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高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
被引量：
6
1
作者
阮勇
肖倩
+5 位作者
韩玉宁
刘海龙
李嘉恒
吴宇
石萌
董和磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第2期1-5,10,共6页
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度...
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度数据采集系统,主控芯片采用STM32,数据采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,实现了对高温恶劣环境下温度数据的实时采集。结果表明:设计制备的NiCr/NiSi薄膜热电偶能够实现-40~1000℃温度区间稳定测温,高精度测温系统与标准温度测量系统相比误差优于±0.4%,为高温恶劣环境下温度测量提供了有效且可靠的解决方法。
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关键词
高温
高精度
薄膜热电偶
测温电路
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职称材料
题名
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
被引量：
6
1
作者
阮勇
肖倩
韩玉宁
刘海龙
李嘉恒
吴宇
石萌
董和磊
机构
清华
大学
精密仪器系
北京信息科技
大学
仪器科学与光电工程
学院
启元实验室
淄博高新技术产业开发区MEMS研究院
中北大学半导体与物理学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第2期1-5,10,共6页
基金
国家重点研发计划(2020YFB2009103)。
文摘
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度数据采集系统,主控芯片采用STM32,数据采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,实现了对高温恶劣环境下温度数据的实时采集。结果表明:设计制备的NiCr/NiSi薄膜热电偶能够实现-40~1000℃温度区间稳定测温,高精度测温系统与标准温度测量系统相比误差优于±0.4%,为高温恶劣环境下温度测量提供了有效且可靠的解决方法。
关键词
高温
高精度
薄膜热电偶
测温电路
Keywords
high temperature
high precision
thin film thermocouple
temperature measurement circuit
分类号
TH811 [机械工程—精密仪器及机械]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
阮勇
肖倩
韩玉宁
刘海龙
李嘉恒
吴宇
石萌
董和磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024
6
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