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一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计被引量：2: 1; 作者王登攀黄晶 +7 位作者赵德锋王飞王露刘文怡苗晋威张立宇袁宇鹏胡义东《压电与声光》北大核心 2025年第1期28-31,58,共5页; 为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高... 展开更多; 关键词压电薄膜微机电系统(MEMS) 声接收器; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种射频SiP模组链路快速验证方法研究: 2; 作者崔梦琦余怀强 +2 位作者张磊王玺代春玥《压电与声光》北大核心 2025年第1期108-112,共5页; 针对射频SiP模组设计周期长、成本高、兼容性差等问题,提出了一种射频SiP模组链路快速验证方法。该方法将射频SiP模组内的射频器件分装于不同积木块中,再将积木块拼接形成有目标电路功能的验证链路。通过对该链路进行测试,可快速验证射... 展开更多; 关键词射频SiP 快速验证高频连接桥可重构可复用; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS电容型器件边缘效应研究被引量：3: 3; 作者胡钧铭戴强 +2 位作者刘军徐江宋丹路《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期76-82,共7页; MEMS电容型器件在工作过程中,其电容通常情况下为非正对的极板,边缘效应不容忽视。为解决此问题,基于保角映射变换和复变函数相关理论,通过继承传统模型并加以修正,得出电容极板在非正对情况下的边缘效应模型。经过与有限元仿真、传统He... 展开更多; 关键词边缘效应模型 MEMS电容型器件保角映射变换有限元仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于位移放大的压电致动器设计与仿真被引量：2: 4; 作者王登攀向路 +2 位作者王露王浩代里程《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期376-380,共5页; 压电叠堆致动器广泛用于驱动智能变形装置,由于压电叠堆输出位移小,需要放大结构增大位移输出。设计了一种椭圆形位移放大结构,分析了椭圆长轴、壳体厚度、X方向位移和压电叠堆宽度等结构参数对Y方向的位移输出、应力强度和放大倍数等... 展开更多; 关键词压电致动器位移放大结构高频驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析被引量：1: 5; 作者罗恩雄张必壮 +2 位作者吴坤马晋毅李思忍《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第2期159-163,共5页; 该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件... 展开更多; 关键词薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构杂模抑制有限元; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计被引量：2: 1; 作者王登攀黄晶赵德锋王飞王露刘文怡苗晋威张立宇袁宇鹏胡义东; 机构中国电科芯片技术研究院国知创芯(重庆)科技有限公司中国电子科技集团公司第二十六研究所云南无线电有限公司; 出处《压电与声光》北大核心 2025年第1期28-31,58,共5页; 文摘为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高于-60 dB,说明所提出的开缝式结构能在低频段实现高灵敏度。; 关键词压电薄膜微机电系统(MEMS) 声接收器; Keywords piezoelectric film MEMS acoustic receiver; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN64 [电子电信—电路与系统] TH765 [机械工程—精密仪器及机械] P412.13 [天文地球—大气科学及气象学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种射频SiP模组链路快速验证方法研究: 2; 作者崔梦琦余怀强张磊王玺代春玥; 机构中国电科芯片技术研究院中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》北大核心 2025年第1期108-112,共5页; 文摘针对射频SiP模组设计周期长、成本高、兼容性差等问题,提出了一种射频SiP模组链路快速验证方法。该方法将射频SiP模组内的射频器件分装于不同积木块中,再将积木块拼接形成有目标电路功能的验证链路。通过对该链路进行测试,可快速验证射频SiP模组设计是否达标。为实现积木块间良好互连,设计了高频连接桥压接结构。测试结果经去嵌计算,得到18 GHz内插入损耗最大值为1.34 dB。通过搭建与测试二次变频射频SiP模组链路,表明该方法具备低损耗、可重构、可复用等特性,对射频SiP模组快速设计具有重要的工程意义。; 关键词射频SiP 快速验证高频连接桥可重构可复用; Keywords RF SiP rapid verification high-frequency connection bridge reconfigurable reusable; 分类号 TN61 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS电容型器件边缘效应研究被引量：3: 3; 作者胡钧铭戴强刘军徐江宋丹路; 机构制造过程测试技术教育部重点实验室电子科技大学通信抗干扰国家级重点实验室中国电科芯片技术研究院; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期76-82,共7页; 基金国家重点研发计划(2020YFB1807700) 中国电子科技集团2021产业资金(C211)项目资助; 文摘 MEMS电容型器件在工作过程中,其电容通常情况下为非正对的极板,边缘效应不容忽视。为解决此问题,基于保角映射变换和复变函数相关理论,通过继承传统模型并加以修正,得出电容极板在非正对情况下的边缘效应模型。经过与有限元仿真、传统Heerens模型、Huang模型的对比,表明当电容极板从正对到完全移开的过程中,本文模型与有限元仿真的误差在10%~20%之间,优于传统Heerens模型与Huang模型。进一步,根据本文模型,当极板重合度低于40%时,边缘效应呈快速增长,此时其电容值可用本文模型进行计算。以上结论均得到了MEMS阵列电容数字式实验验证。研究对电容型MEMS器件的设计与性能分析具参考作用。; 关键词边缘效应模型 MEMS电容型器件保角映射变换有限元仿真; Keywords MEMS capacitive device fringing effect model conformal mapping transformation finite element simulation; 分类号 TN401 [电子电信—微电子学与固体电子学] TH701 [机械工程—精密仪器及机械] TM53 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于位移放大的压电致动器设计与仿真被引量：2: 4; 作者王登攀向路王露王浩代里程; 机构中国电科芯片技术研究院国知创芯(重庆)科技有限公司中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期376-380,共5页; 文摘压电叠堆致动器广泛用于驱动智能变形装置,由于压电叠堆输出位移小,需要放大结构增大位移输出。设计了一种椭圆形位移放大结构,分析了椭圆长轴、壳体厚度、X方向位移和压电叠堆宽度等结构参数对Y方向的位移输出、应力强度和放大倍数等性能的影响规律,优化了结构参数,并制作了样品。测试数据表明,位移放大结构实现了5.3倍以上的位移放大;分析了放大结构在高频电压驱动下的瞬态响应,模拟了驱动信号频率对位移输出的影响,结果表明,在周期0.01 s的交变电压驱动下,结构的位移输出未出现失真。; 关键词压电致动器位移放大结构高频驱动; Keywords piezoelectric actuator displacement amplification structure high-frequency driving; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TH765 [机械工程—精密仪器及机械] TP412.13 [自动化与计算机技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析被引量：1: 5; 作者罗恩雄张必壮吴坤马晋毅李思忍; 机构中国电科芯片技术研究院柳州市计量技术测试研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第2期159-163,共5页; 文摘该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件。测试结果表明,当该阶梯结构凸起宽度为3μm,凹陷宽度为1.5μm时,谐振器杂波被有效抑制,反谐振频率处的品质因数约增大100。; 关键词薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构杂模抑制有限元; Keywords thin film bulk acoustic resonators(FBAR) step structure spurious mode suppression finite element; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计	王登攀黄晶赵德锋王飞王露刘文怡苗晋威张立宇袁宇鹏胡义东	《压电与声光》北大核心	2025	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种射频SiP模组链路快速验证方法研究	崔梦琦余怀强张磊王玺代春玥	《压电与声光》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	MEMS电容型器件边缘效应研究	胡钧铭戴强刘军徐江宋丹路	《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于位移放大的压电致动器设计与仿真	王登攀向路王露王浩代里程	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析	罗恩雄张必壮吴坤马晋毅李思忍	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料