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基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统 被引量:1
1
作者 郑丽娜 薛晨阳 +2 位作者 张文栋 张斌珍 桑胜波 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第S2期306-309,共4页
微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此... 微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此测试系统对硅微谐振器支撑梁根部的单点进行了动态应力测试,测试结果与理论分析相吻合。实验表明,此测试系统具有高精度、非接触式、无损伤等特点,能很好地满足MEMS动态应力测试的需求。 展开更多
关键词 动态应力 MEMS 拉曼光谱仪 高频调制 测试系统
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闪烁晶体光谱特性多参数综合测试技术研究 被引量:1
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作者 李瑞红 韩跃平 +1 位作者 周汉昌 韩焱 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2184-2186,共3页
针对山西长城微光器材股份有限公司新型闪烁晶体材料的研制需求,研究了一种针对某闪烁晶体受X射线激发后光谱响应的多参数综合光电检测系统。通过系统的光谱输出接口直接测试闪烁晶体的射线转换光谱,通过电压输出接口测试PIN光敏二极管... 针对山西长城微光器材股份有限公司新型闪烁晶体材料的研制需求,研究了一种针对某闪烁晶体受X射线激发后光谱响应的多参数综合光电检测系统。通过系统的光谱输出接口直接测试闪烁晶体的射线转换光谱,通过电压输出接口测试PIN光敏二极管输出的光伏电压,进而采用等效电路法计算闪烁晶体的荧光逸出功率。测试结果表明,荧光逸出效率随X射线管电流的增大而减小。本研究对其他闪烁晶体光谱特性的测试具有借鉴价值。 展开更多
关键词 光谱特性 逸出效率 闪烁晶体
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硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究 被引量:6
3
作者 陈尚 薛晨阳 +3 位作者 张斌珍 张国军 乔慧 张开锐 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期493-498,共6页
针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术,实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的... 针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术,实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点,对传感器的同振原理进行分析,并基于该机理以及传感器的特殊结构,提出采用注入蓖麻油的方法实现微结构的柱体与所处介质质点同振.分别采用振动台标定和驻波场测量的方法完成了传感器的灵敏度、频响以及指向性的测试,最后对2种测试结果进行了分析和比较.研究结果表明:所研制的水声传感器具有较低的工作频率,其水下自由场声压灵敏度值为-207.6 dB(0 dB=1 V/μPa,测试频率为200 Hz),指向性图的零点深度为50.9 dB. 展开更多
关键词 硅微矢量水声传感器 低频测试 同振型 MEMS
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多种工况磁电触发的主动轮扭矩测试方法 被引量:4
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作者 陈昌鑫 马铁华 +1 位作者 靳鸿 苗静 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第8期98-100,共3页
针对履带式车辆的主动轮扭矩测试存在电桥供电和信号传输困难的问题,采用存储测试方法,设计可以嵌入主动轮上的微型化存储测试仪器,并且针对履带式车辆的多种工况,进行了状态设计和磁电触发设计。控制电磁铁的开关产生阶跃磁信号,经过... 针对履带式车辆的主动轮扭矩测试存在电桥供电和信号传输困难的问题,采用存储测试方法,设计可以嵌入主动轮上的微型化存储测试仪器,并且针对履带式车辆的多种工况,进行了状态设计和磁电触发设计。控制电磁铁的开关产生阶跃磁信号,经过磁场传递,霍尔电路输出阶跃电信号,实现多种工况状态的触发。 展开更多
关键词 扭矩 存储测试 磁电触发
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基于FPGA的通用PCM测试仪的设计 被引量:4
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作者 张彦军 刘龙飞 刘薇 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2013年第1期145-148,共4页
设计的多功能PCM测试仪采用FPGA可编程逻辑器件作为遥测PCM解调器,在其内部逻辑时序的控制下实现对PCM信号的解码。解调后的数据通过USB总线传输至计算机进行实时数据监测与分析。上位机软件有自动测试和单机测试两种模式,发送与接收均... 设计的多功能PCM测试仪采用FPGA可编程逻辑器件作为遥测PCM解调器,在其内部逻辑时序的控制下实现对PCM信号的解码。解调后的数据通过USB总线传输至计算机进行实时数据监测与分析。上位机软件有自动测试和单机测试两种模式,发送与接收均设计有3种不同形式的接口电路,适用于运放和差分两种形式的低速以及高速PCM信号。 展开更多
关键词 USB总线 运放形式 RS-422 闭环自检
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基于simulink的隧道式微加速度计的仿真与测试 被引量:3
6
作者 石云波 王玲 刘俊 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1508-1510,1514,共4页
提出了利用Simulink软件包对隧道式加速度计系统进行仿真的方法,给出了系统的仿真模型,对系统进行了常压下和真空环境下的系统仿真,确定了系统的反馈深度范围。同时利用仿真结果指导了系统的反馈电路设计,并对传感器进行了性能测试,结... 提出了利用Simulink软件包对隧道式加速度计系统进行仿真的方法,给出了系统的仿真模型,对系统进行了常压下和真空环境下的系统仿真,确定了系统的反馈深度范围。同时利用仿真结果指导了系统的反馈电路设计,并对传感器进行了性能测试,结果表明Simulink是仿真的一条有效途径,可为电路设计及分析提供有价值的参考。 展开更多
关键词 隧道式加速度计 SIMULINK 系统仿真 PD控制
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基于FPGA的数字量变换器测试台的设计 被引量:2
7
作者 苏虎平 沈三民 +3 位作者 张昊 张雪莲 叶勇 刘文怡 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第2期499-506,共8页
设计了一种数字量变换器测试台对弹载遥测系统数字量变换器的性能进行全面测试。用来模拟火箭飞行过程中的一些状态信号来检测弹上的数字量变换器。测试台要求能够向弹上设备数字量变换器发送计算机字信号、带电指令信号及勤务信号(包... 设计了一种数字量变换器测试台对弹载遥测系统数字量变换器的性能进行全面测试。用来模拟火箭飞行过程中的一些状态信号来检测弹上的数字量变换器。测试台要求能够向弹上设备数字量变换器发送计算机字信号、带电指令信号及勤务信号(包括帧同步信号和码同步信号),并能接收弹上设备数字量变换器输出的,经变换的计算机字数码及带电指令数码。设计了统一的通信协议,上位机对测试台进行整体控制,分别控制操作命令的下发和数码的接收。在实际应用中,该数字量变换器测试台设计可行,能全面检验数字量变换器的性能。 展开更多
关键词 数字量变换器 USB 计算机字 指令信号 通信协议
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基于USB2.0的数据记录器地面综合测试台设计 被引量:4
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作者 梁永刚 张会新 崔永俊 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第30期9036-9040,9046,共6页
提出了一种基于USB2.0的数据记录器地面综合测试台的设计方法,选用现场可编程门阵列(FPGA)作为逻辑控制器件,实现了对箭载数据记录器的闭环自检;同时配合记录器完成对火箭内部参数的测试。着重从系统硬件电路和逻辑时序两方面进行研究设... 提出了一种基于USB2.0的数据记录器地面综合测试台的设计方法,选用现场可编程门阵列(FPGA)作为逻辑控制器件,实现了对箭载数据记录器的闭环自检;同时配合记录器完成对火箭内部参数的测试。着重从系统硬件电路和逻辑时序两方面进行研究设计,讨论了系统各功能模块的实现方法;并对各模块进行了实际的分析和测试。经大量测试表明该装置性能稳定,可以满足设计要求。 展开更多
关键词 USB2 0 FPGA 闭环自检
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基于MEMS工艺柔性电极制备与测试 被引量:1
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作者 崔建利 李策 +2 位作者 郭浩 陈艳香 石云波 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第6期21-24,共4页
针对柔性技术对柔性可拉伸电极的需求,提出一种在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性衬底上制备具有周期为8μm"三角波"结构Ag薄膜电极的方法。采用MEMS工艺技术制作柔性电极模板,结合PDMS倒模、plasma表面修饰、磁控溅射金属Ag的方法... 针对柔性技术对柔性可拉伸电极的需求,提出一种在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性衬底上制备具有周期为8μm"三角波"结构Ag薄膜电极的方法。采用MEMS工艺技术制作柔性电极模板,结合PDMS倒模、plasma表面修饰、磁控溅射金属Ag的方法,制备了可拉伸柔性电极。通过测量柔性电极的初始电阻值、阻值与柔性衬底拉伸形变量的关系以及柔性电极的拉伸极限,测试结果表明该方法实现了粘附性能好、初始阻值小、重复性可靠、电阻变化速率小、拉伸形变为65%的可拉伸柔性电极。同时该方法制备的柔性电极尺寸、周期等参数可控,应用领域得到延伸,可适应不同需求的柔性电极的制备。 展开更多
关键词 MEMS工艺 柔性电极 PDMS
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复合量程微加速度计封装的设计仿真与测试 被引量:1
10
作者 闫明明 鲍爱达 郭涛 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第34期10150-10154,共5页
针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案。理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装。仿真分析主要通过AN... 针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案。理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装。仿真分析主要通过ANSYS软件进行复合量程加速度计热应力仿真,确定了复合量程加速度计的陶瓷封装管壳的厚度。通过静态特性测试及动态特性测试等进一步验证了该封装结构具有抗过载能力。 展开更多
关键词 复合量程微加速度计 MEMS 封装 ANSYS 仿真
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LTCC高温压力传感器的设计制作和测试 被引量:5
11
作者 李莹 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第4期101-102,105,共3页
提出了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线电容式压力传感器,并具体讨论了传感器的设计、制作以及测试。与传统的LTCC工艺所不同的是,引入了碳膜作为牺牲层来填充传感器结构的内置式空腔,可以有效地防止空腔在层压和烧结时的变形。测试... 提出了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线电容式压力传感器,并具体讨论了传感器的设计、制作以及测试。与传统的LTCC工艺所不同的是,引入了碳膜作为牺牲层来填充传感器结构的内置式空腔,可以有效地防止空腔在层压和烧结时的变形。测试中传感器表现出了良好的灵敏度,高于之前国际上的研究水平。同时给出了现有结构优化改进的方向。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 无线 电容式压力传感器 高温环境 牺牲层
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枪弹供输弹机构加速度测试系统设计 被引量:1
12
作者 袁月华 裴东兴 张瑜 《火炮发射与控制学报》 北大核心 2011年第3期78-81,共4页
针对转管武器供输弹过程中枪弹的空间运动力学参数测量的特殊性,采用存储测试技术和微型化技术,设计了微体积的加速度测试系统,该系统以高集成度的MSP430系列单片机为控制核心,能在现场实时地记录枪弹在供输弹过程中的加速度变化规律。... 针对转管武器供输弹过程中枪弹的空间运动力学参数测量的特殊性,采用存储测试技术和微型化技术,设计了微体积的加速度测试系统,该系统以高集成度的MSP430系列单片机为控制核心,能在现场实时地记录枪弹在供输弹过程中的加速度变化规律。测试结果能够为供弹阻力矩的分析、弹链结构的优化设计提供参改。 展开更多
关键词 仪器仪表技术 加速度测试 微型化 动态测试
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基于LVDS总线的分布式数据综合器测试系统 被引量:1
13
作者 刘欣 张会新 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第34期10354-10358,共5页
设计了一种基于LVDS(low-voltoge differential signaling,低电压差分信号)总线的分布式数据综合器的环境参数测试系统,以优化数据传输可靠性。重点研究了LVDS总线技术在环形网络拓扑结构中的应用,保证数据传输的高可靠性;同时提出了双... 设计了一种基于LVDS(low-voltoge differential signaling,低电压差分信号)总线的分布式数据综合器的环境参数测试系统,以优化数据传输可靠性。重点研究了LVDS总线技术在环形网络拓扑结构中的应用,保证数据传输的高可靠性;同时提出了双冗余LVDS的设计和差错编码控制,克服了单个节点对于环形网络的数据传输可靠性的瓶颈,大大提高了环形网络的数据传输可靠性。着重从数据综合器系统结构与逻辑划分,以及LVDS接口模块两方面进行研究设计。经大量测试表明该测试系统性能稳定,数据传输可靠,满足设计要求。 展开更多
关键词 LVDS 环形网络 冗余设计 数据传输 差错控制
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基于FPGA的CAN总线通信事务的现场测试系统设计 被引量:3
14
作者 王海瑞 翟成瑞 王红亮 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第30期9078-9082,9098,共6页
针对CAN总线网络中节点性能的测试应用,研究并设计了基于FPGA的CAN总线通信事务的现场测试系统;该系统可以针对不同属性的被测节点进行接口配置和波特率匹配,同时能够模拟CAN总线主节点;对从节点发送命令或数据,并能实时接收CAN总线上... 针对CAN总线网络中节点性能的测试应用,研究并设计了基于FPGA的CAN总线通信事务的现场测试系统;该系统可以针对不同属性的被测节点进行接口配置和波特率匹配,同时能够模拟CAN总线主节点;对从节点发送命令或数据,并能实时接收CAN总线上任意被测节点发送的数据。CAN测试节点采用单片机C8051F040内部集成的CAN控制器,单片机通过并行端口实现和FPGA的通信,FPGA通过USB接口实现与上位机之间的数据传输。实验表明,该系统实用性强、可靠性高,并已成功应用于某航天测试设备中。 展开更多
关键词 CAN总线 测试系统 FPGA C8051F040
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基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试 被引量:1
15
作者 郑世俊 谭秋林 +2 位作者 洪应平 李莹 熊继军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第6期81-83,87,共4页
氧化锆功能陶瓷因其稳定的物理特性、机械韧性和高温鲁棒性得到了广泛的应用。从非接触无源信号测试技术的基础研究出发,以LC无源谐振电路为技术背景,提出了采用氧化锆流延生带来实现MEMS压力微结构的设计方案,并通过利用陶瓷生片叠片... 氧化锆功能陶瓷因其稳定的物理特性、机械韧性和高温鲁棒性得到了广泛的应用。从非接触无源信号测试技术的基础研究出发,以LC无源谐振电路为技术背景,提出了采用氧化锆流延生带来实现MEMS压力微结构的设计方案,并通过利用陶瓷生片叠片工艺技术和厚膜印刷技术成功制备了压力传感器。根据电感耦合原理实现了传感器的非接触环境压力测试,通过在最大耦合距离为1 cm的条件下测试获得的压力传感器的灵敏度为7.5 MHz/bar。本传感器有效避免了微器件封装、引线外联的问题,从而为以后压力传感器应用在较高温度环境奠定基础。 展开更多
关键词 压力传感器 电感耦合 无线
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基于X9241的程控增益测试系统的设计 被引量:2
16
作者 孔陈杰 张彦军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第4期89-92,共4页
文中叙述了基于数字电位器X9241的程控增益测试系统的设计。将数字电位器X9241作为分压器,为放大器提供一定的正反馈,利用I2C总线的硬件,实现了X9241和C8051F单片机之间的通信,通过软件编程控制改变X9241的阻值,从而使增益也得到相应的... 文中叙述了基于数字电位器X9241的程控增益测试系统的设计。将数字电位器X9241作为分压器,为放大器提供一定的正反馈,利用I2C总线的硬件,实现了X9241和C8051F单片机之间的通信,通过软件编程控制改变X9241的阻值,从而使增益也得到相应的改变,得到高量程、高精度的放大器。信号经过放大滤波和单片机内部的A/D转换后,最后通过UART-USB桥接芯片将数据发送到PC机上,定性地测试分析其可靠性。 展开更多
关键词 数字电位器X9241 I2C总线 C8051F单片机 程控增益
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基于光纤Bragg光栅的古建筑结构健康监测技术研究 被引量:17
17
作者 任小芳 贾栋 +2 位作者 赵辉 王高 张志伟 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期34-38,共5页
古建筑具有极其宝贵的历史、文化、艺术和科学研究价值。通过基于3×3耦合器的M-Z干涉解调技术和Lab VIEW相结合的方法,设计了古建筑结构健康监测系统,实现了干涉仪信号的采集、处理、保存、波形显示和变化量的跟踪显示、频谱分析... 古建筑具有极其宝贵的历史、文化、艺术和科学研究价值。通过基于3×3耦合器的M-Z干涉解调技术和Lab VIEW相结合的方法,设计了古建筑结构健康监测系统,实现了干涉仪信号的采集、处理、保存、波形显示和变化量的跟踪显示、频谱分析、预警等功能,不仅能够避免光源强度与干涉条纹对比度变化对测量结果的影响,而且操作简单,设备成本低。设计了光纤光栅应变传感实验测试系统性能,结果表明相位变化与应变呈良好的线性关系,测量误差为1.4%。 展开更多
关键词 光纤光栅 结构健康监测 古建筑 LabVIEW 对称解调 M-Z干涉仪 应变
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基于K型热电偶的瞬态测温技术的研究 被引量:40
18
作者 吕鹏飞 裴东兴 沈大伟 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期775-780,共6页
针对导弹环境瞬态温度测试系统的特定要求及现有存储测试系统存在的测试精度低、可靠性差、成本高等问题,本文论证并设计了基于K型热电偶的动态存储测试系统。文章介绍了系统组成,并对测试系统的可行性进行了论证,提出了热电偶动静态校... 针对导弹环境瞬态温度测试系统的特定要求及现有存储测试系统存在的测试精度低、可靠性差、成本高等问题,本文论证并设计了基于K型热电偶的动态存储测试系统。文章介绍了系统组成,并对测试系统的可行性进行了论证,提出了热电偶动静态校准的关键技术。该技术为环境温度的测量提供了重要的保障,用实测的数据对系统进行动静态校准,分析得出相关结论。研究表明:该测试系统具有实际工程使用价值,可为分析导弹环境温度提供一种快速的、有效的、精确的测试手段。 展开更多
关键词 动态存储测试 瞬态测温 动静态校准 可行性 K型热电偶
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基于小尺寸Hopkinson杆的动态校准系统 被引量:7
19
作者 李婉蓉 范锦彪 +1 位作者 王燕 徐鹏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1617-1620,共4页
针对高g值高安装谐振频率加速度计动态校准过程中高g值窄脉冲加速度激励信号难以产生的难题,提出了基于小尺寸Hopkinson杆的动态校准系统。该系统采用压缩空气作为激励源,小尺寸精密校准杆作为加载装置来产生窄脉冲加速度激励信号,并通... 针对高g值高安装谐振频率加速度计动态校准过程中高g值窄脉冲加速度激励信号难以产生的难题,提出了基于小尺寸Hopkinson杆的动态校准系统。该系统采用压缩空气作为激励源,小尺寸精密校准杆作为加载装置来产生窄脉冲加速度激励信号,并通过轴向激光干涉仪进行激励信号的测量。且校准实验结果表明,该系统可以充分激起安装谐振频率为180kHz的高g值加速度计B&K 8309的高阶谐振频率,校准结果较为理想。 展开更多
关键词 测试计量技术及仪器 动态校准 窄脉冲激励 小尺寸Hopkinson杆 高安装谐振频率 高g值加速度计
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基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备 被引量:5
20
作者 李晨 熊继军 +3 位作者 谭秋林 康昊 葛斌儿 王伟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第6期95-97,共3页
因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用。为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备。传感... 因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用。为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备。传感器以LC谐振电路为基本工作原理,通过丝网印刷技术来实现电感、电容、导带等无源器件的安置,并且在空腔中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中空腔的坍塌,所制传感器避免了器件的封装,引线外连,为传感器工作于高温、高压、潮湿等恶劣环境中奠定基础。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 无线 电容式压力传感器 无源 高温
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