率单频连续... 中红外稀土掺杂连续光纤激光在光声技术、红外制导、医疗手术、塑料加工以及5G通信等领域有着十分广阔的应用前景。然而,制备中红外稀土掺杂连续光纤激光器的光纤基质材料单一,再加上高增益光纤和器件的缺乏,大大限制了大功率单频连续光纤激光器的发展。本文对比了传统的石英光纤、氟化物光纤、硫系光纤和重金属氧化物光纤,最终将碲酸盐光纤作为阐述对象。重点阐述了国内外中红外稀土掺杂碲酸盐连续光纤激光的研究进展,目前2.0μm波段的最高输出功率为8.08 W、最高斜率效率为77%;3.0μm波段的理论模拟结果显示最高输出功率高达5.219 W、最高斜率效率可达40%。 展开更多

关键词 中红外激光 稀土掺杂连续光纤激光器 碲酸盐光纤

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