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喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究
被引量：
10
1
作者
李晶
赵晓东
+1 位作者
李芝华
任冬燕
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期38-41,46,共5页
以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析。实验结果表...
以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析。实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高。
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关键词
ITO靶材
喷雾干燥
冷等静压
烧结
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职称材料
题名
喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究
被引量：
10
1
作者
李晶
赵晓东
李芝华
任冬燕
机构
西南科技
大学
材料
科学与
工
程
学院
中南大学材料科学与工稃学院
出处
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期38-41,46,共5页
文摘
以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析。实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高。
关键词
ITO靶材
喷雾干燥
冷等静压
烧结
Keywords
ITO target material
spraying drying
cold isostatic pressing
sintering
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究
李晶
赵晓东
李芝华
任冬燕
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
北大核心
2011
10
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