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100 V SOI厚栅氧LDMOS器件设计与优化
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作者 王永维 黄柯月 +2 位作者 温恒娟 陈浪涛 周锌 《通讯世界》 2024年第7期1-3,共3页
基于高压模拟开关需求,对100 V绝缘体上硅(SOI)厚栅氧横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件开展研究。利用仿真软件,研究了该LDMOS器件的结构参数,包括漂移区长度、漂移区掺杂剂量、多晶硅栅场板长度对LDMOS器件击穿电压的影响。采用沟... 基于高压模拟开关需求,对100 V绝缘体上硅(SOI)厚栅氧横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件开展研究。利用仿真软件,研究了该LDMOS器件的结构参数,包括漂移区长度、漂移区掺杂剂量、多晶硅栅场板长度对LDMOS器件击穿电压的影响。采用沟道离子补偿注入的方法,通过控制沟道区调整沟道区硼离子注入剂量,调节器件的阈值电压,同时通过优化N阱区(N-well)注入窗口长度改善器件的饱和电流。 展开更多
关键词 SOI LDMOS 绝缘体上硅 功率器件 击穿电压 阈值电压
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MEMS封装中真空封口及真空度检测技术 被引量:7
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作者 张丽华 李军 邵崇俭 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期267-270,共4页
通过对MEMS封装技术进行研究攻关 ,突破了针对微机械陀螺仪器件性能发挥所需的真空封口技术及真空度检测技术 ,使器件品质因数提高将近
关键词 MEMS 封装 真空封口 真空度检测 微机械陀螺仪 品质因数
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在AutoCAD中用AutoLISP语言程序快速计算及修改建筑结构施工图中钢筋标识符所表示的钢筋面积
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作者 陈连升 刘志芬 《黑龙江科技信息》 2007年第01X期51-51,共1页
程序使用概览、程序运行过程简介,本程序可直观,迅速、准确的获得和编辑钢筋面积、直径。
关键词 AUTOCAD AUTOLISP程序 钢筋面积结果 钢筋标识类别
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