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显微激光诱导电流技术研究进展
被引量：
1
1
作者
吕磊
苏丹
+4 位作者
杨毅
王善江
周桓立
刘肇国
张彤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第12期201-212,共12页
随着光电器件的研究步入微米/纳米尺度,显微激光诱导电流(LBIC)技术作为一种半导体器件的无损、快速、可成像的表征技术得到迅速发展。显微LBIC技术可表征局域光照激励下器件的光电转换性能,起初被用于检测器件中的不均匀性或缺陷。近年...
随着光电器件的研究步入微米/纳米尺度,显微激光诱导电流(LBIC)技术作为一种半导体器件的无损、快速、可成像的表征技术得到迅速发展。显微LBIC技术可表征局域光照激励下器件的光电转换性能,起初被用于检测器件中的不均匀性或缺陷。近年来,将显微LBIC技术与其他显微成像技术相关联,进行器件多物理参量的综合表征,为研究微纳尺度上的材料-结构-器件性能关系提供了有效手段。基于这一表征手段的进步,光伏器件中微观晶体结构与性能的关系研究、全新机理的低维光伏/探测器件研究、以及微纳结构的光伏/探测增强研究等均得到了蓬勃发展。文中综述了显微LBIC技术的研究进展,首先介绍显微LBIC的基本模型及分类,随后聚焦于LBIC与其他多种显微成像的关联表征技术,并探讨该类技术在光伏器件和光电探测器件研究方面的应用。最后展望了显微LBIC及其关联成像技术的未来发展方向。
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关键词
激光诱导电流
微纳结构
光伏器件
光电探测器件
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职称材料
基于Si_(3)N_(4)和LRSPP的温度不敏感波导
2
作者
薛小枚
秦妍妍
+1 位作者
李悦
张彤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第9期253-261,共9页
光子集成芯片将多种功能器件进行片上集成,具有损耗低、带宽大、抗电磁干扰等优势,是当前光电领域发展的主流方向。集成光学器件的温度稳定性是影响其光学性能的重要因素之一。为了提高集成光学器件温度稳定性,提出了基于氮化硅(Si_(3)N...
光子集成芯片将多种功能器件进行片上集成,具有损耗低、带宽大、抗电磁干扰等优势,是当前光电领域发展的主流方向。集成光学器件的温度稳定性是影响其光学性能的重要因素之一。为了提高集成光学器件温度稳定性,提出了基于氮化硅(Si_(3)N_(4))和长程表面等离激元(Long-Range Surface Plasmon Polariton,LRSPP)波导的温度不敏感结构,对器件性能随温度的漂移进行抑制和补偿。首先,分析了Si_(3)N_(4)波导和LRSPP波导对接的模式耦合效率,当满足最佳匹配条件时,可实现耦合效率99.9%以上的高效耦合。对混合波导的温度特性进行了分析,结果表明,当LRSPP波导和Si_(3)N_(4)波导的最佳长度比为0.077,相位不随温度的变化而发生漂移,实现了温度不敏感的波导。当波导不能满足最佳长度比时,对LRSPP波导芯层施加电压实现主动补偿,亦可实现温度不敏感。此外,对LRSPP波导的传输特性进行了测试,测得偏振消光比为64 dB,具有良好的单偏振特性。文中提出的温度不敏感结构具有可主动调谐、损耗低、单偏振、普适性高等优点,能有效地解决Si_(3)N_(4)波导性能随温度变化发生漂移的问题,在Si_(3)N_(4)基光子集成芯片中具有广泛的应用前景。
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关键词
光子集成芯片
温度不敏感
相位调谐
氮化硅
表面等离激元
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职称材料
题名
显微激光诱导电流技术研究进展
被引量：
1
1
作者
吕磊
苏丹
杨毅
王善江
周桓立
刘肇国
张彤
机构
东南大学
电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作
实验室
东南大学
仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航
技术
教育部
重点
实验室
东南大学苏州校区苏州市金属纳米光电技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第12期201-212,共12页
基金
国家自然科学基金面上项目(61875241)
国家重点研发计划(2017YFA0205804)
微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室基金(614280304011901)。
文摘
随着光电器件的研究步入微米/纳米尺度,显微激光诱导电流(LBIC)技术作为一种半导体器件的无损、快速、可成像的表征技术得到迅速发展。显微LBIC技术可表征局域光照激励下器件的光电转换性能,起初被用于检测器件中的不均匀性或缺陷。近年来,将显微LBIC技术与其他显微成像技术相关联,进行器件多物理参量的综合表征,为研究微纳尺度上的材料-结构-器件性能关系提供了有效手段。基于这一表征手段的进步,光伏器件中微观晶体结构与性能的关系研究、全新机理的低维光伏/探测器件研究、以及微纳结构的光伏/探测增强研究等均得到了蓬勃发展。文中综述了显微LBIC技术的研究进展,首先介绍显微LBIC的基本模型及分类,随后聚焦于LBIC与其他多种显微成像的关联表征技术,并探讨该类技术在光伏器件和光电探测器件研究方面的应用。最后展望了显微LBIC及其关联成像技术的未来发展方向。
关键词
激光诱导电流
微纳结构
光伏器件
光电探测器件
Keywords
laser-beam-induced current
micro/nano structure
photovoltaic device
photodetector
分类号
TN26 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于Si_(3)N_(4)和LRSPP的温度不敏感波导
2
作者
薛小枚
秦妍妍
李悦
张彤
机构
东南大学
仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航教育部
重点
实验室
东南大学苏州校区苏州市金属纳米光电技术重点实验室
东南大学
电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作联合
实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第9期253-261,共9页
基金
国家自然科学基金项目(62275047)
中国博士后科学基金项目(2022M710672)
江苏省自然科学基金项目(BK20220816)。
文摘
光子集成芯片将多种功能器件进行片上集成,具有损耗低、带宽大、抗电磁干扰等优势,是当前光电领域发展的主流方向。集成光学器件的温度稳定性是影响其光学性能的重要因素之一。为了提高集成光学器件温度稳定性,提出了基于氮化硅(Si_(3)N_(4))和长程表面等离激元(Long-Range Surface Plasmon Polariton,LRSPP)波导的温度不敏感结构,对器件性能随温度的漂移进行抑制和补偿。首先,分析了Si_(3)N_(4)波导和LRSPP波导对接的模式耦合效率,当满足最佳匹配条件时,可实现耦合效率99.9%以上的高效耦合。对混合波导的温度特性进行了分析,结果表明,当LRSPP波导和Si_(3)N_(4)波导的最佳长度比为0.077,相位不随温度的变化而发生漂移,实现了温度不敏感的波导。当波导不能满足最佳长度比时,对LRSPP波导芯层施加电压实现主动补偿,亦可实现温度不敏感。此外,对LRSPP波导的传输特性进行了测试,测得偏振消光比为64 dB,具有良好的单偏振特性。文中提出的温度不敏感结构具有可主动调谐、损耗低、单偏振、普适性高等优点,能有效地解决Si_(3)N_(4)波导性能随温度变化发生漂移的问题,在Si_(3)N_(4)基光子集成芯片中具有广泛的应用前景。
关键词
光子集成芯片
温度不敏感
相位调谐
氮化硅
表面等离激元
Keywords
photonic integrated circuits
temperature insensitive
phase tuning
silicon nitride
surface plasmon polariton
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
显微激光诱导电流技术研究进展
吕磊
苏丹
杨毅
王善江
周桓立
刘肇国
张彤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于Si_(3)N_(4)和LRSPP的温度不敏感波导
薛小枚
秦妍妍
李悦
张彤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
已选择
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