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题名低功耗合金薄膜型氢气传感器热设计与研究
被引量：2
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作者
张龙赐
颜志红
曹勇全
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第1期23-25,37,共4页
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文摘
基于氢敏材料检测氢气浓度的工作原理,针对合金薄膜型氢气传感器加热电阻小、达到最佳工作温度时间长等特点,设计了一种低功耗合金薄膜氢气传感器。利用有限元分析软件ANSYS Workbench对该结构进行了热分析,结果表明,该种结构在加热功耗为0.2 W,总功耗为0.8 W时,能够短时间内将该氢气传感器加热到最佳工作温度。根据MEMS技术制备了合金薄膜型氢气传感器,实验结果与理论分析具有很好的一致性。该研究为薄膜型氢气传感器的低功耗设计与微小型封装提供了重要依据。
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关键词
氢气传感器
热分析
温度标定
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Keywords
hydrogen sensor
thermal analysis
temperature calibration
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名近红外通讯波段的石墨烯/锗肖特基结光电探测器
被引量：2
- 2
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作者
蓝镇立
宋轶佶
杨晓生
曾庆平
何峰
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所薄膜传感技术湖南省国防重点实验室
高性能智能传感器及检测系统湖南省重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期240-248,共9页
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基金
湖南省重点领域研发计划(No.2019GK2101)。
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文摘
制作了一种近红外通讯波段的石墨烯/锗肖特基结光电探测器。采用化学气相沉积法制备高质量石墨烯,通过湿法转移法转移到n型锗表面,获得高性能石墨烯/锗的肖特基结器件。仿真与实验结果表明,石墨烯透明电极与锗衬底形成良好的肖特基接触,大大提升了器件的光生载流子收集效率。该器件在无光照条件下,整流比为5.3×10^(2),在光强为0.3 mW/cm^(2)的1550 nm近红外光的照射下,开关比为102,响应度和探测率分别可达635.7 mA/W、9.8×10^(10)Jones。同时,器件具备较快的响应速度,在3 dB带宽处上升和下降时间分别为40μs和35μs。研究结果展示了高性能石墨烯/锗光电探测器在近红外光电系统中具有潜在的应用前景。
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关键词
光电探测器
石墨烯
能带分析
锗
肖特基结
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Keywords
Photodetector
Graphene
Energy band analysis
Germanium
Schottky junction
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分类号
TN215
[电子电信—物理电子学]
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