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电容式微机械陀螺品质因子测试方法研究
被引量：
6
1
作者
李锦明
张文栋
李林
《中北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
2006年第4期357-360,共4页
品质因子是判断微结构加工质量的重要标准,特别是经过真空封装的微机械结构,它的品质因子大小可从几百到几万,具有很大的散布范围,因此对真空封装微机械陀螺品质因子的测试就显得格外重要.本文详细阐述了电容式微机械陀螺品质因子测试...
品质因子是判断微结构加工质量的重要标准,特别是经过真空封装的微机械结构,它的品质因子大小可从几百到几万,具有很大的散布范围,因此对真空封装微机械陀螺品质因子的测试就显得格外重要.本文详细阐述了电容式微机械陀螺品质因子测试的基本原理,提出对静电激励-电容检测陀螺和机械激励-电容检测陀螺品质因子测试的具体方法,并对这两种方法的测试结果进行了对比分析.
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关键词
微机械陀螺
品质因子
静电激励-电容检测
机械激励-电容检测
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职称材料
题名
电容式微机械陀螺品质因子测试方法研究
被引量：
6
1
作者
李锦明
张文栋
李林
机构
中北大学教育部仪器科学与动态测试重点试验室电子与计算机科学技术学院
出处
《中北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
2006年第4期357-360,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50375050)
文摘
品质因子是判断微结构加工质量的重要标准,特别是经过真空封装的微机械结构,它的品质因子大小可从几百到几万,具有很大的散布范围,因此对真空封装微机械陀螺品质因子的测试就显得格外重要.本文详细阐述了电容式微机械陀螺品质因子测试的基本原理,提出对静电激励-电容检测陀螺和机械激励-电容检测陀螺品质因子测试的具体方法,并对这两种方法的测试结果进行了对比分析.
关键词
微机械陀螺
品质因子
静电激励-电容检测
机械激励-电容检测
Keywords
micromechanical gyroscope
quality factor
electrostatic exciting-capacitive detecting
mechanical exciting-capacitive detecting
分类号
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电容式微机械陀螺品质因子测试方法研究
李锦明
张文栋
李林
《中北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
2006
6
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