电容式压力传感器的设计和仿真分析

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作者 曹海燕 王慧慧 +2 位作者 赵鹤然 孙晓东 张颖 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期88-91,共4页

对微器件中应用较广泛的一种电容式MEMS压力传感器的结构进行了优化设计,提出了一种新型的电容式压力传感器设计方案,使MEMS结构与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容。通过Ansys软件建立模型并进行仿真分析,结果表明:传感器的性能与... 对微器件中应用较广泛的一种电容式MEMS压力传感器的结构进行了优化设计,提出了一种新型的电容式压力传感器设计方案,使MEMS结构与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容。通过Ansys软件建立模型并进行仿真分析,结果表明:传感器的性能与敏感膜的形状和尺寸有关系。在所研究的结构参数范围内,1200μm方形膜结构的压力传感器的灵敏度可达到218.89 pF/MPa,而且高压范围内的灵敏度和线性度较低压范围的好。该结构的传感器工艺流程简易,仿真研究结果为电容式压力传感器的设计和应用提供了基础依据。 展开更多

关键词 电容式压力传感器 互补金属氧化物半导体工艺 ANSYS软件 敏感膜

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用于植物健康监测的柔性传感器研究进展 被引量：7

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作者 李俐莹 严义君 +4 位作者 赵鹤然 郭丹 李宏军 王立地 王伟 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第10期870-878,941,I0005,共11页

植物柔性传感器具有轻量化、透气、植物表面共形性高等特点,可以实现无损、实时、原位监测,提供精准的植物生理与环境信息,实现植物语言识别,开创“植物半导体新赛道”。介绍了柔性电子技术在植物健康监测方面的最新进展,概述了植物柔... 植物柔性传感器具有轻量化、透气、植物表面共形性高等特点,可以实现无损、实时、原位监测,提供精准的植物生理与环境信息,实现植物语言识别,开创“植物半导体新赛道”。介绍了柔性电子技术在植物健康监测方面的最新进展,概述了植物柔性传感器用于植物激素、信号分子、植物电信号、挥发性有机物等的监测,可有效反映出植物健康状态;通过监测地表和空气中植物代谢产物反映环境胁迫条件,分析了新型植物可穿戴设备的传感技术,制备材料、结构以及监测方法。最后,对植物柔性传感器在现代农业中的应用进行总结,并讨论了未来植物可穿戴设备面临的机遇和挑战。 展开更多

关键词 植物柔性传感器 植物健康 柔性电子技术 传感器 智慧农业

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硅双极器件及电路电离总剂量辐照损伤研究 被引量：4

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作者 王鹏 崔占东 +1 位作者 邹学锋 杨筱莉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期58-63,共6页

针对硅双极器件及其构成的双极集成电路有着如低剂量率辐照损伤增强效应等不同于其他类型电路的特殊的辐照响应问题,分析了空间辐射电离总剂量环境及铝屏蔽作用,双极晶体管及电路总剂量辐照损伤机理,低剂量率辐照损伤增强效应、规律和... 针对硅双极器件及其构成的双极集成电路有着如低剂量率辐照损伤增强效应等不同于其他类型电路的特殊的辐照响应问题,分析了空间辐射电离总剂量环境及铝屏蔽作用,双极晶体管及电路总剂量辐照损伤机理,低剂量率辐照损伤增强效应、规律和电参数变化。通过选取几种典型的双极晶体管和电路进行地面辐照模拟试验和测试,证明了双极器件及电路的关键参数受辐照影响较大,特别是对低剂量率辐照损伤增强效应敏感,低剂量率辐照损伤增强因子基本都大于1.5,不同双极器件和电路的低剂量率辐照损伤增强效应有着明显的不同,与器件类型、加工工艺(如氧化层厚度)等密切相关。 展开更多

关键词 双极器件 总剂量辐照 低剂量率 低剂量率辐照损伤增强效应 增强因子

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多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 被引量：4

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作者 王健 揣荣岩 +2 位作者 何晓宇 刘伟 张大为 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第9期6-8,共3页

多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元... 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器芯片。实验表明该传感器工艺简单、高温特性好、灵敏度高。 展开更多

关键词 压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜

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基于负载平衡的井下无线躯体传感网络 被引量：1

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作者 马勇 刘国权 +2 位作者 颜语 郑亚茹 王焱 《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2009年第2期257-260,共4页

为了在井下异常状况下,地面关闭动力电源后,实现与井下及时联系,将无线躯体传感网络技术应用于井下人员的搜救系统中,可在煤矿井下发生安全事故后,仍能及时准确地获知井下作业人员的位置信息和健康信息,进而提升井下搜救水平。在无线传... 为了在井下异常状况下,地面关闭动力电源后,实现与井下及时联系,将无线躯体传感网络技术应用于井下人员的搜救系统中,可在煤矿井下发生安全事故后,仍能及时准确地获知井下作业人员的位置信息和健康信息,进而提升井下搜救水平。在无线传输模式下,考虑井下会出现由移动节点组成的移动子网,保持子网的网络畅通是一个关键问题,同时无线躯体传感节点采用电池供电,在井下发生异常时电池剩余电量是未知的,因此在信息传输时保持负载均衡是十分必要的。针对这些问题的有效的解决方法并进行了仿真验证。 展开更多

关键词 煤矿安全 井下搜救系统 无线躯体传感网络 路由协议

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智能声发射系列仪器 被引量：1

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作者 关新 吴阳 杨霞 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2003年第3期231-233,共3页

实现了对声发射信号的检测和处理、源定位和幅度分布分析,它是国际现代化动态无损探伤新技术.详细介绍了实现过程.对硬件和软件进行了描述,具有非常高的测量精度,可广泛应用于压力容器、金属结构、土壤、岩石及国防、军工等方面.

关键词 声发射信号 源定位 幅度分布

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基于SOPC的LVDS数据接收系统设计 被引量：1

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作者 张可 焦国太 彭晴晴 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2012年第9期143-145,共3页

针对信号的高速和远距离高效传输,提出了一种基于NiosII软核处理器的LVDS接收系统设计方法。该设计方法根据NiosII软核处理器系统的设计及LVDS信号的处理过程,将LVDS技术和NiosII系统两者结合起来,实现了对LVDS数据的高速解串、存储和... 针对信号的高速和远距离高效传输,提出了一种基于NiosII软核处理器的LVDS接收系统设计方法。该设计方法根据NiosII软核处理器系统的设计及LVDS信号的处理过程,将LVDS技术和NiosII系统两者结合起来,实现了对LVDS数据的高速解串、存储和上传。设计结构简单,易于重构,系统处理速度快,可靠性高,具有较好的推广价值。 展开更多

关键词 NIOSII LVDS 高速通信

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半导体光刻技术及设备的发展趋势 被引量：8

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作者 姚达 刘欣 岳世忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期193-196,共4页

随着芯片集成度的不断提高、器件尺寸的不断缩小,光刻技术和光刻设备发生着显著变化。通过对目前国内外光刻设备生产厂商对下一代光刻技术的开发及目前已经应用到先进生产线上的光刻技术及设备进行了对比研究,对光刻技术和光刻设备的发... 随着芯片集成度的不断提高、器件尺寸的不断缩小,光刻技术和光刻设备发生着显著变化。通过对目前国内外光刻设备生产厂商对下一代光刻技术的开发及目前已经应用到先进生产线上的光刻技术及设备进行了对比研究,对光刻技术和光刻设备的发展趋势进行了介绍,并对我国今后半导体光刻技术及设备的发展提出了合理化建议。 展开更多

关键词 光刻 光刻机 分辨率 掩模 焦深 曝光

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4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列的设计与制备 被引量：4

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作者 李浩 宋玲玲 +5 位作者 张立钧 王焕然 李亮 王菲 衣云骥 张大明 《中国光学》 EI CAS 2014年第3期435-441,共7页

设计并制备了一种高集成度、低成本、低损耗4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列。利用BPM软件对交叉结构光波导延迟线的Y分支的损耗、弯曲损耗进行数值模拟。综合考虑器件尺寸和损耗参数,设计交叉型延迟线结构的弯曲半径最小为1 500... 设计并制备了一种高集成度、低成本、低损耗4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列。利用BPM软件对交叉结构光波导延迟线的Y分支的损耗、弯曲损耗进行数值模拟。综合考虑器件尺寸和损耗参数,设计交叉型延迟线结构的弯曲半径最小为1 500μm,引入优化的锥口Y分支结构和垂直相交波导结构。采用标准半导体制作工艺制备器件,测试得到了器件的红外输出光斑,延迟线延迟时间分别为0、113、226和339 ps。4通道二氧化硅延迟线阵列能实现相邻通道相等的延迟时间间隔,且可通过集成实现延迟时间的增加,同时输出端可以与光纤阵列集成。 展开更多

关键词 光波导延迟线 二氧化硅 Y分束器

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虚拟POS系统

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作者 申德荣 王萍 《黄金学报》 2001年第3期210-212,共3页

提出了适合我国商业特点的虚拟POS系统的组成,系统具有的前、后台功能,系统具有的特点及应用前景.

关键词 POS 进销存 虚拟POS系统 会员卡 商业自动化

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深度有序度量学习改进的课堂参与度识别 被引量：2

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作者 董瑶 徐敏 +3 位作者 周丽娟 陈文龙 周修庄 张晓宇 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2023年第4期798-804,共7页

在线课堂已成为当前最重要的教学场景之一.针对当前基于视觉特征学习和距离度量学习的参与度识别模型仍然缺乏足够的判别力和稳定性等问题,本文将有序深度度量学习方法引入课堂参与度识别任务,联合建模视觉特征学习和判别度量学习.首先... 在线课堂已成为当前最重要的教学场景之一.针对当前基于视觉特征学习和距离度量学习的参与度识别模型仍然缺乏足够的判别力和稳定性等问题,本文将有序深度度量学习方法引入课堂参与度识别任务,联合建模视觉特征学习和判别度量学习.首先,提出一个有序度量损失函数建模参与度样本的有序标签结构,使得在学习获得的有序度量空间中,视觉特征与其参与度标签保持有序一致性,提高识别模型的判别力.其次,提出一种四元组困难样本构造策略,对困难正样本的视觉特征相似度进行最小化,同时最大化困难负样本的视觉特征相似度,充分挖掘困难样本,提高模型训练的效率和稳定性.最后在课堂参与度基准数据集DAiSEE上进行测试,验证了算法的有效性. 展开更多

关键词 深度学习 课堂参与度识别 视觉特征 有序度量学习 困难样本

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PLC在小U弯管机自动控制系统中的应用 被引量：1

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作者 吴阳 高君 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2003年第6期486-488,共3页

详细介绍了小U弯管机生产工艺过程,针对小U弯管机中存在的控制问题,提出了以可编程控制器为控制核心,对生产各环节进行了自动控制,使小U弯管机生产过程实现了自动化.

关键词 小U弯管机 可编程序控制器 自动控制 PLC 自动控制系统

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基于微流控芯片的悬臂梁传感器性能优化 被引量：1

13

作者 张英杰 郝思萍 +1 位作者 揣荣岩 张贺 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第10期13-16,72,共5页

以微悬臂梁传感器为核心,设计集混合、富集和检测等功能于一体微流控芯片,可有效弥补微梁传感器在集成化、便携式检测应用方面的不足。然而,片上微尺度条件下的液相环境将影响检测结果的准确性。建立流固耦合模型,研究了流体速度、芯片... 以微悬臂梁传感器为核心,设计集混合、富集和检测等功能于一体微流控芯片,可有效弥补微梁传感器在集成化、便携式检测应用方面的不足。然而,片上微尺度条件下的液相环境将影响检测结果的准确性。建立流固耦合模型,研究了流体速度、芯片结构对微梁传感器的影响,确定了微流控芯片的结构参数。结果表明,进样速度小于0.375 mL/min、80μm圆形微沟道、梯形检测池及传感器0°固定能有效降低流体流动特性的影响,并提升检测结果准确性。 展开更多

关键词 微悬臂梁 微流体流动 微流控芯片 弯曲位移 检测池 微沟道

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集成电路工艺问题的SEM诊断

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作者 王嵩宇 单成国 孙伯森 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期389-389,共1页

关键词 扫描电镜(SEM) 工艺问题 集成电路 诊断 加固工艺 抗辐射

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《微处理机》征稿启事

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作者 无 《微处理机》编辑部 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第6期538-538,共1页

《微处理机》由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第四十七研究所主办,1979年创刊,是一本集学术性、技术性、实用性和情报性于一体的全国性技术刊物。本刊主要面向集成电路、计算机应用、网络通信等科研生产单位的中高级... 《微处理机》由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第四十七研究所主办,1979年创刊,是一本集学术性、技术性、实用性和情报性于一体的全国性技术刊物。本刊主要面向集成电路、计算机应用、网络通信等科研生产单位的中高级科研人员、大专院校有关专业师生以及从事相关领域应用的软、硬件技术人员。 展开更多

关键词 计算机应用 科研人员 微处理机 技术刊物 网络通信 技术人员 集成电路 中国电子科技集团公司

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虚拟化环境下高效资源映射与复用机制

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作者 易波 张婷婷 +3 位作者 王兴伟 屈志豪 陈佳豪 张晓宇 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2023年第5期1043-1051,共9页

随着网络技术(如5G/6G,边缘计算)的不断更新换代,网络功能虚拟化(network functions virtualization, NFV)和软件定义网络(Software Defined Network, SDN)成为下一代网络体系结构的主要使能技术,而高效安全资源分配问题始终是新型体系... 随着网络技术(如5G/6G,边缘计算)的不断更新换代,网络功能虚拟化(network functions virtualization, NFV)和软件定义网络(Software Defined Network, SDN)成为下一代网络体系结构的主要使能技术,而高效安全资源分配问题始终是新型体系结构所面临的巨大挑战.文中融合NFV和SDN的优势,在用户请求和物理资源之间引入虚拟资源层,从而一定程度上实现物理资源安全.另外,提出了基于SDN-NFV的通用化资源映射和复用机制.主要框架结构包含3个模块:资源初始化模块、资源监控模块、资源动态分配与调整模块.其中,资源动态分配与调整模块是本文核心模块,主要通过建立资源映射模型、资源复用模型和资源调整模型来优化全网资源利用率.仿真结果表明,该机制通过在物理资源和虚拟资源之间建立动态映射关系,实现资源的高效复用,进而提高资源的利用率. 展开更多

关键词 NFV SDN 资源映射 资源复用

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