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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
1
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 声表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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频率上转换技术研究进展及应用
2
作者 陈亮 傅婧 +4 位作者 舒海洋 徐学良 肖入彬 冯治华 付晓君 《激光与红外》 北大核心 2025年第9期1336-1344,共9页
硅基探测器/CMOS传感器在可见光和近红外波段已实现了高效率、高灵敏度、高分辨率探测、成像;但是,对于波长扩展至更长波段信号探测远逊于前者。频率上转换技术可将低能量的红外光转换至可见光波段,再利用技术成熟、高灵敏的可见光硅基... 硅基探测器/CMOS传感器在可见光和近红外波段已实现了高效率、高灵敏度、高分辨率探测、成像;但是,对于波长扩展至更长波段信号探测远逊于前者。频率上转换技术可将低能量的红外光转换至可见光波段,再利用技术成熟、高灵敏的可见光硅基探测器/CMOS传感器进行间接探测。这种对红外波段光子进行间接探测的方案突破了探测器的波长响应性,具有灵敏度高、响应快和信噪比高等优点。本文首先对频率上转换的原理、系统组成进行简述,随后总结了近年来频率上转换技术在探测、成像等领域的应用。 展开更多
关键词 频率上转换 相位匹配 转换效率 非线性晶体
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基于压电复合单晶薄膜衬底的B25 SAW双工器性能研究
3
作者 陆川 褚梦群 +3 位作者 杜雪松 蒋小龙 潘祺 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期688-692,共5页
针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分... 针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分别进行了拓扑结构设计;最后通过实测对比了两种不同切型POI衬底的B25双工器电性能参数。结果显示,在其他指标相当的情况下,相较于50°LT-POI,采用42°LT-POI衬底的B25双工器具有更优的远端抑制性能。 展开更多
关键词 POI衬底 B25 SAW双工器
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ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究
4
作者 田本朗 梁柳洪 +3 位作者 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期59-62,共4页
采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8&#... 采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°~85.0°图形侧壁倾角,表明图形侧壁角度可在大范围内得到控制,刻蚀速率可在148~232 nm/min调节,为薄膜体声波谐振器(FBAR)器件研制工艺打下良好基础。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率
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压电晶圆厚度对声表面波器件性能的影响及改进方法研究
5
作者 何成勇 褚梦群 +6 位作者 谭发曾 胡明浪 谭瑞 陈文远 张幸 罗鸿飞 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期234-237,共4页
钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 m... 钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 mm厚的LT,采用0.25 mm厚LT的SAW滤波器性能有所降低。针对该问题,首先建立了含封装粘片胶的电磁仿真模型,分别仿真了两种厚度(0.35 mm、0.25 mm)的压电基底在不同粘片胶厚度条件下的电磁特性;然后结合电磁、声学联合仿真优化了粘片胶的厚度,进而提升了SAW滤波器的仿真性能。实验结果表明,通过优化粘片胶厚度,可使0.25 mm厚LT滤波器的性能优于0.35 mm厚LT滤波器,满足器件指标要求,该方案可推广至其他压电晶圆的SAW器件。 展开更多
关键词 封装粘片胶 声表面波滤波器 电磁仿真 钽酸锂
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声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
6
作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 声表面波(SAW)滤波器 分层级联 全波仿真
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一种全集成架构的光纤陀螺信号处理电路
7
作者 李搏 于晓之 +3 位作者 欧姮 陈思宇 李健壮 黄晓宗 《中国惯性技术学报》 北大核心 2025年第6期596-600,共5页
随着光纤陀螺不断小型化,对信号处理电路的尺寸、功耗、精度、成本等综合性能要求越来越高,传统分立器件方案难以满足集成化光纤陀螺的需求。提出了一种光纤陀螺信号处理全集成架构,具备前级调理及采集、可编程数字信号处理及存储、数... 随着光纤陀螺不断小型化,对信号处理电路的尺寸、功耗、精度、成本等综合性能要求越来越高,传统分立器件方案难以满足集成化光纤陀螺的需求。提出了一种光纤陀螺信号处理全集成架构,具备前级调理及采集、可编程数字信号处理及存储、数模转换及驱动、通讯等功能,支持信号斩波和第二回路控制功能。采用2.5D堆叠及系统级封装(SiP)技术实现高密度集成,尺寸仅为14.0mm×14.0mm,相较于同等性能分立器件方案,所提方案的印制电路板(PCB)整体尺寸缩小约20%,在30mm×30mm×30mm光纤陀螺中三温零偏稳定性≤0.18(°)/h(10s),具有集成度高、尺寸小、成本低等优点,为光纤陀螺小型化提供了有效技术方案。 展开更多
关键词 集成化光纤陀螺 全集成架构 2.5D堆叠 零偏稳定性
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高性能声学滤波器技术研究进展 被引量：9
8
作者 李晖 米佳 +2 位作者 胡少勤 李左翰 邱海莲 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期617-622,共6页
声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器... 声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器。该文对高性能声表面波(SAW)和声体波(BAW)滤波器技术(包括UltraSAW、LowDrift TM和NoDrift TM、I.H.P SAW、XBAR TM、XBAW滤波器等)的研究情况进行了介绍与评述。最后对未来声学滤波器将面临的技术问题做了简要总结。 展开更多
关键词 声学 声波 声表面波(SAW) 体声波(BAW) 滤波器 射频前端模块(RFFEM) 第五代移动通信技术(5G)
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硅各向异性浅槽腐蚀实验研究 被引量：4
9
作者 杨增涛 冷俊林 +4 位作者 梅勇 黄磊 杨正兵 李燕 刘晓莉 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第4期513-516,519,共5页
通过实验分析,对比了异丙醇(IPA)和超声波对Si(100)面在KOH溶液和四甲基氢氧化氨(TMAH)溶液中的浅槽腐蚀速率及其表面形态的影响。实验结果表明,IPA能降低TMAH溶液的腐蚀速率,但IPA在KOH溶液中腐蚀速率降低不明显;IPA加入到较高浓度的KO... 通过实验分析,对比了异丙醇(IPA)和超声波对Si(100)面在KOH溶液和四甲基氢氧化氨(TMAH)溶液中的浅槽腐蚀速率及其表面形态的影响。实验结果表明,IPA能降低TMAH溶液的腐蚀速率,但IPA在KOH溶液中腐蚀速率降低不明显;IPA加入到较高浓度的KOH溶液中,会在Si表面产生较大小丘,恶化了Si腐蚀表面的质量,但在TMAH溶液中加入一定量的IPA会改善腐蚀表面的质量;超声波能加快腐蚀速率并能改善Si腐蚀表面质量,但对于加入IPA的较高浓度KOH溶液,超声波未能消除Si腐蚀表面的小丘,另外,超声波还能减弱腐蚀过程中微尺寸沟槽的尺寸效应;在腐蚀条件和配比一定情况下,TMAH溶液的腐蚀质量比KOH溶液好。 展开更多
关键词 各向异性腐蚀 Si浅槽 KOH 四甲基氢氧化氨(TMAH)
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运算放大器SET效应的试验研究 被引量：1
10
作者 封国强 胡永贵 +4 位作者 王健安 黄建国 马英起 韩建伟 张振龙 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期170-175,共6页
模拟器件的单粒子瞬态脉冲效应的研究,成为近来国际上单粒子效应研究的热点.针对中国生产的运算放大器SF3503,利用脉冲激光单粒子效应测试装置,试验研究了SF3503工作于反相放大器与电压比较器模式SET效应的特征与规律.获取了器件的敏感... 模拟器件的单粒子瞬态脉冲效应的研究,成为近来国际上单粒子效应研究的热点.针对中国生产的运算放大器SF3503,利用脉冲激光单粒子效应测试装置,试验研究了SF3503工作于反相放大器与电压比较器模式SET效应的特征与规律.获取了器件的敏感节点分布、LET阈值和SET脉冲波形的特征参数,其中器件的敏感节点均分布在输入级与放大级,LET阈值不大于1.2 MeV·cm~·mg^(-1),电压比较器产生的最大SET脉冲的幅度达27V、脉冲宽度为51μs.试验表明SF3503对SET效应极其敏感,在不采取任何措施的情况下,在空间任务中直接使用,会严重影响系统的可靠性. 展开更多
关键词 运算放大器 单粒子瞬态脉冲 脉冲激光 敏感节点
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基于GaN的高频高功率密度混合集成电源设计 被引量：1
11
作者 朱伟龙 王鹏 +1 位作者 郑辰雅 孙鹏飞 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第3期102-109,共8页
混合集成DC-DC变换器因其工作温度范围宽和长期可靠性高在苛刻环境及高可靠需求应用场景中得到广泛应用。基于GaNHEMT器件优异的高频低损耗特性,结合有源箝位软开关拓扑、混合集成微组装技术和高载流低热阻气密封装技术,设计了一款28V... 混合集成DC-DC变换器因其工作温度范围宽和长期可靠性高在苛刻环境及高可靠需求应用场景中得到广泛应用。基于GaNHEMT器件优异的高频低损耗特性,结合有源箝位软开关拓扑、混合集成微组装技术和高载流低热阻气密封装技术,设计了一款28V输入、5V/20A输出的混合集成DC-DC变换器。该变换器开关频率800kHz,峰值效率达92%。详细阐述了有源箝位功率电路设计、GaNHEMT驱动电路寄生参数与震荡电压控制、同步整流时序与死区时间优化、厚膜混合集成工艺及散热的设计方法和技术细节,并通过仿真与样机实验,验证和展示了GaNHEMT和混合集成电路在高功率密度和高效率方面的优势。 展开更多
关键词 混合集成电路 有源箝位正激 氮化镓 同步整流 高可靠
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SiGe HBT直流特性模型研究
12
作者 戴显英 张鹤鸣 +3 位作者 胡辉勇 吕懿 王伟 李开成 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期165-169,共5页
在求解漂移扩散方程的基础上,建立了全面系统的SiGeHBT直流特性模型及物理意义清晰的各电流解析表达式.所建立的SiGeHBT直流特性的各电流模型均适应大注入及小注入情况.模拟分析了基区掺杂浓度及Ge组分对电流密度的影响,模拟结果表明,... 在求解漂移扩散方程的基础上,建立了全面系统的SiGeHBT直流特性模型及物理意义清晰的各电流解析表达式.所建立的SiGeHBT直流特性的各电流模型均适应大注入及小注入情况.模拟分析了基区掺杂浓度及Ge组分对电流密度的影响,模拟结果表明,基区掺杂浓度的增加减小了集电极电流、增大了中性基区复合电流,从而降低了电流增益;而Ge组分越高,集电极电流密度就越大,从而提高了SiGeHBT的电流增益.模拟了基区发射结侧Ge组分及发射区掺杂浓度对基区空穴反注入电流密度的影响,结果表明,提高Ge组分能明显减小空穴反注入电流,获得更高的电流增益. 展开更多
关键词 SIGE HBT 直流特性模型 漂移扩散方程 电流密度模型
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电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅰ)(待续)
13
作者 罗驰 秦岭 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2012年第10期20-22,共3页
综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜... 综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。 展开更多
关键词 电镀 化学镀 电化学腐蚀 微电子
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电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅱ)(续完)
14
作者 罗驰 秦岭 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2012年第11期24-27,共4页
综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜... 综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。 展开更多
关键词 电镀 化学镀 电化学腐蚀 微电子
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Cu/15°YX-LiNbO_(3)SAW谐振器的横向模抑制研究 被引量：4
15
作者 肖强 董加和 +5 位作者 白涛 陈彦光 陈尚权 李桦林 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期202-204,共3页
Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-Li... Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO_(3) SAW谐振器的横向模式,利用有限元仿真优化了指条末端尺寸。仿真结果表明,慢速区域尺寸占空比为0.692,长度约为0.65λ(λ为波长)时,主模附近的横向模得到完全抑制,并通过实验验证了其有效性。这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO_(3)宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导。 展开更多
关键词 声表面波(SAW)谐振器 宽带声表面波(SAW)滤波器 横向模式 Piston技术
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SiGe HBT高频噪声特性研究 被引量：2
16
作者 高攀 张万荣 +9 位作者 谢红云 邱建军 沙永萍 金冬月 张静 张正元 刘道广 王健安 徐学良 陈光炳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期394-396,405,共4页
对SiGe HBT的高频噪声进行了模拟。频率f、载流子正向延迟时间τF、集电极电流等因素都对高频噪声有影响。当频率高于高频转角频率时,最小噪声系数NFmin随着频率的增大而线性增大,而不是与f2成正比关系,且NFmin随着集电极电流的增大先... 对SiGe HBT的高频噪声进行了模拟。频率f、载流子正向延迟时间τF、集电极电流等因素都对高频噪声有影响。当频率高于高频转角频率时,最小噪声系数NFmin随着频率的增大而线性增大,而不是与f2成正比关系,且NFmin随着集电极电流的增大先减小后增大。结果表明,噪声最小时的最佳偏置电流所对应的特征频率fT并不是最大特征频率,约为最大特征频率的50%。 展开更多
关键词 硅锗 异质结双极型晶体管 高频噪声
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面向三维球体空间温度场的对射式超声波测量研究 被引量：3
17
作者 梅勇 刘畅 +2 位作者 袁宇鹏 张祖伟 张语哲 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第3期441-447,共7页
温度测量在航空航天、公共安全、智能制造及智能家居等方面具有重要意义。基于超声波原理的测温技术是近年来发展起来的一种新型温度测量方式,超声波测温技术具有非接触式,温度测量范围广,响应速度快和测量准确度高等特点,在航空发动机... 温度测量在航空航天、公共安全、智能制造及智能家居等方面具有重要意义。基于超声波原理的测温技术是近年来发展起来的一种新型温度测量方式,超声波测温技术具有非接触式,温度测量范围广,响应速度快和测量准确度高等特点,在航空发动机、微波干燥等领域表现出了良好性能。该文面向三维球体空间温度场测量的需求背景,基于超声波飞行速度与介质温度相关原理,采用收发同体式超声波换能器,设计了针对二维圆形平面的8换能器结构和针对三维球体空间的26换能器结构,提出了分时轮训超声波换能器接收控制策略,建立了基于径向基函数的空间温度重构算法,并基于Matlab平台对测温方法进行仿真。仿真结果表明,对于构建的对角偏斜和中心对称二维圆形平面温度场模型,以及中心对称三维球体温度场模型均具有良好的重建效果,同时在超声飞行时间的测量中还叠加了标准差分别为0.02%、0.03%和0.05%的三类高斯白噪声,进一步验证了该文提出的对射式超声波温度场测量方法具有较好的鲁棒性。 展开更多
关键词 超声换能器 温度测量 三维 球体 高斯白噪声
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单片DC/DC转换器批量测试技术研究 被引量：3
18
作者 保兴润 刘一杉 《电子测量技术》 2020年第20期47-52,共6页
单片DC/DC转换器作为最近几年的国内新型电源发展的方向,由于其外围器件少,效率高等优于LDO的特点被大量使用。与传统的DC/DC电源模块在自动化测试方面已经标准化相比,单片DC/DC转换器由于功能模块和参数复杂性及参考资料少等原因,在参... 单片DC/DC转换器作为最近几年的国内新型电源发展的方向,由于其外围器件少,效率高等优于LDO的特点被大量使用。与传统的DC/DC电源模块在自动化测试方面已经标准化相比,单片DC/DC转换器由于功能模块和参数复杂性及参考资料少等原因,在参数评估效率和参数自动化测试全面性方面存在一些困难。针对这些情况,提出了开环和闭环参数融合的自动化测试系统框架和方案,经验证能够解决单片DC/DC控制器在电参数评估效率和自动化测试全面性方面的困难,系统最终实现了4MHz以上工作频率和3A以上负载自动化参数测试,同时也为基于仪器或者大型机台自动化测试系统设计提供一定有价值的思路和参考。 展开更多
关键词 单片DC/DC 自动化测试 系统框架
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基于智能型红外焦平面电路液氮成像系统的研究与算法实现
19
作者 陈相洪 黄文刚 +2 位作者 黄晓宗 陈彦冠 史凡萍 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1203-1212,共10页
提出了一种智能型红外焦平面电路液氮成像系统,系统采用UART转SPI数据传输,上位机VB软件开发SPI配置界面,可提高SPI寄存器批量配置效率和准确率,减少外界干扰产生误码和乱码情况,并结合FPGA、自研的IRCamExpert-CETC图像处理软件和图像... 提出了一种智能型红外焦平面电路液氮成像系统,系统采用UART转SPI数据传输,上位机VB软件开发SPI配置界面,可提高SPI寄存器批量配置效率和准确率,减少外界干扰产生误码和乱码情况,并结合FPGA、自研的IRCamExpert-CETC图像处理软件和图像采集卡搭建软硬件成像系统,本系统具有红外视频图像在线监测和多芯测试能力。本文进一步提出了基于单片像元级ADC的背景减除、盲元补偿、非均匀性校正、开窗、像素合并、空间滤波、图像均衡变换、时间延迟积分多种图像算法和总体算法结构,并通过对一款640×512阵列的智能型红外焦平面电路进行测试,验证了单片红外焦平面多功能图像算法,并实现了系统对智能型红外焦平面全参数的性能评估。采用像元级进行图像处理的方式,降低了采用算法级进行后续图像处理的难度,减少了图像处理算法消耗的资源。多功能图像算法为智能型红外焦平面的工程化应用提供了新技术途径。 展开更多
关键词 智能型红外焦平面 液氮成像系统 多功能图像算法 全参数性能评估
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Al/TiN_xO_yC_z/TiSi_2/Si金属化系统的研究
20
作者 黄开军 范才有 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期26-28,25,共4页
为了满足集成电路向高密度、高速度和高可靠性发展的需要,特别是浅结和微小区域的欧姆接触的需要,使用多层金属化系统。多层金属化要求低的接触电阻,高可靠性。TiN/TiSi_2是一种很理想的欧姆接触系统。本文对在Si衬底上蒸发Ti膜用注入... 为了满足集成电路向高密度、高速度和高可靠性发展的需要,特别是浅结和微小区域的欧姆接触的需要,使用多层金属化系统。多层金属化要求低的接触电阻,高可靠性。TiN/TiSi_2是一种很理想的欧姆接触系统。本文对在Si衬底上蒸发Ti膜用注入剂量比较低的N^+注入,经一步热处理同时形成TiN/TiSi_2,再蒸发导电层Al所形成Al/TiN_xO_yC_z/TiSi_2/Si金属化系统的性能做了研究,并且进行了失效分析。认为这种系统实现了低的接触电阻、高可靠性(600℃,1小时性能良好)和简单的制造工艺。 展开更多
关键词 金属材料 集成电路 硅 钛 铝
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