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SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展
被引量：
7
1
作者
崔梦
胡明
严如岳
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第6期482-484,490,共4页
SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了SiMEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用。文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展,详细讨论了薄膜...
SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了SiMEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用。文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展,详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在SiCMEMS的应用。最后,分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状。
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关键词
SIC
微电子机械系统(MEMS)
保护层
微结构层
应用
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职称材料
题名
SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展
被引量：
7
1
作者
崔梦
胡明
严如岳
机构
天津
大学
电子
信息工程学院
中国电子科技集团公司天津电子材料研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第6期482-484,490,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60371030)
文摘
SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了SiMEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用。文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展,详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在SiCMEMS的应用。最后,分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状。
关键词
SIC
微电子机械系统(MEMS)
保护层
微结构层
应用
Keywords
SiC
MEMS
protective coating
structure lay
application
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展
崔梦
胡明
严如岳
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004
7
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