ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究

1

作者 田本朗 梁柳洪 +3 位作者 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期59-62,共4页

采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8&#... 采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°~85.0°图形侧壁倾角,表明图形侧壁角度可在大范围内得到控制,刻蚀速率可在148~232 nm/min调节,为薄膜体声波谐振器(FBAR)器件研制工艺打下良好基础。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种全集成架构的光纤陀螺信号处理电路

2

作者 李搏 于晓之 +3 位作者 欧姮 陈思宇 李健壮 黄晓宗 《中国惯性技术学报》 北大核心 2025年第6期596-600,共5页

随着光纤陀螺不断小型化,对信号处理电路的尺寸、功耗、精度、成本等综合性能要求越来越高,传统分立器件方案难以满足集成化光纤陀螺的需求。提出了一种光纤陀螺信号处理全集成架构,具备前级调理及采集、可编程数字信号处理及存储、数... 随着光纤陀螺不断小型化,对信号处理电路的尺寸、功耗、精度、成本等综合性能要求越来越高,传统分立器件方案难以满足集成化光纤陀螺的需求。提出了一种光纤陀螺信号处理全集成架构,具备前级调理及采集、可编程数字信号处理及存储、数模转换及驱动、通讯等功能,支持信号斩波和第二回路控制功能。采用2.5D堆叠及系统级封装(SiP)技术实现高密度集成,尺寸仅为14.0mm×14.0mm,相较于同等性能分立器件方案,所提方案的印制电路板(PCB)整体尺寸缩小约20%,在30mm×30mm×30mm光纤陀螺中三温零偏稳定性≤0.18(°)/h(10s),具有集成度高、尺寸小、成本低等优点,为光纤陀螺小型化提供了有效技术方案。 展开更多

关键词 集成化光纤陀螺 全集成架构 2.5D堆叠 零偏稳定性

在线阅读 下载PDF 职称材料

高性能声学滤波器技术研究进展 被引量：8

3

作者 李晖 米佳 +2 位作者 胡少勤 李左翰 邱海莲 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期617-622,共6页

声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器... 声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器。该文对高性能声表面波(SAW)和声体波(BAW)滤波器技术(包括UltraSAW、LowDrift TM和NoDrift TM、I.H.P SAW、XBAR TM、XBAW滤波器等)的研究情况进行了介绍与评述。最后对未来声学滤波器将面临的技术问题做了简要总结。 展开更多

关键词 声学 声波 声表面波(SAW) 体声波(BAW) 滤波器 射频前端模块(RFFEM) 第五代移动通信技术(5G)

在线阅读 下载PDF 职称材料

微加速度传感器的研究现状及发展趋势 被引量：9

4

作者 刘妤 温志渝 +2 位作者 张流强 刘玉奎 梁玉前 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z1期81-86,共6页

基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.

关键词 微加速度传感器 MEMS

在线阅读 下载PDF 职称材料

运算放大器SET效应的试验研究 被引量：1

5

作者 封国强 胡永贵 +4 位作者 王健安 黄建国 马英起 韩建伟 张振龙 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期170-175,共6页

模拟器件的单粒子瞬态脉冲效应的研究,成为近来国际上单粒子效应研究的热点.针对中国生产的运算放大器SF3503,利用脉冲激光单粒子效应测试装置,试验研究了SF3503工作于反相放大器与电压比较器模式SET效应的特征与规律.获取了器件的敏感... 模拟器件的单粒子瞬态脉冲效应的研究,成为近来国际上单粒子效应研究的热点.针对中国生产的运算放大器SF3503,利用脉冲激光单粒子效应测试装置,试验研究了SF3503工作于反相放大器与电压比较器模式SET效应的特征与规律.获取了器件的敏感节点分布、LET阈值和SET脉冲波形的特征参数,其中器件的敏感节点均分布在输入级与放大级,LET阈值不大于1.2 MeV·cm~·mg^(-1),电压比较器产生的最大SET脉冲的幅度达27V、脉冲宽度为51μs.试验表明SF3503对SET效应极其敏感,在不采取任何措施的情况下,在空间任务中直接使用,会严重影响系统的可靠性. 展开更多

关键词 运算放大器 单粒子瞬态脉冲 脉冲激光 敏感节点

在线阅读 下载PDF 职称材料

电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅱ)(续完)

6

作者 罗驰 秦岭 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2012年第11期24-27,共4页

综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜... 综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。 展开更多

关键词 电镀 化学镀 电化学腐蚀 微电子

在线阅读 下载PDF 职称材料

电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅰ)(待续)

7

作者 罗驰 秦岭 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2012年第10期20-22,共3页

综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜... 综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。 展开更多

关键词 电镀 化学镀 电化学腐蚀 微电子

在线阅读 下载PDF 职称材料

面向三维球体空间温度场的对射式超声波测量研究 被引量：3

8

作者 梅勇 刘畅 +2 位作者 袁宇鹏 张祖伟 张语哲 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第3期441-447,共7页

温度测量在航空航天、公共安全、智能制造及智能家居等方面具有重要意义。基于超声波原理的测温技术是近年来发展起来的一种新型温度测量方式,超声波测温技术具有非接触式,温度测量范围广,响应速度快和测量准确度高等特点,在航空发动机... 温度测量在航空航天、公共安全、智能制造及智能家居等方面具有重要意义。基于超声波原理的测温技术是近年来发展起来的一种新型温度测量方式,超声波测温技术具有非接触式,温度测量范围广,响应速度快和测量准确度高等特点,在航空发动机、微波干燥等领域表现出了良好性能。该文面向三维球体空间温度场测量的需求背景,基于超声波飞行速度与介质温度相关原理,采用收发同体式超声波换能器,设计了针对二维圆形平面的8换能器结构和针对三维球体空间的26换能器结构,提出了分时轮训超声波换能器接收控制策略,建立了基于径向基函数的空间温度重构算法,并基于Matlab平台对测温方法进行仿真。仿真结果表明,对于构建的对角偏斜和中心对称二维圆形平面温度场模型,以及中心对称三维球体温度场模型均具有良好的重建效果,同时在超声飞行时间的测量中还叠加了标准差分别为0.02%、0.03%和0.05%的三类高斯白噪声,进一步验证了该文提出的对射式超声波温度场测量方法具有较好的鲁棒性。 展开更多

关键词 超声换能器 温度测量 三维 球体 高斯白噪声

在线阅读 下载PDF 职称材料

典型国产双极工艺宇航用稳压器单粒子闩锁效应研究 被引量：2

9

作者 汪波 罗宇华 +5 位作者 刘伟鑫 孔泽斌 楼建设 彭克武 付晓君 韦锡峰 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期245-250,共6页

通过对某国产双极工艺宇航用稳压器进行不同LET值重离子辐照试验,实时监测器件输出电压的变化幅度和器件供电管脚电流,准确评估了器件抗单粒子效应性能。研究结果表明器件发生单粒子瞬态效应阈值小于5 MeV·cm2·mg-1,当辐照重... 通过对某国产双极工艺宇航用稳压器进行不同LET值重离子辐照试验,实时监测器件输出电压的变化幅度和器件供电管脚电流,准确评估了器件抗单粒子效应性能。研究结果表明器件发生单粒子瞬态效应阈值小于5 MeV·cm2·mg-1,当辐照重离子LET值增加至37.37 MeV·cm2·mg-1时,诱发器件产生单粒子闩锁效应,器件供电管脚电流由6 mA陡增至24 mA。在分析重离子试验数据的基础上,借助脉冲激光获得了器件内部单粒子效应敏感区域位置和结构特征。分析认为由于芯片内部多个功能模块共用一个隔离岛,同一个隔离岛内的器件之间形成的寄生PNP管与隔离岛内NPN管形成了PNPN可控硅结构,当入射重离子LET值足够大时将诱发寄生PNPN结构导通,进入闩锁状态。采用模拟软件Spectre实现了电参数级的瞬态故障注入模拟,复现了该双极工艺结构下单粒子闩锁效应现象。 展开更多

关键词 双极工艺 宇航用稳压器 重离子辐照 单粒子闩锁效应 损伤机理

在线阅读 下载PDF 职称材料

单片DC/DC转换器批量测试技术研究 被引量：3

10

作者 保兴润 刘一杉 《电子测量技术》 2020年第20期47-52,共6页

单片DC/DC转换器作为最近几年的国内新型电源发展的方向,由于其外围器件少,效率高等优于LDO的特点被大量使用。与传统的DC/DC电源模块在自动化测试方面已经标准化相比,单片DC/DC转换器由于功能模块和参数复杂性及参考资料少等原因,在参... 单片DC/DC转换器作为最近几年的国内新型电源发展的方向,由于其外围器件少,效率高等优于LDO的特点被大量使用。与传统的DC/DC电源模块在自动化测试方面已经标准化相比,单片DC/DC转换器由于功能模块和参数复杂性及参考资料少等原因,在参数评估效率和参数自动化测试全面性方面存在一些困难。针对这些情况,提出了开环和闭环参数融合的自动化测试系统框架和方案,经验证能够解决单片DC/DC控制器在电参数评估效率和自动化测试全面性方面的困难,系统最终实现了4MHz以上工作频率和3A以上负载自动化参数测试,同时也为基于仪器或者大型机台自动化测试系统设计提供一定有价值的思路和参考。 展开更多

关键词 单片DC/DC 自动化测试 系统框架

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于智能型红外焦平面电路液氮成像系统的研究与算法实现

11

作者 陈相洪 黄文刚 +2 位作者 黄晓宗 陈彦冠 史凡萍 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1203-1212,共10页

提出了一种智能型红外焦平面电路液氮成像系统,系统采用UART转SPI数据传输,上位机VB软件开发SPI配置界面,可提高SPI寄存器批量配置效率和准确率,减少外界干扰产生误码和乱码情况,并结合FPGA、自研的IRCamExpert-CETC图像处理软件和图像... 提出了一种智能型红外焦平面电路液氮成像系统,系统采用UART转SPI数据传输,上位机VB软件开发SPI配置界面,可提高SPI寄存器批量配置效率和准确率,减少外界干扰产生误码和乱码情况,并结合FPGA、自研的IRCamExpert-CETC图像处理软件和图像采集卡搭建软硬件成像系统,本系统具有红外视频图像在线监测和多芯测试能力。本文进一步提出了基于单片像元级ADC的背景减除、盲元补偿、非均匀性校正、开窗、像素合并、空间滤波、图像均衡变换、时间延迟积分多种图像算法和总体算法结构,并通过对一款640×512阵列的智能型红外焦平面电路进行测试,验证了单片红外焦平面多功能图像算法,并实现了系统对智能型红外焦平面全参数的性能评估。采用像元级进行图像处理的方式,降低了采用算法级进行后续图像处理的难度,减少了图像处理算法消耗的资源。多功能图像算法为智能型红外焦平面的工程化应用提供了新技术途径。 展开更多

关键词 智能型红外焦平面 液氮成像系统 多功能图像算法 全参数性能评估

在线阅读 下载PDF 职称材料

模拟集成电路设计课程实验项目驱动式教学改革 被引量：6

12

作者 刘海涛 唐枋 +2 位作者 林智 黄兴发 甘平 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第4期117-120,共4页

基于高校模拟集成电路设计课程实验项目分散且教学目标不明确,缺乏系统性和工程应用性,提出了项目驱动式教学改革。以与企业合作的工程项目为基础设立实验项目,并分解成由易及难的多个实验题目,分阶段、分步骤完成实验内容,最终完成模... 基于高校模拟集成电路设计课程实验项目分散且教学目标不明确,缺乏系统性和工程应用性,提出了项目驱动式教学改革。以与企业合作的工程项目为基础设立实验项目,并分解成由易及难的多个实验题目,分阶段、分步骤完成实验内容,最终完成模拟集成电路设计全流程实验,以“带隙基准电压源芯片全定制设计实验”为例阐述了实施步骤。课程实验项目采用驱动式教学加深了学生对课程内容的理解,有助于培养学生扎实的工程实践能力。 展开更多

关键词 模拟集成电路 课程实验 项目驱动式 带隙基准电压源 全定制设计

在线阅读 下载PDF 职称材料

用于管道入侵定位检测的MEMS声传感器

13

作者 刘涛 豆涵杰 +5 位作者 李军 李志浩 张继轩 杨嘉倩 张明洋 牟笑静 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期634-637,共4页

管道入侵破坏会造成环境严重污染以及财产的重大损失,基于声学技术的管道破坏定位技术已成为发展趋势。提出了一种基于PMUT的MEMS声传感器,通过氧化铝-环氧树脂填充的方式实现了声阻抗匹配与高可靠性封装。将两个微机电系统(MEMS)声传... 管道入侵破坏会造成环境严重污染以及财产的重大损失,基于声学技术的管道破坏定位技术已成为发展趋势。提出了一种基于PMUT的MEMS声传感器,通过氧化铝-环氧树脂填充的方式实现了声阻抗匹配与高可靠性封装。将两个微机电系统(MEMS)声传感器安装在管道入侵定位检测系统中,并敲击管道模拟入侵场景,然后采集管道中传播的声信号并对其进行分析。结果表明,声信号在管道中的传播速度为2449 m/s,基于声信号的管道入侵定位检测方法的定位相对误差小于2%,证明了MEMS声传感器用于管道入侵定位监测的可行性。 展开更多

关键词 MEMS声传感器 PMUT 管道入侵定位 声探测 声谱

在线阅读 下载PDF 职称材料

风致振动能量采集器驱动的无线风速传感器 被引量：13

14

作者 贺学锋 齐睿 +3 位作者 程耀庆 张闯 尚正国 杨晓康 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第2期290-296,共7页

针对气象观测、煤矿/隧道/通风管道运行状况监测等的需求,设计了一个由带谐振腔的风能采集器供电的无线风速传感器,该无线传感器包括两个带谐振腔的风能采集器,其中一个用于风能采集,另一个用于风速测量。当风速在特定区间变化时,采集... 针对气象观测、煤矿/隧道/通风管道运行状况监测等的需求,设计了一个由带谐振腔的风能采集器供电的无线风速传感器,该无线传感器包括两个带谐振腔的风能采集器,其中一个用于风能采集,另一个用于风速测量。当风速在特定区间变化时,采集器将发生强烈振动,将风能转换为电能。由于采集器的振动频率随风速单调递减,因此在建立采集器振动频率与风速的关系后,通过测量振动频率就可以实现对风速的测量。实验结果表明,自供能无线风速传感器在8.5~12.1m/s风速范围内可以正常工作,灵敏度为1.45Hz·s/m,当风速为12.1m/s时,自供能无线风速传感器每隔30s可以测量并发送一次风速信息,基本可以满足通风管道运行状况监测的要求。 展开更多

关键词 风致振动 能量采集 无线传感 自供能 风速计

在线阅读 下载PDF 职称材料

总剂量辐照加固的功率VDMOS器件 被引量：12

15

作者 李泽宏 张磊 谭开洲 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期621-623,共3页

采用先形成P-body区再生长栅氧化层的新工艺流程和薄栅氧化层配合Si3N4-SiO2钝化层加固工艺,研制出一种抗总剂量辐照加固功率VDMOS器件。给出了该器件的常态参数和总剂量辐照的实验数据,通过和二维数值仿真比较,表明实验数据和仿真数据... 采用先形成P-body区再生长栅氧化层的新工艺流程和薄栅氧化层配合Si3N4-SiO2钝化层加固工艺,研制出一种抗总剂量辐照加固功率VDMOS器件。给出了该器件的常态参数和总剂量辐照的实验数据,通过和二维数值仿真比较,表明实验数据和仿真数据能较好吻合。对研制的功率VDMOS器件在X射线模拟源辐照总剂量972×103rad(Si)下,阈值电压仅漂移?1V。结果证明,工艺改善了功率VDMOS器件的抗总剂量辐照能力。 展开更多

关键词 功率VDMOS器件 薄栅氧化层 阈值电压漂移 总剂量辐照

在线阅读 下载PDF 职称材料

10位CMOS数模转换器在中子和γ混合环境下的综合辐射效应 被引量：3

16

作者 刘岩 杨善潮 +6 位作者 林东生 崔庆林 陈伟 龚建成 王桂珍 白小燕 郭晓强 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2186-2190,共5页

研究了在反应堆中子和γ射线综合辐照环境下CMOS工艺10位数模转换器(DAC)的辐射效应。通过对DAC在γ辐射环境、中子辐射环境、中子和γ混合辐射环境以及中子预辐照后进行γ射线辐照下的效应对比发现,在中子和γ混合辐射环境下会产生电... 研究了在反应堆中子和γ射线综合辐照环境下CMOS工艺10位数模转换器(DAC)的辐射效应。通过对DAC在γ辐射环境、中子辐射环境、中子和γ混合辐射环境以及中子预辐照后进行γ射线辐照下的效应对比发现,在中子和γ混合辐射环境下会产生电离总剂量效应加剧现象,即一定混合程度的中子和γ同时辐照会增强CMOS器件的辐射效应。 展开更多

关键词 综合辐射效应 中子和γ混合环境 CMOS数模转换器 电离总剂量效应 位移损伤

在线阅读 下载PDF 职称材料

高速CORDIC算法的电路设计与实现 被引量：14

17

作者 姚亚峰 付东兵 杨晓非 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期346-348,共3页

CORDIC(coordinate rotation digital computing)算法能够通过简单的移位、加减运算得到任意输入角度的正弦或余弦值,具有速度快、精度灵活可调、硬件实现简单等优点。在深入分析CORDIC基本算法原理的基础上,实现了一种改进算法,这种改... CORDIC(coordinate rotation digital computing)算法能够通过简单的移位、加减运算得到任意输入角度的正弦或余弦值,具有速度快、精度灵活可调、硬件实现简单等优点。在深入分析CORDIC基本算法原理的基础上,实现了一种改进算法,这种改进算法的迭代方向由输入角二进制表示时的各位位值直接确定,避免了CORDIC基本算法中迭代方向需由剩余角度计算结果决定的不足,从而提高了CORDIC算法的运行速度,减小了电路规模,并且对算法的综合性能也有一定改善。 展开更多

关键词 坐标旋转数字计算算法 数字信号处理 数字电路

在线阅读 下载PDF 职称材料

压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望 被引量：5

18

作者 于晓权 何杰 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期223-229,233,共8页

兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射... 兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。 展开更多

关键词 兰姆波谐振器(LWR) 压电微机电系统(MEMS) 横向激励声体波谐振器(XBAR) 高次谐波组合模式谐振器(CORs) 截面拉梅模式谐振器(CLMRs)

在线阅读 下载PDF 职称材料

用于高速ADC的低抖动时钟稳定电路 被引量：2

19

作者 张红 周述涛 +1 位作者 张奉江 张正璠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1143-1147,共5页

介绍了一种用于高速ADC的低抖动时钟稳定电路。这个电路由延迟锁相环(DLL)来实现。这个DLL有两个功能:一是通过把一个时钟沿固定精确延迟半个周期,再与另一个沿组成一个新的时钟来调节时钟占空比到50%左右;二是调节时钟抖动。该电路采用... 介绍了一种用于高速ADC的低抖动时钟稳定电路。这个电路由延迟锁相环(DLL)来实现。这个DLL有两个功能:一是通过把一个时钟沿固定精确延迟半个周期,再与另一个沿组成一个新的时钟来调节时钟占空比到50%左右;二是调节时钟抖动。该电路采用0.35μm CMOS工艺,在Cadence Spectre环境下进行仿真验证,对一个8 bit、250 Msps采样率的ADC,常温下得到的时钟抖动小于0.25 ps rms(典型的均方根)。 展开更多

关键词 高速A/D转换器 延迟锁相环 占空比稳定 时钟抖动

在线阅读 下载PDF 职称材料

8 bit 800 Msps高速采样保持电路的设计 被引量：2

20

作者 潘星 王永禄 张正平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1044-1047,共4页

为适应目前无线通信领域对高速A/D转换器的要求,采用在Cadence Spectre环境下进行仿真验证的方法,对高速A/D前端采样保持电路进行了研究。提出的高速采样保持电路(SH)采用SiGe BiCMOS工艺设计,该工艺提供了0.35μm的CMOS和46 GHzfT的SiG... 为适应目前无线通信领域对高速A/D转换器的要求,采用在Cadence Spectre环境下进行仿真验证的方法,对高速A/D前端采样保持电路进行了研究。提出的高速采样保持电路(SH)采用SiGe BiCMOS工艺设计,该工艺提供了0.35μm的CMOS和46 GHzfT的SiGe HBT。基于BiCMOS开关射极跟随器(SEF)的SH,旨在比二极管桥SH消耗更少的电流和面积。在SH核心,电源电压3.3 V,功耗44 mW。在相干采样模式下,时钟频率为800 MHz时,其无杂波动态范围(SFDR)为-52.8 dB,总谐波失真(THD)为-50.4 dB,满足8 bit精度要求。结果显示设计的电路可以用于中精度、高速A/D转换器。 展开更多

关键词 采样保持电路 高速 开关射极跟随器 双极互补金属氧化物半导体

在线阅读 下载PDF 职称材料