检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器被引量：8: 1; 作者李文豪贾平岗 +4 位作者王军薛波万顺侯凯耀熊继军《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期149-157,共9页; 基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对... 展开更多; 关键词光纤传感器法布里-珀罗微型化压力测量微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

十八烷基三氯硅烷涂层形貌表征及抗弛豫性能研究: 2; 作者刘晓雅贺欣欣 +1 位作者马东辉马宗敏《传感器与微系统》北大核心 2025年第8期23-26,31,共5页; 主要研究石英玻片和碱金属原子气室内十八烷基三氯硅烷(OTS)膜层的形貌与抗弛豫特性。采用原子力显微镜(AFM)和水接触角仪进行形貌表征分析,研究了H2O︰OTS及不同物质的量比(从4︰1至8︰1)条件下,浸没时间为60 min、OTS浓度为6 mmol/L时... 展开更多; 关键词原子力显微镜十八烷基三氯硅烷碱金属气室热稳定性抗弛豫特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于牺牲层工艺的CMUT阵列设计制造及性能表征被引量：1: 3; 作者梁永孟繁胜 +3 位作者王任鑫张国军贾利成张文栋《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第3期108-111,共4页; 电容式微机械超声换能器(CMUT)具备比压电式超声换能器微型化、高密度阵元集成、高机电耦合系数等优势,在医学成像、流量测量等领域展现出巨大的潜力。本文基于牺牲层释放工艺,设计并成功制造了高密度集成的微型CMUT阵元,在水中对其进... 展开更多; 关键词电容式微机械超声换能器牺牲层释放工艺线性度发射灵敏度指向性; 在线阅读下载PDF 职称材料

高过载小量程加速度计结构优化与特性分析被引量：3: 4; 作者刘思远苏淑靖许福佳《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期49-52,共4页; 在四边固支梁—质量块结构的基础上,优化设计了一种带有微梁的新型四边固支梁压阻式加速度计敏感芯片。通过在结构中引入微梁,有效解决了传统小量程加速度计固有频率与灵敏度相互制约的问题。利用有限元分析软件对优化后的结构进行分析... 展开更多; 关键词加速度计高过载小量程灵敏度固有频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器被引量：8: 1; 作者李文豪贾平岗王军薛波万顺侯凯耀熊继军; 机构中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期149-157,共9页; 基金国家自然科学基金(No.51935011) 国家科技重大专项(No.J2019‒V‒0015‒0110) 山西省科技创新人才团队专项资助(No.202204051001016)。; 文摘基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对传感器单元进行独立分离,使得单个传感器的整体外径仅为400μm,高度为220μm。在此基础上,搭建了信号解调实验平台,并对传感器的感压特性进行了详尽测试。测试结果显示,在0~50 kPa的压力范围内,传感器的压力灵敏度可达到18.5 nm/kPa,最大非线性度为0.47%,重复性为0.18%,迟滞为0.18%。此外,该传感器具有体积小、灵敏度高、电磁兼容、生物兼容以及稳定性强等优点,在生物医学和医疗领域具备巨大的商业转化价值。; 关键词光纤传感器法布里-珀罗微型化压力测量微机电系统; Keywords Fiber optic sensors Fabry-Perot Miniaturization Pressure measurement MEMS; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名十八烷基三氯硅烷涂层形貌表征及抗弛豫性能研究: 2; 作者刘晓雅贺欣欣马东辉马宗敏; 机构中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室; 出处《传感器与微系统》北大核心 2025年第8期23-26,31,共5页; 基金国家自然科学基金国际合作与交流项目(62220106012) 山西省杰出青年基金资助项目(202103021221007) +1 种基金国家重点研发计划项目(2022YFC2204104)。; 文摘主要研究石英玻片和碱金属原子气室内十八烷基三氯硅烷(OTS)膜层的形貌与抗弛豫特性。采用原子力显微镜(AFM)和水接触角仪进行形貌表征分析,研究了H2O︰OTS及不同物质的量比(从4︰1至8︰1)条件下,浸没时间为60 min、OTS浓度为6 mmol/L时OTS镀膜的疏水性和形貌变化。结果显示在所有物质的量比条件下,OTS镀膜均表现出良好的疏水性。根据热稳定性的研究结果,确定了最佳物质的量比为7︰1。利用自由感应衰减振荡方法测量了镀膜碱金属气室的弛豫时间温升变化。研究结果表明:在特定温度范围内(37~61℃),OTS镀膜的物质的量比为7︰1时,其团簇边缘清晰,具有更低的温度敏感度,同时能够产生更加均匀致密的镀膜结构,气室弛豫衰减规律较为统一且在该物质的量比下具有同批次最长弛豫时间。; 关键词原子力显微镜十八烷基三氯硅烷碱金属气室热稳定性抗弛豫特性; Keywords AFM OTS alkali metal vapor cell thermal stability anti-relaxation properties; 分类号 TQ630 [化学工程—精细化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于牺牲层工艺的CMUT阵列设计制造及性能表征被引量：1: 3; 作者梁永孟繁胜王任鑫张国军贾利成张文栋; 机构中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第3期108-111,共4页; 基金国家基金委重大科研仪器研制项目(61927807) 中国博士后科学基金资助项目(2023M733277) 山西省青年科学基金资助项目(202203021222025)。; 文摘电容式微机械超声换能器(CMUT)具备比压电式超声换能器微型化、高密度阵元集成、高机电耦合系数等优势,在医学成像、流量测量等领域展现出巨大的潜力。本文基于牺牲层释放工艺,设计并成功制造了高密度集成的微型CMUT阵元,在水中对其进行了性能测试和表征。实验结果显示,该换能器具有优异的发射线性度(非线性度为0.74%),以及良好的发射和接收灵敏度。此外,轴向声压衰减趋势符合负指数衰减规律,并且具备出色的指向性能(-6dB主瓣宽度为26°),同时旁瓣干扰极小。; 关键词电容式微机械超声换能器牺牲层释放工艺线性度发射灵敏度指向性; Keywords capacitive micromachined ultrasonic transducer(CMUT) sacrificial layer release technology linearity transmitting sensitivity directivity; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TB552 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高过载小量程加速度计结构优化与特性分析被引量：3: 4; 作者刘思远苏淑靖许福佳; 机构中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期49-52,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51875534) 创新研究群体科学基金资助项目(51821003)。; 文摘在四边固支梁—质量块结构的基础上,优化设计了一种带有微梁的新型四边固支梁压阻式加速度计敏感芯片。通过在结构中引入微梁,有效解决了传统小量程加速度计固有频率与灵敏度相互制约的问题。利用有限元分析软件对优化后的结构进行分析,得到结构的最大应力为2.6 MPa,固有频率为31 kHz,灵敏度为60.9μV/gn,抗过载为10000 gn。与传统高过载小量程加速度计相比较,有效地提高了加速度计的综合性能。; 关键词加速度计高过载小量程灵敏度固有频率; Keywords accelerometer high overload small range sensitivity natural frequency; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器	李文豪贾平岗王军薛波万顺侯凯耀熊继军	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	十八烷基三氯硅烷涂层形貌表征及抗弛豫性能研究	刘晓雅贺欣欣马东辉马宗敏	《传感器与微系统》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于牺牲层工艺的CMUT阵列设计制造及性能表征	梁永孟繁胜王任鑫张国军贾利成张文栋	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	高过载小量程加速度计结构优化与特性分析	刘思远苏淑靖许福佳	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料