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基于3D叠层微线圈的全柔性膜-岛结构电磁振动传感器
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作者 赵东阳 张晓龙 +1 位作者 张婕 何剑 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第5期99-102,共4页
柔性振动传感器在机械结构监测、机器振动及人体运动监测等领域应用广泛。柔性电磁传感器因受限的磁场及线圈匝数而输出性能较低。研制了一种基于3D叠层微线圈的全柔性膜-岛结构电磁振动传感器。通过引入磁性膜-岛结构集中通过线圈的磁... 柔性振动传感器在机械结构监测、机器振动及人体运动监测等领域应用广泛。柔性电磁传感器因受限的磁场及线圈匝数而输出性能较低。研制了一种基于3D叠层微线圈的全柔性膜-岛结构电磁振动传感器。通过引入磁性膜-岛结构集中通过线圈的磁场,传感器输出电压增加了1.6倍。柔性线圈的多层堆叠设计使传感器输出增加了2.4倍。该全柔性电磁振动传感器能够响应频率为3~16 Hz的振动。当频率为3 Hz时,传感器输出电压灵敏度为0.0490 mV/(m/s^(2))。此外,该全柔性电磁振动传感器能够监测人体的不同运动,包括走路、跳跃及跑步。该研究为可穿戴人体智能感知领域提供了广阔的应用前景。 展开更多
关键词 柔性 电磁感应 振动传感器 3D叠层线圈 膜-岛结构 人体运动监测
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