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硅微加速度计温度特性分析与误差补偿
被引量：
7
1
作者
王增跃
李孟委
刘国文
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第1期25-28,共4页
环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建立温度补偿模型，对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间，通过实验得到微加速度计的零偏...
环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建立温度补偿模型，对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间，通过实验得到微加速度计的零偏与标度因数，并采用线性拟合与Lorentz曲线拟合构建了温度补偿模型，后者使测量结果的稳定性精度提高了1个数量级，具有较好的实际应用价值。
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关键词
硅微加速度计
温度影响分析
Lorentz曲线
零偏
标度因数
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职称材料
题名
硅微加速度计温度特性分析与误差补偿
被引量：
7
1
作者
王增跃
李孟委
刘国文
机构
中北大学动态测试技术国家级重点实验室
北京航天控制仪器研究所
中北大学
微系统集成研究中心
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第1期25-28,共4页
基金
兵器预研支撑基金资助项目(622010750514/5)
武器装备预研基金资助项目(9140A20040514BQ04293
9140A20040515BQ04283)
文摘
环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建立温度补偿模型，对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间，通过实验得到微加速度计的零偏与标度因数，并采用线性拟合与Lorentz曲线拟合构建了温度补偿模型，后者使测量结果的稳定性精度提高了1个数量级，具有较好的实际应用价值。
关键词
硅微加速度计
温度影响分析
Lorentz曲线
零偏
标度因数
Keywords
silicon micro accelerometer
temperature effect analysis
Lorentz curve
zero-bias
scale factor
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微加速度计温度特性分析与误差补偿
王增跃
李孟委
刘国文
《传感器与微系统》
CSCD
2016
7
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