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题名系统级模拟的MEMS器件宏模型
被引量：6
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作者
戎华
黄庆安
李伟华
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机构
东南大学微电子中心mems教育部重点实验室
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期366-371,共6页
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文摘
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。
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关键词
MEMS器件
系统级模拟
等效电路宏模型
硬件描述语言宏模型
微机电系统
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Keywords
System level simulation,Equivalent circuit macromodels,HDL macromodels
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分类号
TH－39
[机械工程]
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名MEMS器件IP库及系统应用
被引量：6
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作者
殷刚毅
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机构
东南大学微电子中心mems教育部重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期886-889,共4页
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文摘
针对目前MEMS设计方法中系统分析不完善的现状,提出了将IP库单元应用于系统分析的方法。本文描述了已建立的MEMS微传感器件IP库单元的原型及库单元的结构和关键参数。以梳状微机械谐振器为例,使用SPICE语言调用已建立的IP库单元进行模拟分析,实现了MEMS器件和电路的系统模拟。
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关键词
VIEMS器件
系统分析
IP库
SPICE
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Keywords
MEMS device
the systematic analysis
IP library
SPICE
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分类号
TN401
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名MEMS器件自动优化算法
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作者
赖文滨
李伟华
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机构
东南大学微电子中心mems教育部重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1372-1375,共4页
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基金
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
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文摘
研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.
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关键词
MEMS器件
自动优化算法
结构参数
悬臂梁
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Keywords
MEMS devices
algorithms of automatic optimization
structural parameters
cantilever beam
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析
被引量：1
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作者
张昭勇
秦明
黄庆安
朱昊
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机构
东南大学微电子中心mems教育部重点实验室
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期189-191,共3页
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基金
教育部跨世纪优秀人才培养计划基金
江苏省高新技术项目 (No BG2 0 0 1 0 35)
863项目 (No 2 0 0 2AA40 4 540 )
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文摘
本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场 .并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响 .将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合 .利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 。
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关键词
有限元分析
热模拟
计算流体动力学
气体流量传感器
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Keywords
Computational fluid dynamics
Finite element method
Temperature distribution
Thermal effects
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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