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某涂布设备微振动控制基础结构的优化设计 被引量:1
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作者 左汉文 陈骝 杜浦 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期172-177,205,共7页
针对电子厂房内涂布设备结构楼板的微振动控制问题,提出了设备安置处楼板动刚度精细化控制方法。首先,对已建厂房内涂布设备所在基础楼板的振动速度响应及动刚度进行实测分析,确定设备满足其容许振动标准条件下的楼板需求动刚度;其次,... 针对电子厂房内涂布设备结构楼板的微振动控制问题,提出了设备安置处楼板动刚度精细化控制方法。首先,对已建厂房内涂布设备所在基础楼板的振动速度响应及动刚度进行实测分析,确定设备满足其容许振动标准条件下的楼板需求动刚度;其次,建立楼板结构动力有限元模型,研究模型结构尺寸与动刚度计算值的差异;最后,通过计算获得满足涂布设备容许振动标准的楼板结构设计尺寸,并进行了工程验证。研究结果表明,涂布设备运行状态下1/3倍频程最大振动速度幅值对应的中心频率点为40 Hz或50 Hz,且在35.5~44.7 Hz频率范围对楼板需求动刚度要求最高。 展开更多
关键词 电子厂房 涂布设备 楼板结构 振动速度 动刚度
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Ⅷ族过渡金属对电子级超纯水H_(2)O_(2)强化去除特性与研究进展
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作者 郑伟 王文龙 +2 位作者 倪卫斌 温鑫 杨光明 《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期57-66,共10页
在电子级超纯水的生产过程中,痕量H_(2)O_(2)主要由真空紫外线降解器产生的羟基自由基复合而成,会影响半导体材料清洗的某些特定工艺。将复相纳米催化技术应用于电子级超纯水制备系统,可以有效去除超纯水中微污染H_(2)O_(2),是促进含O—... 在电子级超纯水的生产过程中,痕量H_(2)O_(2)主要由真空紫外线降解器产生的羟基自由基复合而成,会影响半导体材料清洗的某些特定工艺。将复相纳米催化技术应用于电子级超纯水制备系统,可以有效去除超纯水中微污染H_(2)O_(2),是促进含O—O键活性氧物种快速解离的绿色清洁技术。简要阐述了微污染H_(2)O_(2)的产生及对半导体材料清洗工艺的影响,着重分析了Ⅷ族过渡元素中铂系金属纳米粒子对H_(2)O_(2)催化解离的反应途径和作用机理。还讨论了金属表面吸附构型、吸附能、电子结构以及载体化学性质、水中卤族阴离子等因素对纳米粒子强化去除特性的影响,综述了Ⅷ族过渡金属在超纯水生产、检测以及半导体工艺辅助系统的应用与研究进展,为超纯水新型反应体系的构建和水处理材料的研发及应用提供参考。 展开更多
关键词 电子级超纯水 微污染控制 金属纳米粒子 分解活性
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基于PlantSimulation的半导体机台配置优化仿真分析 被引量:2
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作者 白帆 徐策 +3 位作者 程星华 李舒欣 赵晓妍 黄志磊 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期103-108,共6页
半导体制造工厂的机台数量配置对产线的生产效率具有重要影响,然而传统机台配置方法不能将时间维度和复杂派工策略统筹考虑,难以量化评估机台配置对产能的影响,容易出现投资浪费、产能不足、空间布局不合理等问题。在Plant Simulation... 半导体制造工厂的机台数量配置对产线的生产效率具有重要影响,然而传统机台配置方法不能将时间维度和复杂派工策略统筹考虑,难以量化评估机台配置对产能的影响,容易出现投资浪费、产能不足、空间布局不合理等问题。在Plant Simulation仿真软件中建立半导体制造执行系统(MES)实时派工机制,模拟工厂的真实运行状态,同时提出了一种机台配置的优化算法。将此方法用于某半导体工厂的设备配置,有效提升了产能及设备利用率,为半导体及其他行业的机台配置提供借鉴和参考。 展开更多
关键词 半导体工厂 离散仿真分析 制造执行系统(MES) 派工策略 产线机台配置
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纳米钛酸钡前体热分解反应动力学及颗粒演化机理
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作者 张昊 陆小明 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期3987-3995,共9页
钛酸钡具有介电常数高、介电损耗低等优良性能,是制备多层陶瓷电容器等元件的基础原料。以草酸盐共沉淀法制备的纳米钛酸钡前体为原料,采用热重-质谱联用分析仪研究了其热分解特性和气体析出特性,揭示了纳米钛酸钡前体热分解反应的机理... 钛酸钡具有介电常数高、介电损耗低等优良性能,是制备多层陶瓷电容器等元件的基础原料。以草酸盐共沉淀法制备的纳米钛酸钡前体为原料,采用热重-质谱联用分析仪研究了其热分解特性和气体析出特性,揭示了纳米钛酸钡前体热分解反应的机理,利用kissinger-akahira-sunose(KAS)法和flynn-wall-ozawa(FWO)法进行了反应动力学计算,并采用扫描电子显微镜(SEM)观察了热分解产物的微观形貌,分析了颗粒的演化机理。结果显示:纳米钛酸钡前体热分解过程可分为4个失重阶段,第一阶段为水分析出,第二阶段的析出气体为CO和CO_(2),第三和第四阶段的析出气体为CO_(2),据此推导出了各阶段涉及的反应式;随着升温速率的提高,各失重阶段对应的最大失重速率温度均向高温区移动,第四阶段向高温区移动的幅度最大,达到113℃,但该阶段在30℃/min条件下的失重速率最快、反应得到强化;FWO模型更适用于描述纳米钛酸钡前体的热分解过程,四个阶段的平均反应活化能分别为67.89kJ/mol、208.92kJ/mol、494.04kJ/mol和195.11kJ/mol,第三阶段的反应活化能最高、反应较难发生;在纳米钛酸钡前体热分解过程中,宏观大颗粒会演化成微观小颗粒的聚集体,较高的恒温温度会导致颗粒粒径变大,因此恒温温度不宜超过900℃。研究结果为纳米钛酸钡前体热分解工艺参数的选择提供了理论依据。 展开更多
关键词 钛酸钡前体 热分解 动力学 热重-质谱 颗粒演化
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郑州市村镇住宅建筑发展路径研究
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作者 耿天娇 毛诗泽 +1 位作者 贾宙霖 丁子凯 《河南农业》 2024年第19期71-72,共2页
美丽乡村建设是“十四五”时期全面推进乡村振兴的重要任务之一。改善农村人居环境,建设宜居宜业和美乡村,为郑州市改善村镇住宅、推进美丽乡村建设指明了方向。近年,砖混结构成为村镇住宅的主要结构形式,村镇现有的砖混结构住宅普遍存... 美丽乡村建设是“十四五”时期全面推进乡村振兴的重要任务之一。改善农村人居环境,建设宜居宜业和美乡村,为郑州市改善村镇住宅、推进美丽乡村建设指明了方向。近年,砖混结构成为村镇住宅的主要结构形式,村镇现有的砖混结构住宅普遍存在保温隔热性能差等问题,导致农村的建筑能耗不断增加,这与建筑节能与绿色建筑发展规划的理念相矛盾。 展开更多
关键词 村镇住宅 砖混结构住宅 主要结构形式 农村人居环境 建筑节能 建筑能耗 乡村振兴 美丽乡村建设
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高能同步辐射光源土体动力学参数反演方法 被引量:1
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作者 娄宇 邢云林 +1 位作者 吕佐超 张允士 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期973-978,共6页
考虑到土体动力学参数是高能同步辐射光源等大科学装置环境微振动控制中场地振动响应评估的一个重要条件,基于常时微动测试提出土体动力学参数反演的方法,并在高能同步辐射光源现场开展了常时微动测试方法、单频激振器稳态激励法和锤击... 考虑到土体动力学参数是高能同步辐射光源等大科学装置环境微振动控制中场地振动响应评估的一个重要条件,基于常时微动测试提出土体动力学参数反演的方法,并在高能同步辐射光源现场开展了常时微动测试方法、单频激振器稳态激励法和锤击瞬态激励法原位试验和对比验证.试验结果表明,常时微动测试方法反演得到的土体动力学参数与其他2种方法的结果相差不大于15%,反演计算得到的土体相速度与实测相速度相差不超过5%.常时微动测试土体振动响应以Rayleigh波为主,具有测试设备便捷、测点振动响应相干性要求不高、不需要考虑测点与振源距离等优点.常时微动测试可为大科学装置场地土体动力学参数反演提供更简便可靠的分析方法. 展开更多
关键词 高能同步辐射光源 土体振动 常时微动 参数反演 相速度
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曲线段地铁运行对某体育馆振动影响预测分析 被引量:2
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作者 左汉文 赵志亮 杜浦 《地震工程与工程振动》 CSCD 北大核心 2023年第6期150-158,共9页
为了解曲线段下普通整体道床和钢弹簧浮置板道床对既有建筑物内楼板位置振动影响情况,对后期同类项目地铁线路规划提供指导参考。以郑州地铁7号线下穿某体育馆项目为背景,首先对体育馆内部振动评估点位置与外部地面进行同步背景振动测试... 为了解曲线段下普通整体道床和钢弹簧浮置板道床对既有建筑物内楼板位置振动影响情况,对后期同类项目地铁线路规划提供指导参考。以郑州地铁7号线下穿某体育馆项目为背景,首先对体育馆内部振动评估点位置与外部地面进行同步背景振动测试,将各测点进行1/3倍频程频谱分析,分析体育馆内、外的传递规律。其次,结合已通车的同类地铁线路进行振源模拟测试,对隧道壁及地面位置进行1/3倍频程频谱分析,分析不同道床形式下地铁列车振动源强数据以及土体模型仿真计算校核参数。再次,建立有限元模型计算不同道床形式下地面振动速度响应。最后,结合体育馆内、外传递规律,预估地铁通车后体育馆内评估点位置振动响应。研究表明:若采用普通整体道床,地面位置水平向振动速度响应峰值在63 Hz达到0.03 mm/s,传递至体育馆内顶层楼面处会放大至4.50 mm/s,超过其控制标准2.50 mm/s的限制,若采用钢弹簧浮置板道床,竖直向最大振动速度峰值为0.04 mm/s,水平向为1.36 mm/s,均满足体育馆振动控制标准。 展开更多
关键词 体育馆 振动速度 1/3倍频程 曲线段
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