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基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
1
作者
贺泽斌
陈昌
+4 位作者
杨君聖
杨秉林
王爽
李克武
吴倩楠
《应用光学》
北大核心
2025年第2期388-394,共7页
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏...
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏振分析装置,从而完成样品偏振图像测量。利用偏振图像融合技术将测量得到的图像进行融合,完成样品偏振图像特征提取,从而实现对集成电路芯片污染的缺陷检测。采用Op-Amp集成芯片对芯片的边缘和中心进行了测试实验。实验结果显示,本系统所测试的缺陷特征清晰、数量完整,能够提供重要依据,确保了集成电路芯片污染缺陷检测的准确性。
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关键词
短波红外
偏振成像
集成电路芯片
偏振图像融合
缺陷检测
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职称材料
基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
2
作者
徐浩东
金丽
+3 位作者
吴倩楠
王兵权
彭海峰
李孟委
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第12期83-86,共4页
提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提...
提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提升其线性工作范围,采用电磁驱动的方式进行闭环控制。采用通电导线在磁场中产生的安培力来平衡加速度计产生的惯性力,以达到闭环反馈控制,理论上可将加速度计的线性工作范围从0.83 gn提升至4.32 gn,提升近5倍左右。
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关键词
泰伯效应
加速度计
光栅
闭环控制
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职称材料
题名
基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
1
作者
贺泽斌
陈昌
杨君聖
杨秉林
王爽
李克武
吴倩楠
机构
中北大学
半导体与物理
学院
中北大学
电气与控制工程
学院
中北大学
前沿交叉科学研究院
中北大学仪器与智能省级未来技术学院
出处
《应用光学》
北大核心
2025年第2期388-394,共7页
基金
国家自然科学基金(62205310,62205309)。
文摘
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏振分析装置,从而完成样品偏振图像测量。利用偏振图像融合技术将测量得到的图像进行融合,完成样品偏振图像特征提取,从而实现对集成电路芯片污染的缺陷检测。采用Op-Amp集成芯片对芯片的边缘和中心进行了测试实验。实验结果显示,本系统所测试的缺陷特征清晰、数量完整,能够提供重要依据,确保了集成电路芯片污染缺陷检测的准确性。
关键词
短波红外
偏振成像
集成电路芯片
偏振图像融合
缺陷检测
Keywords
short-wave infrared
polarization imaging
integrated circuit chip
polarization image fusion
defect detection
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
2
作者
徐浩东
金丽
吴倩楠
王兵权
彭海峰
李孟委
机构
中北大学
前沿交叉科学研究院
中北大学
仪器与
电子
学院
中北大学仪器与智能省级未来技术学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第12期83-86,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(62005253)。
文摘
提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提升其线性工作范围,采用电磁驱动的方式进行闭环控制。采用通电导线在磁场中产生的安培力来平衡加速度计产生的惯性力,以达到闭环反馈控制,理论上可将加速度计的线性工作范围从0.83 gn提升至4.32 gn,提升近5倍左右。
关键词
泰伯效应
加速度计
光栅
闭环控制
Keywords
Talbot effect
accelerometer
grating
closed-loop control
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
贺泽斌
陈昌
杨君聖
杨秉林
王爽
李克武
吴倩楠
《应用光学》
北大核心
2025
0
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职称材料
2
基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
徐浩东
金丽
吴倩楠
王兵权
彭海峰
李孟委
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
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