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题名基于NLMS滤波算法的光栅谐波补偿方法
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作者
任东旭
王刚
马百川
李彬
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机构
中原工学院机电学院机械工业光学传感与测试技术重点实验室
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出处
《工具技术》
北大核心
2025年第2期145-150,共6页
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基金
国家自然科学基金(51905558,51975599)。
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文摘
光栅信号谐波失真问题是制约光栅位移传感器测量精度的重要因素之一,对此本文提出将NLMS滤波应用在光栅信号处理中。阐述NLMS自适应滤波迭代的基本原理,优化设计NLMS滤波器的步长因子,并进行仿真试验。仿真结果表明:两路光栅信号经NLMS滤波后,二次谐波的幅值分别降低约95%和89%,四次谐波的幅值分别降低约85%和82%,六次谐波的幅值分别降低约75%和95%。仿真结果表明,NLMS滤波是一种有效的光栅谐波补偿方法。
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关键词
光栅信号
NLMS滤波
谐波失真
谐波补偿
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Keywords
grating signal
NLMS filtering
harmonic distortion
harmonic compensation
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分类号
TG806
[金属学及工艺—公差测量技术]
TH701
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名基于构造绝对值三角函数的光栅信号细分
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作者
任东旭
牛奚
周梦园
李彬
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机构
中原工学院机电学院
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出处
《工具技术》
北大核心
2024年第4期145-148,共4页
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基金
国家自然科学基金(51905558,51975599)。
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文摘
为了进一步提高光栅传感器的测量精度,需要对信号进行细分,但光栅莫尔信号的细分精度取决于信号的质量。本文利用归一化并结合CORDIC的方法补偿了直流、幅值、相位等误差,利用补偿后的信号构造绝对值三角函数,实现一个完整周期信号的16倍细分,并通过MATLAB进行了仿真,验证了该方法的可行性。
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关键词
光栅传感器
补偿
细分
MATLAB
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Keywords
grating sensor
compensation
subdivision
MATLAB
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分类号
TG502.1
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH701
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名激光振镜直写光栅误差分析及校正方法
被引量：2
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作者
任东旭
周梦园
牛奚
李彬
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机构
中原工学院机电学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期1840-1845,共6页
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基金
国家自然科学基金(No.51905558
No.51975599)资助。
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文摘
针对振镜式激光直写光栅系统中存在的扫描畸变的问题,提出了一种内部转角优化和外部扫描误差补偿相结合的校正方法。以光栅栅距10μm为目标,建立了振镜系统的几何光学模型,对扫描误差进行了分析,然后对振镜转角进行了优化,进一步对振镜进行了曲线拟合补偿,坐标点(100,10)处误差从0936mm,1912mm降低到0148μm,00296μm。结果表明,这种方法能够满足振镜式激光直写光栅在短距离刻划的精度要求。
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关键词
激光直写
二维振镜
误差校正
曲线拟合
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Keywords
laser direct writing
2D galvanometer
error compensation
curve fitting
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TN247
[电子电信—物理电子学]
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