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基于BaZr_(0.2)Fe_(0.6)Y_(0.2)O_(3)-δ三重导体的NH_(3)传感器的研究 被引量：1
1
作者 张换换 程振乾 +1 位作者 简家文 邹杰 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第5期6-11,共6页
选择性催化还原(SCR)技术是当前最有效的汽车尾气处理手段之一。工作过程中需要高性能的高温气体传感器对NH_(3)的浓度进行实时监测。为了提高NH_(3)传感器的性能,研究了BaZr_(0.2)Fe_(0.6)Y_(0.2)O_(3)-δ在高温电化学NH_(3)传感器中... 选择性催化还原(SCR)技术是当前最有效的汽车尾气处理手段之一。工作过程中需要高性能的高温气体传感器对NH_(3)的浓度进行实时监测。为了提高NH_(3)传感器的性能,研究了BaZr_(0.2)Fe_(0.6)Y_(0.2)O_(3)-δ在高温电化学NH_(3)传感器中的敏感特性。相比于传统的Pt电极,BaZr_(0.2)Fe_(0.6)Y_(0.2)O_(3)-δ具有电子、质子和氧离子三重导电的特性,该特性使得NH_(3)传感器的三相反应界面从电极与电解质的界面处扩展到了整个敏感电极的表面,增加了电化学反应的区域和反应活性位点的数量,有利于提高传感器的灵敏度。此外,该传感器还表现较好的选择性、重复性以及长期稳定性,具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 NH_(3)传感器 质子导体 BaZr_(0.2)Fe_(0.6)Y_(0.2)O_(3)-δ 三重导电 三相界面扩展
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压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究
2
作者 陈丽洁 葛宣佐 +3 位作者 张强 王大成 冯秀娟 徐兴烨 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第9期46-49,共4页
本底噪声是评价水听器性能的关键指标,因此对水听器的本底噪声进行测试与评价方法的研究,对水听器的研究具有重要意义。在水听器本底噪声测试中很难消除环境噪声,因此对于极低噪声水听器的本底噪声测试难度较大。本文基于自研本底噪声... 本底噪声是评价水听器性能的关键指标,因此对水听器的本底噪声进行测试与评价方法的研究,对水听器的研究具有重要意义。在水听器本底噪声测试中很难消除环境噪声,因此对于极低噪声水听器的本底噪声测试难度较大。本文基于自研本底噪声测试设备,采用绝对测试法对所研制的压电MEMS水听器的本底噪声进行测试。通过对比试验,分析电路、环境、测试方法等因素对压电MEMS水听器本底噪声测试结果的影响,为水听器本底噪声的测试与评价提供经验参考。 展开更多
关键词 压电MEMS 水听器 本底噪声 绝对测试法
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传感器常用材料电子束焊接研究现状综述
3
作者 刘佳熙 智文虎 +1 位作者 井云鹏 岳宏 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期6-10,共5页
1Cr18Ni9Ti不锈钢、316L不锈钢、TC4钛合金和2A12铝合金是传感器最常用的材料。电子束焊接由于焊接速度快、可焊材料多、具有保护性等特点,是传感器生产制造过程中常用的焊接方法。本文介绍了传感器常用材料的电子束焊接研究现状,对1Cr1... 1Cr18Ni9Ti不锈钢、316L不锈钢、TC4钛合金和2A12铝合金是传感器最常用的材料。电子束焊接由于焊接速度快、可焊材料多、具有保护性等特点,是传感器生产制造过程中常用的焊接方法。本文介绍了传感器常用材料的电子束焊接研究现状,对1Cr18Ni9Ti不锈钢、316L不锈钢、TC4钛合金和2A12铝合金电子束焊接接头的显微组织、力学性能、焊缝强化方式进行了综述,并对传感器常用材料的电子束焊接前景进行了展望。 展开更多
关键词 传感器 电子束焊接 显微组织 力学性能
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蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
4
作者 姜晓龙 窦雁巍 +3 位作者 程振乾 孙志强 毕佳宇 邵志强 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第8期124-127,共4页
首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。... 首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。搭建了动态压力测试平台,在室温环境下对传感器执行了10Hz~1kHz的动态压力测试和固有频率测试。测试结果表明,在10Hz~1kHz频率范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±0.5%,传感器的固有频率为430kHz。 展开更多
关键词 动态压力传感器 湿法腐蚀 直接键合 自补偿解调方法
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宽禁带氧化物半导体紫外光电探测器研究进展
5
作者 员朝鑫 徐冬 +2 位作者 宋成君 李涛 高晓平 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第10期1-6,16,共7页
紫外光电探测器在环境监测、生物医学成像、先进光通信系统及紫外辐射测量等方面有着广泛的应用,具有重要的研究价值。宽带隙氧化物半导体材料因其对紫外波段光本征敏感的独特探测优势,这使其成为紫外光电探测领域研究的热点。本文对近... 紫外光电探测器在环境监测、生物医学成像、先进光通信系统及紫外辐射测量等方面有着广泛的应用,具有重要的研究价值。宽带隙氧化物半导体材料因其对紫外波段光本征敏感的独特探测优势,这使其成为紫外光电探测领域研究的热点。本文对近年来国内外各研究小组以宽禁带氧化物半导体(ZnO、WO_(3)、TiO_(2)、Ga_(2)O_(3))材料为研究对象,通过应用新工艺、新材料、新结构,在紫外光电探测领域取得的研究成果进行了综述,为未来新型紫外光敏感材料的开发和高性能紫外光电探测器的研制提供参考。 展开更多
关键词 光电探测器 宽禁带氧化物半导体 光响应度 外量子效率
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基于智能化赋能的仿生传感器核心技术发展进程与趋势研究
6
作者 周均忠 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第9期1-7,共7页
智能化仿生传感器通过模仿生物感知机制,在环境监测、医疗诊断及工业生产等领域展现出广阔应用前景。本文系统阐述了其分类及高灵敏度、自适应性和生物兼容性等核心特性。研究对比了国内外发展现状,指出国际领先机构在材料与系统集成方... 智能化仿生传感器通过模仿生物感知机制,在环境监测、医疗诊断及工业生产等领域展现出广阔应用前景。本文系统阐述了其分类及高灵敏度、自适应性和生物兼容性等核心特性。研究对比了国内外发展现状,指出国际领先机构在材料与系统集成方面占据优势,而国内在产业化应用方面进展较快。智能化仿生传感器领域的发展趋势将高度聚焦于跨学科深度融合及新型功能材料的创新研发以及微型化自供能技术的关键突破。这些趋势将共同推动感知技术实现质的飞跃,为智慧社会的构建与可持续发展提供坚实支撑。该研究不仅具有深远的科学价值,更蕴含着巨大的应用潜力,对于促进科技进步、全面提升人类生活质量意义非凡。 展开更多
关键词 智能化 仿生传感器 核心技术 发展进程与趋势
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Bi_(2)S_(3)微球室温NO_(2)传感性能研究
7
作者 姜晓龙 杨永超 +3 位作者 高云鹏 王大兴 皮倩倩 徐振忠 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第6期59-62,共4页
环境中低体积分数的NO_(2)气体将对人体产生较大危害,因此实现NO_(2)高灵敏检测具有重要意义。金属氧化物半导体气体传感器是主要的NO_(2)气体检测方法,但高的功耗难以满足物联网和可穿戴技术发展需求。Bi_(2)S_(3)材料具有窄的带隙结... 环境中低体积分数的NO_(2)气体将对人体产生较大危害,因此实现NO_(2)高灵敏检测具有重要意义。金属氧化物半导体气体传感器是主要的NO_(2)气体检测方法,但高的功耗难以满足物联网和可穿戴技术发展需求。Bi_(2)S_(3)材料具有窄的带隙结构和高的载流子迁移率,是理想的室温NO_(2)敏感材料。本文采用一步水热法合成Bi_(2)S_(3)微球,制得的Bi_(2)S_(3)传感器可实现(0.1~1)×10^(-6)体积分数的NO_(2)气体室温检测,对1×10^(-6)体积分数的NO_(2),检测灵敏度为1.66,响应/恢复时间为71/244 s,具有良好的选择性、重复性和稳定性,在低体积分数NO_(2)室温检测具有应用前景。 展开更多
关键词 Bi_(2)S_(3)微球 NO_(2)传感器 室温 高灵敏
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Bi_(2)S_(3)半导体纳米材料室温NO_(2)传感研究进展
8
作者 杨永超 傅巍 +3 位作者 高云鹏 王大兴 皮倩倩 李涛 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第7期6-9,13,共5页
Bi_(2)S_(3)独特的物理化学性质使其成为理想的室温NO_(2)传感材料,如高的载流子迁移率、可调节的能带结构等。Bi_(2)S_(3)属于Ⅴ-Ⅵ主族半导体,易于形成低维度纳米材料,如纳米线、纳米带、纳米片等,低维度纳米结构可提升其NO_(2)敏感... Bi_(2)S_(3)独特的物理化学性质使其成为理想的室温NO_(2)传感材料,如高的载流子迁移率、可调节的能带结构等。Bi_(2)S_(3)属于Ⅴ-Ⅵ主族半导体,易于形成低维度纳米材料,如纳米线、纳米带、纳米片等,低维度纳米结构可提升其NO_(2)敏感性能。本文结合Bi_(2)S_(3)及其异质结制备方法和结构特征,综述Bi_(2)S_(3)纳米材料在室温NO_(2)传感的研究进展。 展开更多
关键词 Bi_(2)S_(3) 室温 NO_(2) 气体传感器
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基于产品模块化实现高端传感器大批量定制的研究
9
作者 周博 李红兵 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期48-51,共4页
随着科技的发展,“大批量定制”的高端传感器在制造业中的智能制造问题亟待解决,提出了如何采用“产品模块化”方法实现对高端传感器“大批量定制”的具体做法。首先,介绍了两者的基本概念及实现“大批量定制”的关键技术方法;其次,通... 随着科技的发展,“大批量定制”的高端传感器在制造业中的智能制造问题亟待解决,提出了如何采用“产品模块化”方法实现对高端传感器“大批量定制”的具体做法。首先,介绍了两者的基本概念及实现“大批量定制”的关键技术方法;其次,通过阐述模块化的划分方法、过程和原则等,分析了“产品模块化”方法在高端传感器制造中的具体运用;最终,阐明了“产品模块化”方法可应用于个性化需求的“大批量定制”制造,为实现高端传感器制造提供有效途径。 展开更多
关键词 产品模块化 大批量定制 传感器
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封接玻璃热膨胀系数对氧分压传感器可靠性影响研究
10
作者 程振乾 孙略升 +1 位作者 文吉延 刘洋 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第8期46-49,共4页
为解决氧分压传感器敏感芯体封接玻璃易开裂导致器件失效的关键问题,选取BaO-SiO2掺杂体系的6种玻璃作为封接材料,系统研究了其与8YSZ(8mol%Y2O3稳定的ZrO2)的匹配特性。通过制备敏感芯体并完成传感器封装,采用加速老化测试(包括老化、... 为解决氧分压传感器敏感芯体封接玻璃易开裂导致器件失效的关键问题,选取BaO-SiO2掺杂体系的6种玻璃作为封接材料,系统研究了其与8YSZ(8mol%Y2O3稳定的ZrO2)的匹配特性。通过制备敏感芯体并完成传感器封装,采用加速老化测试(包括老化、随机振动、温度循环及通断电循环)评估其可靠性。实验结果表明,SBYb-1玻璃因其热膨胀系数(10.2×10^(-6)/℃)与8YSZ(10.5×10^(-6)/℃)高度匹配,在100次温度循环(-55~70℃)与1000次通断电后仍保持结构完整性,展现出最优异的长期稳定性,其工作寿命较其他组分提升约30%,输出偏差<5%。为高性能氧传感器封接材料的开发提供了重要依据。 展开更多
关键词 热膨胀系数 氧分压传感器 稳定性
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超低温铂电阻传感器及其变换电路的线性参数研究 被引量：1
11
作者 王元委 齐娜 +1 位作者 吕颖 王明谦 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第11期17-19,24,共4页
本文重点对超低温(-200℃以下)的传感器测量进行分析研究,针对低温条件测量的温敏特性和变换电路进行系统性研究,根据铂电阻在低温下的特性曲线,利用电路的反馈原理,修正铂电阻的线性参数,按照直线方程给出温度—电压关系时,该线性参数... 本文重点对超低温(-200℃以下)的传感器测量进行分析研究,针对低温条件测量的温敏特性和变换电路进行系统性研究,根据铂电阻在低温下的特性曲线,利用电路的反馈原理,修正铂电阻的线性参数,按照直线方程给出温度—电压关系时,该线性参数的修正可以有效提高传感器/变换器精度,保证传感器测量超低温环境时,不受铂电阻自身低温非线性带来的弊端,通过试验验证可以得出,传感器在-250~100℃全温区范围内精度可以达到0.95%,保证对低温环境的精确测量。 展开更多
关键词 传感器 超低温 非线性 变换电路
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管路液体冲击效应对压力传感器的影响研究 被引量：1
12
作者 柳宏涛 张鹏 刘宝伟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第7期14-17,共4页
压力传感器作为管路压力测试的主要手段,应用在军用、民用各个领域,硅压阻压力传感器是目前应用最广泛的一种压力传感器,其特点是精度高、稳定性好、价格低、适于批量生产。在一些特定的环境下,被测管路内的液体工质会由于外部的振动、... 压力传感器作为管路压力测试的主要手段,应用在军用、民用各个领域,硅压阻压力传感器是目前应用最广泛的一种压力传感器,其特点是精度高、稳定性好、价格低、适于批量生产。在一些特定的环境下,被测管路内的液体工质会由于外部的振动、冲击、噪声等力学环境,使管路内部产生一个动态的异常冲击压力,这种冲击压力的幅频特性与管路的长短粗细、工质的特性、外部的激发量级、工质的温度等都相关,很难用理论公式准确地计算出结果。这种动态冲击信号往往会对压力传感器产生一定的机械损伤,本文介绍了特定条件下的管路内液体冲击压力的形成以及其对于传感器的影响,并经过试验进行了验证,为后续的工程应用提供一定的借鉴作用。 展开更多
关键词 压力传感器 液体冲击效应 管路
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类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究
13
作者 李涛 胡宇涵 +2 位作者 徐冬 尹思淇 杨思远 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期60-63,共4页
当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计... 当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计与制备工艺技术。在氧化铝基片陶瓷上,采用双靶共溅射的工艺,通过精确地控制溅射条件,获得均匀且致密的类金刚石膜,在满足高精度与小型化要求的同时,增强异质材料长期工作的稳定性。 展开更多
关键词 传感器 工艺 双靶共溅射 类金刚石碳膜 氧化铝陶瓷
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温盐深传感器的研究进展与发展趋势
14
作者 王晓光 胡宇涵 +1 位作者 尹思淇 杨思远 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第9期6-10,共5页
在气象观测、航海、海洋资源开发和海洋国防建设等领域,温度、盐度和深度是探索海洋环境所需的重要基本物理参数,而用于海洋温盐深(CTD)参数测量的重要仪器——CTD传感器具有极其重要的价值。本文将以CTD传感技术、测量方式和传感器搭... 在气象观测、航海、海洋资源开发和海洋国防建设等领域,温度、盐度和深度是探索海洋环境所需的重要基本物理参数,而用于海洋温盐深(CTD)参数测量的重要仪器——CTD传感器具有极其重要的价值。本文将以CTD传感技术、测量方式和传感器搭载方式这几方面论述CTD传感器的发展历程和研究进展,并对CTD传感器未来的发展方向、发展趋势和应用前景进行展望。 展开更多
关键词 温度 盐度 深度 海洋环境 温盐深传感器
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基于微孔封装氧化镍的CO敏感材料性能研究
15
作者 王博 葛江亚 +3 位作者 刘继江 王烜赫 高云鹏 胡宇涵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第4期17-20,共4页
一氧化碳(CO)是在生活、生产中常见的可燃性气体,对人体伤害巨大。因此,实现CO的高灵敏、高稳定检测具有重要意义。采用牺牲模板法与等体积浸渍相结合的方式制备出NiO@MGC新型复合敏感材料。通过XRD,BET,SEM,TEM表征方法对不同负载量样... 一氧化碳(CO)是在生活、生产中常见的可燃性气体,对人体伤害巨大。因此,实现CO的高灵敏、高稳定检测具有重要意义。采用牺牲模板法与等体积浸渍相结合的方式制备出NiO@MGC新型复合敏感材料。通过XRD,BET,SEM,TEM表征方法对不同负载量样品形貌、晶体结构进行表征。证明了制备的复合材料继承了分子筛模板的微孔结构,并且NiO均匀限域在微孔孔道中。制作成传感器探头进行气敏性能测试,结果表明:传感器可以实现对CO在10×10^(-6)~50×10^(-6)范围内的快速检测,并且具有良好的稳定性。同时验证了传感器在NO_(2),NH_(3)和乙醇的干扰下可以实现CO选择性检测。 展开更多
关键词 类石墨烯碳 氧化镍 一氧化碳传感器
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不同氢气浓度下敏感体工作温度测试方法研究
16
作者 徐振忠 王东伟 +3 位作者 张洪建 王元 朱乾龙 王洪涛 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第12期25-27,共3页
本文针对催化燃烧氢气传感器敏感体工作温度的准确测量,提出了敏感体热态电阻的测试方法,建立了敏感体热态电阻与工作温度的线性对应关系,实现了不同氢气浓度下敏感体热态电阻的测量,并精确计算出不同氢气浓度下敏感体的工作温度。实验... 本文针对催化燃烧氢气传感器敏感体工作温度的准确测量,提出了敏感体热态电阻的测试方法,建立了敏感体热态电阻与工作温度的线性对应关系,实现了不同氢气浓度下敏感体热态电阻的测量,并精确计算出不同氢气浓度下敏感体的工作温度。实验发现,敏感体补偿元件的工作温度随氢气浓度的递增逐渐减小,敏感体敏感元件的工作温度随氢气浓度的递增逐渐增大,速率为(40~50)℃/1%VOL。 展开更多
关键词 催化燃烧 敏感体 工作温度
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倾角传感器的温度补偿研究 被引量：19
17
作者 于娜 刘志远 赵佳龙 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第10期14-16,共3页
半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度.介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿.经过试验验证结果表明：这种方法能够实现倾角传... 半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度.介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿.经过试验验证结果表明：这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿,在-55～ 85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级,有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响. 展开更多
关键词 倾角传感器 加速度 温度补偿
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不同步速下人体步态规律的测量与研究 被引量：12
18
作者 王劲松 王令军 +1 位作者 王婷 张立勋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第9期43-45,49,共4页
为研究人体下肢不同步速下的运动规律,采用了基于人体运动图像的检测系统和人体关节角度测量装置,对人体在跑步机上行走时下肢关节运动轨迹和关节角度进行了测量,通过Visual C++6.0和Matlab混合编程实现对运动图像和标志点的信息采集。... 为研究人体下肢不同步速下的运动规律,采用了基于人体运动图像的检测系统和人体关节角度测量装置,对人体在跑步机上行走时下肢关节运动轨迹和关节角度进行了测量,通过Visual C++6.0和Matlab混合编程实现对运动图像和标志点的信息采集。对测量结果进行了处理和分析,不同步速对腰部、髋关节、膝关节在矢状面内前后、上下的运动轨迹影响不显著,随着步速的提高,脚踝从支撑相到摆动相的运动空间范围增大,支撑期在步态周期中所占的比例减小。 展开更多
关键词 步速 步态 关节角度 测量
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一种新型高精度大气压力传感器的研究 被引量：11
19
作者 贺晓雷 迟晓珠 +1 位作者 唐胜武 赵佳龙 《电子测量技术》 2012年第6期1-4,共4页
采用SOI(silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精... 采用SOI(silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求。 展开更多
关键词 高精度 气压传感器 温度补偿 气象
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流延共烧结制备极限电流式氧传感器的研究 被引量：5
20
作者 姚伟 刘玺 +1 位作者 周明军 武强 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第8期9-11,14,共4页
以流延成型工艺制备钇稳氧化锆(YSZ)基片,采用丝网印刷、等静压叠层工艺,经1450℃共烧结制备极限电流式氧传感器。采用XRD,SEM对其物理性能进行表征,并在650℃、氧体积分数为0%～90%范围内对该陶瓷器件的伏—安特性、响应时间等输出特... 以流延成型工艺制备钇稳氧化锆(YSZ)基片,采用丝网印刷、等静压叠层工艺,经1450℃共烧结制备极限电流式氧传感器。采用XRD,SEM对其物理性能进行表征,并在650℃、氧体积分数为0%～90%范围内对该陶瓷器件的伏—安特性、响应时间等输出特性进行研究,实验结果表明:该传感器在其体积分数范围内具有良好的极限电流平台,响应时间小于9 s(氧体积分数从20%～75%),准确度达到0.5%。 展开更多
关键词 钇稳氧化锆 流延成型 共烧结 氧传感器 极限电流
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