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基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测: 1; 作者贺泽斌陈昌 +4 位作者杨君聖杨秉林王爽李克武吴倩楠《应用光学》北大核心 2025年第2期388-394,共7页; 针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏... 展开更多; 关键词短波红外偏振成像集成电路芯片偏振图像融合缺陷检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种基于S型电磁超材料的高温温度传感器设计被引量：1: 2; 作者张春丽吴倩楠 +2 位作者翟荣锭刘雁飞李孟委《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期389-395,共7页; 针对目前超材料温度传感器存在的量程小且灵敏度较低的问题,设计了一种碳氮化硅基的S型超材料的高温传感器。通过CST电磁仿真软件对超材料温度传感器进行模拟仿真,在其他结构参数一定的情况下,对金属条的长度、宽度、厚度、条间隙及基... 展开更多; 关键词温度传感器电磁超材料碳氮化硅 S型高温传感器高灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于锑化铟的印章型高灵敏度太赫兹超表面折射率传感器设计: 3; 作者李聪吴倩楠《传感技术学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期2023-2028,共6页; 对一种基于锑化铟材料的太赫兹超表面折射率传感器进行了理论研究和仿真验证。利用频域有限差分法对该反射器的反射性能进行研究和分析,通过优化材料厚度、刻蚀结构周期长度及宽度等,确定了可以同时提高灵敏度和反射率的特征尺寸并分析... 展开更多; 关键词生物传感器超表面频域有限差分法太赫兹高灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于石墨烯超材料的太赫兹五频段折射率传感器: 4; 作者贾以琳张春丽 +1 位作者刘雁飞吴倩楠《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期226-233,共8页; 针对目前太赫兹折射率传感器波段单一且灵敏度低的问题,提出一种基于石墨烯超材料的五频段折射率传感器。通过CST电磁仿真软件对传感器结构进行模拟仿真,确定了可以同时提高吸收率和灵敏度的特征尺寸。与传统超材料折射率传感器相比,通... 展开更多; 关键词折射率传感器太赫兹超材料石墨烯多波段; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制: 5; 作者徐浩东金丽 +3 位作者吴倩楠王兵权彭海峰李孟委《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第12期83-86,共4页; 提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提... 展开更多; 关键词泰伯效应加速度计光栅闭环控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测: 1; 作者贺泽斌陈昌杨君聖杨秉林王爽李克武吴倩楠; 机构中北大学半导体与物理学院中北大学电气与控制工程学院中北大学前沿交叉科学研究院中北大学仪器与智能省级未来技术学院; 出处《应用光学》北大核心 2025年第2期388-394,共7页; 基金国家自然科学基金(62205310,62205309)。; 文摘针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏振分析装置,从而完成样品偏振图像测量。利用偏振图像融合技术将测量得到的图像进行融合,完成样品偏振图像特征提取,从而实现对集成电路芯片污染的缺陷检测。采用Op-Amp集成芯片对芯片的边缘和中心进行了测试实验。实验结果显示,本系统所测试的缺陷特征清晰、数量完整,能够提供重要依据,确保了集成电路芯片污染缺陷检测的准确性。; 关键词短波红外偏振成像集成电路芯片偏振图像融合缺陷检测; Keywords short-wave infrared polarization imaging integrated circuit chip polarization image fusion defect detection; 分类号 TN206 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种基于S型电磁超材料的高温温度传感器设计被引量：1: 2; 作者张春丽吴倩楠翟荣锭刘雁飞李孟委; 机构中北大学半导体与物理学院中北大学前沿交叉科学研究院中北大学微系统集成研究中心中北大学仪器与智能未来技术学院中北大学仪器与电子学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期389-395,共7页; 基金山西省双一流人才计划建设项目(11012315) 山西省双一流学科建设国家一流课程建设项目(11013168) +1 种基金山西省双一流学科国家级未来技术学院建设项目(11013169)。; 文摘针对目前超材料温度传感器存在的量程小且灵敏度较低的问题,设计了一种碳氮化硅基的S型超材料的高温传感器。通过CST电磁仿真软件对超材料温度传感器进行模拟仿真,在其他结构参数一定的情况下,对金属条的长度、宽度、厚度、条间隙及基板厚度等参数进行了设计与优化,确定了传感器结构的最佳尺寸,同时分析了传感器的谐振频率对温度的影响。结果表明,在28℃~1000℃下平均灵敏度可达5.674 MHz/℃。与之前报道的高温传感器相比,灵敏度提高了5倍,这种高灵敏度温度传感器可为航空发动机、武器装备等系统中的高温测试提供一种技术手段。; 关键词温度传感器电磁超材料碳氮化硅 S型高温传感器高灵敏度; Keywords temperature sensor electromagnetic metamaterial silicon carbon nitride S-Type high temperature sensor high sensitivity; 分类号 O433 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于锑化铟的印章型高灵敏度太赫兹超表面折射率传感器设计: 3; 作者李聪吴倩楠; 机构中北大学半导体与物理学院中北大学仪器与智能未来技术学院中北大学前沿交叉科学研究院中北大学微系统集成研究中心; 出处《传感技术学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期2023-2028,共6页; 文摘对一种基于锑化铟材料的太赫兹超表面折射率传感器进行了理论研究和仿真验证。利用频域有限差分法对该反射器的反射性能进行研究和分析,通过优化材料厚度、刻蚀结构周期长度及宽度等,确定了可以同时提高灵敏度和反射率的特征尺寸并分析了透射和反射光谱。结果表明,该传感器在0~1.0 THz工作频段内的最大折射率灵敏度和品质因数分别为620 GHz/RIU和25.2,比传统的传感器灵敏度高三倍。这种折射率传感器设计可为蛋白质浓度、病毒、和癌细胞及其标记物等生物检测领域提供一种技术方法。; 关键词生物传感器超表面频域有限差分法太赫兹高灵敏度; Keywords biosensor metasurface frequency domain finite-difference method terahertz high sensitivity; 分类号 O433 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于石墨烯超材料的太赫兹五频段折射率传感器: 4; 作者贾以琳张春丽刘雁飞吴倩楠; 机构中北大学半导体与物理学院中北大学前沿交叉科学研究院中北大学微系统集成研究中心中北大学仪器与智能未来技术学院; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期226-233,共8页; 文摘针对目前太赫兹折射率传感器波段单一且灵敏度低的问题,提出一种基于石墨烯超材料的五频段折射率传感器。通过CST电磁仿真软件对传感器结构进行模拟仿真,确定了可以同时提高吸收率和灵敏度的特征尺寸。与传统超材料折射率传感器相比,通过调整石墨烯层的化学势和弛豫时间即可实现石墨烯吸收体的可调谐性。仿真结果表明,该折射率传感器在频率为4.535、6.3681、8.253、10.395和11.321 THz时达到折射率吸收峰值,吸收率分别为92.2%、99.5%、99.9%、90%和99.1%,且5个波段中最高折射率灵敏度为436 GHz/RIU。与其他折射率传感器相比,该折射率传感器波段多且灵敏度高,具有良好的传感性能,可应用于光学检测、医学成像、生物传感等领域。; 关键词折射率传感器太赫兹超材料石墨烯多波段; Keywords refractive index sensor terahertz metamaterial graphene multi-band; 分类号 TP212.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制: 5; 作者徐浩东金丽吴倩楠王兵权彭海峰李孟委; 机构中北大学前沿交叉科学研究院中北大学仪器与电子学院中北大学仪器与智能省级未来技术学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第12期83-86,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(62005253)。; 文摘提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提升其线性工作范围,采用电磁驱动的方式进行闭环控制。采用通电导线在磁场中产生的安培力来平衡加速度计产生的惯性力,以达到闭环反馈控制,理论上可将加速度计的线性工作范围从0.83 gn提升至4.32 gn,提升近5倍左右。; 关键词泰伯效应加速度计光栅闭环控制; Keywords Talbot effect accelerometer grating closed-loop control; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测	贺泽斌陈昌杨君聖杨秉林王爽李克武吴倩楠	《应用光学》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种基于S型电磁超材料的高温温度传感器设计	张春丽吴倩楠翟荣锭刘雁飞李孟委	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于锑化铟的印章型高灵敏度太赫兹超表面折射率传感器设计	李聪吴倩楠	《传感技术学报》 CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于石墨烯超材料的太赫兹五频段折射率传感器	贾以琳张春丽刘雁飞吴倩楠	《半导体技术》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制	徐浩东金丽吴倩楠王兵权彭海峰李孟委	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料