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新型SOG压阻式力敏传感器的研制
1
作者
林海安
张家慰
+1 位作者
陈健
黄明程
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1993年第1期7-10,共4页
本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力.
关键词
压力传感器
键合工艺
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职称材料
题名
新型SOG压阻式力敏传感器的研制
1
作者
林海安
张家慰
陈健
黄明程
机构
东南大学电子工程系
中国无锡华晶集团公司
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1993年第1期7-10,共4页
文摘
本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力.
关键词
压力传感器
键合工艺
Keywords
pressure sensor bonding etching self-stop thinning
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型SOG压阻式力敏传感器的研制
林海安
张家慰
陈健
黄明程
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1993
0
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