题名 基于压阻效应的陶瓷压力传感器
被引量：8
1
作者
邬林 陈丛 钱江蓉 赵潇 胡国俊
机构
中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第6期26-28,共3页
文摘
设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差要求,性能指标优良。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可被广泛应用在各种压力检测的场合。
关键词
压阻效应 陶瓷 压力传感器 压力检测 柔性调理电路
Keywords
piezoresistive effect ceramic pressure sensor pressure detection flexible processing circuit
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定
被引量：3
2
作者
谷永先 邬林 曾鸿江 胡娜娜 钱江蓉
机构
中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2016年第8期18-20,共3页
文摘
设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异,设计了适用于批量制造的标定方法。测试结果表明:传感器具有平滑的输出特性,经过标定后,具有较高的一致性及重复性,适合于工业等领域。
关键词
微机电系统 数字输出 热隔离 气体质量流量 标定
Keywords
MEMS digital output thermal isolated gas mass flow calibration
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计
被引量：3
3
作者
谷永先 曾鸿江 邬林 胡娜娜 钱江蓉
机构
中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第6期72-74,共3页
文摘
研制了一种热隔离式微机电系统（MEMS）气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对传感器进行了标定。测试结果表明：在0～20 L/min的流量范围内,传感器响应速度快,灵敏度高,输出信号平滑,适合于工业及医疗等领域。
关键词
微机电系统 热隔离 气体质量流量传感器 恒温差
Keywords
MEMS thermal isolated gas mass flow sensor constant temperature difference
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 微量程段的热式气体质量流量传感器研制
被引量：1
4
作者
胡娜娜 刘莹 徐露 钱江蓉 胡国俊
机构
中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第7期117-118,130,共3页
文摘
研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器。传感器芯片通过微机电系统(MEMS)工艺制备,芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器,其中测温电阻器有4只,对称分布在芯片中央位置,构成惠斯通电桥,芯片工作中采用恒压模式驱动。当气体流过芯片表面时,会导致检测电桥不平衡,流量信号变化转换为相应的电压信号。通过实验标定了传感器的输出曲线并对传感器的精度进行了测试,测试结果表明:研制的传感器在流量0~5 m L/min的量程范围内,具有响应速度快、精度高的优点。
关键词
微机电系统 微量程 气体质量流量传感器 高精度
Keywords
micro-electro-mechanical system（MEMS） micro-range gas mass flow sensor high prcision
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定
被引量：6
5
作者
胡梦飞 刘亚伟 杨露露 谷永先 胡国俊 吕品
机构
合肥工业大学工业与装备技术研究 院 中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第2期102-104,共3页
文摘
设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量。
关键词
微机电系统技术 流体传热式 MATLAB软件 标定
Keywords
micro-electro-mechanical system ( MEMS ) technology fluid heat transfer MATLAB software calibration
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 压力传感器波纹膜片设计的力学性能分析
被引量：8
6
作者
刘亚伟 胡梦飞 杨露露 胡国俊 吕品
机构
合肥工业大学工业与装备技术研究 院 中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第8期40-42,共3页
文摘
利用ANSYS有限元软件,对压力传感器波纹膜片的有关结构参数与力学性能的关系进行了分析:对均布载荷和集中载荷作用下,波纹膜片中心位移的有限元解与解析解进行了比较,验证有限元模型和结果的精度;根据ANSYS分析结果,对不同型面结构的波纹膜片,比较波纹形状对膜片力学性能的影响;讨论了正弦型波纹膜片的膜片厚度、波纹高度、波纹数目对其性能的影响,为波纹膜片结构的优化设计提供依据。
关键词
压力传感器 波纹膜片 有限元分析
Keywords
pressure sensor corrugated diaphragm finite element analysis
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
