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KZ-400离子束刻蚀装置的研制
被引量：
7
1
作者
徐朝银
董晓浩
+5 位作者
赵飞云
高飞
徐德权
凤良杰
阎佐健
孙继武
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期48-53,共6页
日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置。它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置...
日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置。它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置性能的主要因素,优化工艺结构,使各项指标达到了设计要求,现已投入运行。
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关键词
离子束刻蚀
有限元分析
扫描运动
束流密度均匀性
优化设计
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职称材料
题名
KZ-400离子束刻蚀装置的研制
被引量：
7
1
作者
徐朝银
董晓浩
赵飞云
高飞
徐德权
凤良杰
阎佐健
孙继武
机构
中国科学科技大学国家同步辐射实验室
沈阳市慧宇应用技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期48-53,共6页
基金
863资助项目(No.2005AA849020)
文摘
日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置。它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置性能的主要因素,优化工艺结构,使各项指标达到了设计要求,现已投入运行。
关键词
离子束刻蚀
有限元分析
扫描运动
束流密度均匀性
优化设计
Keywords
Ion beam etching, Finite element analysis, Scanning motion, Uniformity of the beam density, Optimize design
分类号
TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
KZ-400离子束刻蚀装置的研制
徐朝银
董晓浩
赵飞云
高飞
徐德权
凤良杰
阎佐健
孙继武
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
7
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