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直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法
被引量：
1
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作者
周全德
赵向娅
孙月珍
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第4期60-62,共3页
介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法.
关键词
硅片
电阻率
探针
测量
在线阅读
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职称材料
题名
直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法
被引量：
1
1
作者
周全德
赵向娅
孙月珍
机构
中国上海测试中心上海市测试技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第4期60-62,共3页
文摘
介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法.
关键词
硅片
电阻率
探针
测量
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法
周全德
赵向娅
孙月珍
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993
1
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职称材料
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