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Nc-Si∶H薄膜器件的研究
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作者 韦文生 徐刚毅 +1 位作者 王天民 张春熹 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第1期76-79,共4页
介绍了氢化纳米硅(nc-Si∶H)薄膜在电子学器件和光电转换器件(如隧道二极管、异质结二极管、变容二极管、单电子晶体管、太阳能电池、发光二极管)等方面的研究进展,分析了这些器件的性能与nc-Si∶H薄膜结构之间的关系,阐述了新型器件的... 介绍了氢化纳米硅(nc-Si∶H)薄膜在电子学器件和光电转换器件(如隧道二极管、异质结二极管、变容二极管、单电子晶体管、太阳能电池、发光二极管)等方面的研究进展,分析了这些器件的性能与nc-Si∶H薄膜结构之间的关系,阐述了新型器件的优点。 展开更多
关键词 Nc-Si:H薄膜 氢化纳米硅薄膜 电子学器件 光电转换器件 化学稳定性
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