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颈部材料对亥姆霍兹共振器吸声性能的影响被引量：6: 1; 作者陈明李鹏罗斌《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第8期127-130,共4页; 为改善亥姆霍兹共振器的吸声系数和吸声带宽,采用不同参数的穿孔材料优化共振器吸声效果。鉴于多孔传声过程较为复杂,利用平行穿孔板对声阻抗进行研究,建立颈部入口声阻抗计算模型。搭建管道声学实验台,在声学管道上游布置扬声器,在管... 展开更多; 关键词亥姆霍兹共振器穿孔板颈部材料吸声; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计被引量：3: 2; 作者秦明黄庆安《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期569-571,共3页; 提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计 .该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造 ,工艺与CMOS兼容 .对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现 ,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加 ,显示... 展开更多; 关键词 CMOS兼容热风速计横向多晶硅二极管风速风向结构制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种可用于雨量测量的压力传感器被引量：2: 3; 作者余辉洋顾兴莲秦明《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期522-526,共5页; 设计了一种可用于测雨压的压力传感器,给出了传感器结构及其微加工流程.传感器由3×3的压敏电容阵列组成,压敏电容将压力信号转换成电容信号,通过检测雨水冲击作用间接测量雨量的大小.基于弹性力学理论建立了传感器的力学模型,并与A... 展开更多; 关键词 MEMS 电容雨量传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法被引量：1: 4; 作者张涵李伟华《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期750-754,共5页; 从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分析和共性补偿方法为依据,确定了(110)衬底表面特征晶向的平面关系,将所选70℃30%(质量分数)的KOH... 展开更多; 关键词 (110)衬底凸角补偿拓扑结构通用方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名颈部材料对亥姆霍兹共振器吸声性能的影响被引量：6: 1; 作者陈明李鹏罗斌; 机构贵州工业职业技术学院东南大学微电子机械系统教育部重点实验室; 出处《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第8期127-130,共4页; 基金国家自然科学基金项目(51577029) 中央高校基本业务科研专项经费资助项目(2013XS038); 文摘为改善亥姆霍兹共振器的吸声系数和吸声带宽,采用不同参数的穿孔材料优化共振器吸声效果。鉴于多孔传声过程较为复杂,利用平行穿孔板对声阻抗进行研究,建立颈部入口声阻抗计算模型。搭建管道声学实验台,在声学管道上游布置扬声器,在管道下游布置亥姆霍兹共振器。测量不同颈部材料下的静流阻率和吸声系数,计算共振器颈部入口声阻抗。研究表明:颈部材料中的管流效应不可忽略,穿孔率对静流阻率的影响很大,平均流速相同时,孔径越大,静流阻率越小;大孔径穿孔板具有明显优势,因此设计亥姆霍兹共振器时穿孔板孔径应大于4 mm。; 关键词亥姆霍兹共振器穿孔板颈部材料吸声; Keywords Helmholtz resonator perforation plate neck materials sound absorption; 分类号 TU552 [建筑科学—建筑技术科学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计被引量：3: 2; 作者秦明黄庆安; 机构东南大学微电子机械系统教育部重点实验室; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期569-571,共3页; 基金江苏省高新技术资助项目 (BG2 0 0 10 3 5 ); 文摘提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计 .该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造 ,工艺与CMOS兼容 .对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现 ,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加 ,显示该多晶硅二极管具有负的电压温度系数 .其值约为 - 1 .8mV/K ,非常接近单晶硅上PN结的电压温度系数 - 2mV/K .采用CMOS工艺试制了由 8个横向多晶硅二极管组成的风速计结构。; 关键词 CMOS兼容热风速计横向多晶硅二极管风速风向结构制备; Keywords Anemometers CMOS integrated circuits Polysilicon Temperature Wind; 分类号 TH765.4 [机械工程—精密仪器及机械] TN37 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种可用于雨量测量的压力传感器被引量：2: 3; 作者余辉洋顾兴莲秦明; 机构东南大学微电子机械系统教育部重点实验室; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期522-526,共5页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z306); 文摘设计了一种可用于测雨压的压力传感器,给出了传感器结构及其微加工流程.传感器由3×3的压敏电容阵列组成,压敏电容将压力信号转换成电容信号,通过检测雨水冲击作用间接测量雨量的大小.基于弹性力学理论建立了传感器的力学模型,并与ANSYS有限元分析软件进行比较,结果表明理论模型具有较好的精度.介绍了传感器制作的微加工工艺流程并采用硅橡胶对传感器进行防水密封封装,并给出了制作完成后传感器的测试结果,从测试结果可以看出该雨量传感器的灵敏度可以达到2.255 7fF/Pa.; 关键词 MEMS 电容雨量传感器; Keywords micro electro mechanical system capacitive rain sensor; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法被引量：1: 4; 作者张涵李伟华; 机构东南大学微电子机械系统教育部重点实验室; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期750-754,共5页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z342); 文摘从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分析和共性补偿方法为依据,确定了(110)衬底表面特征晶向的平面关系,将所选70℃30%(质量分数)的KOH腐蚀液条件下的特征晶面(111)、(311)以及与衬底同簇的(110)晶面与衬底相交,得到平面特征晶向,从而构建补偿图形的拓扑框架,最终选择拓扑框架中的部分晶向构成具体的补偿图形.利用各向异性三维仿真软件对由该方法设计得到的补偿结果进行验证,模拟结果与设计预期相一致,充分证实了该设计方法的正确可行.; 关键词 (110)衬底凸角补偿拓扑结构通用方法; Keywords （110） substrate convex corner compensation topological field general method; 分类号 TP510.10 [自动化与计算机技术] TP510.30 [自动化与计算机技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	颈部材料对亥姆霍兹共振器吸声性能的影响	陈明李鹏罗斌	《中国测试》 CAS 北大核心	2016	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计	秦明黄庆安	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种可用于雨量测量的压力传感器	余辉洋顾兴莲秦明	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法	张涵李伟华	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料