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一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文)
1
作者
陈媛婧
毛海央
+4 位作者
谭秋林
薛晨阳
欧文
陈大鹏
熊继军
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期730-735,共6页
提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应...
提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应率和响应时间分别达到2.85×108cm Hz(1/2)/W、1 800 V/W和6 ms。本文给出了该种热电堆红外探测器高度兼容于CMOS工艺的制备流程,使器件的高效量产和低成本生产成为可能。
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关键词
红外探测器
双层结构
热电堆
吸收层
悬浮
红外传感器
多晶硅材料
CMOS工艺
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职称材料
题名
一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文)
1
作者
陈媛婧
毛海央
谭秋林
薛晨阳
欧文
陈大鹏
熊继军
机构
中北大学纳米纳米技术研究中心
中国科学院微电子
研究
所集成电路先导工艺研发
中心
江苏省物联网
研究
发展
中心
智能集成传感器工程
中心
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期730-735,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61335008,51205373)
江苏省自然科学基金项目(BK20131098)
山西省自然科学基金项目(2012021013-4)
文摘
提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应率和响应时间分别达到2.85×108cm Hz(1/2)/W、1 800 V/W和6 ms。本文给出了该种热电堆红外探测器高度兼容于CMOS工艺的制备流程,使器件的高效量产和低成本生产成为可能。
关键词
红外探测器
双层结构
热电堆
吸收层
悬浮
红外传感器
多晶硅材料
CMOS工艺
Keywords
infrared thermopiles
suspended absorber-thermopile bi-layers
polyimide
front-etching
CMOS process
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文)
陈媛婧
毛海央
谭秋林
薛晨阳
欧文
陈大鹏
熊继军
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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