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类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展
被引量：
4
1
作者
周琼
温亚东
+4 位作者
张而耕
黄彪
李耀东
梁丹丹
陈强
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第10期1-7,共7页
类金刚石(diamond-like carbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp~3杂化键)和石墨结构(sp~2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性...
类金刚石(diamond-like carbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp~3杂化键)和石墨结构(sp~2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题,大大限制了其产业化应用。从固有因素和外界因素2个方面综述了影响DLC薄膜摩擦学性能的因素,从异质元素掺杂、表面织构化等方面论述了改善DLC薄膜摩擦学性能的措施,展望了DLC薄膜摩擦学性能研究趋势。
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关键词
DLC薄膜
摩擦学性能
影响因素
表面织构
元素掺杂
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职称材料
题名
类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展
被引量：
4
1
作者
周琼
温亚东
张而耕
黄彪
李耀东
梁丹丹
陈强
机构
上海应用技术大学上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术
研究
中心
中国兵器工业集团第二○二研究所
出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第10期1-7,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51971148)
上海市自然科学基金资助项目(20ZR1455700)
上海应用技术大学中青年人才发展基金资助项目(ZQ2021-25)。
文摘
类金刚石(diamond-like carbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp~3杂化键)和石墨结构(sp~2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题,大大限制了其产业化应用。从固有因素和外界因素2个方面综述了影响DLC薄膜摩擦学性能的因素,从异质元素掺杂、表面织构化等方面论述了改善DLC薄膜摩擦学性能的措施,展望了DLC薄膜摩擦学性能研究趋势。
关键词
DLC薄膜
摩擦学性能
影响因素
表面织构
元素掺杂
Keywords
DLC film
tribological property
influencing factor
surface texture
element doping
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展
周琼
温亚东
张而耕
黄彪
李耀东
梁丹丹
陈强
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
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