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微电子专业生产实习课程的改革与实践 被引量:12
1
作者 樊路嘉 陈德英 《实验室研究与探索》 CAS 2002年第5期138-140,共3页
介绍了重点工科高校电子类本科生生产实习课程的改革与实践所取得的一些成绩和经验。
关键词 微电子专业 生产实践课程 教学改革 素质教育 流水实验 高等教育
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真空微电子学的研究与发展 被引量:5
2
作者 黄庆安 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第10期134-138,133,共6页
本文系统介绍了近年来真空微电子学的研究内容、达到的水平和亟待解决的问题:包括真空微电子器件的基本结构、场发射阵列、微尖结构物理、新材料和新器件的探索以及真空微电子学的主要应用。
关键词 真空微电子学 场发射 场发射阵列 平板显示
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微电子技术中常用材料的机械性能
3
作者 黄金彪 茅盘松 《传感器技术》 CSCD 1992年第5期45-46,共2页
硅材料是微电子技术的基础材料,近十年来,硅又作为一种机械材料广泛应用于微传感器和微执行器领域。目前已用硅材料(包括多晶硅)研制成了各种微压力传感器、微结构、微夹子、微静电马达、微轴承等。除了在微传感器中的应用之外。
关键词 微电子技术 材料机械性能
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微电子应用:中国硅工业腾飞之关键
4
作者 许居衍 郑茳 《中国科技论坛》 CSSCI 北大核心 1994年第6期13-15,共3页
微电子应用:中国硅工业腾飞之关键许居衍(中国华晶电子集团公司)郑茳(东南大学微电子中心)微电子技术(简称硅技术)是国民经济的倍增器,高新技术的驱动器和国家安全的稳定器,必须给予高度重视,力争从各个方面促进微电子工业(... 微电子应用:中国硅工业腾飞之关键许居衍(中国华晶电子集团公司)郑茳(东南大学微电子中心)微电子技术(简称硅技术)是国民经济的倍增器,高新技术的驱动器和国家安全的稳定器,必须给予高度重视,力争从各个方面促进微电子工业(即硅工业)的健康发展。这里针对硅工... 展开更多
关键词 微电子技术 硅工业 硅技术
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一种新型的微机械电子隧穿加速度计 被引量:3
5
作者 杨拥军 李立杰 +3 位作者 徐永青 赵彦军 梁春广 魏同立 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 2000年第6期23-27,共5页
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 ... 介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 1 0 -6 gHz ,抗冲击能力达到 5 0g . 展开更多
关键词 加速度计 电子隧穿 微机械 反馈回路 振荡器 解调器
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电解液-Si_3N_4绝缘体界面表面基/复合中心模型的研究 被引量:1
6
作者 牛蒙年 丁辛芳 童勤义 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第11期38-42,共5页
本文在表面基模型基础上,借用半导体物理中复合/产生概念,提出表面基/复合中心模型,并研究了含两种类型表面基的Si3N4绝缘体及其两种表面基(硅醇基和胺基)的比率对Si3N4栅pH-ISFET敏感性能和稳定性的影响,其... 本文在表面基模型基础上,借用半导体物理中复合/产生概念,提出表面基/复合中心模型,并研究了含两种类型表面基的Si3N4绝缘体及其两种表面基(硅醇基和胺基)的比率对Si3N4栅pH-ISFET敏感性能和稳定性的影响,其结果与实验结果相符。对改善pH-ISFET传感器的敏感特性具有实际指导意义。 展开更多
关键词 表面基模型 复合中心理论 半导体物理 传感器
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电子陷阱的雪崩注入测量方法
7
作者 蔡跃明 吕世骥 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第6期32-34,共3页
本文从俘获动力学出发,推导了荷电陷阱引起的平带电压变化量随时间变化的一般形式,并对SiO_2膜中的电子陷阱密度、能级和俘获截面进行了测量.结果表明测量陷阱密度时不能忽略激发因素的影响.
关键词 电子陷阱 雪崩注入 测量
全文增补中
数字图像离散小波变换的原理与硬件实现分析 被引量:9
8
作者 孟军 魏同立 +1 位作者 吴金 常昌远 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期842-847,共6页
针对日益进步的图像变换编码技术 ,对目前已经纳入MPEG 4和JPEG2 0 0 0编码标准的采用离散小波变换进行数字图像编码的原理与硬件实现进行了综述介绍 .在分析小波变换快速算法的基础上 ,重点讨论了近 1 0年来所提出的各种离散小波变换... 针对日益进步的图像变换编码技术 ,对目前已经纳入MPEG 4和JPEG2 0 0 0编码标准的采用离散小波变换进行数字图像编码的原理与硬件实现进行了综述介绍 .在分析小波变换快速算法的基础上 ,重点讨论了近 1 0年来所提出的各种离散小波变换硬件实现的典型结构 ,在硬件资源与处理速度两个方面进行了比较 .对于变换后的系数量化 ,总结了几种基于嵌入式零树小波编码的算法 ,比较其峰值信噪比和编码时间 .相较于离散余弦变换进行图像编码 ,采用离散小波变换在压缩效率。 展开更多
关键词 原理 硬件实现 图像编码 离散小波变换 量化 数字图像处理
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宽带单片低噪声放大器 被引量:11
9
作者 彭龙新 林金庭 魏同立 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1933-1936,F003,共5页
由电路和噪声基本定义出发 ,导出了二端口网络的噪声相关矩阵的转移表示式和导纳表示式 .并推导了两个二端口网络的级联和并联后的噪声相关矩阵 .然后在此基础上得出了并联反馈放大器的噪声参数 (Rn,NFmin和Yopt)和其S参数表达式 .由此... 由电路和噪声基本定义出发 ,导出了二端口网络的噪声相关矩阵的转移表示式和导纳表示式 .并推导了两个二端口网络的级联和并联后的噪声相关矩阵 .然后在此基础上得出了并联反馈放大器的噪声参数 (Rn,NFmin和Yopt)和其S参数表达式 .由此设计和制造了 1~ 7GHz两级单片低噪声放大器 .在工作频率 1~ 7GHz内 ,测得增益G >2 0dB ,带内增益波动ΔG≤± 0 75dB ,噪声系数NF≤ 2 5dB ,输入输出驻波VSWR≤ 2 0 ,1分贝压缩点输出功率P1dB≥15dBm . 展开更多
关键词 噪声相关矩阵 噪声参数 反馈放大器 微波单片集成电路 宽带
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溅射法制备InSb薄膜工艺探索——In与Sb的原子比问题 被引量:4
10
作者 温作晓 孙承松 +2 位作者 魏永广 关艳霞 周立军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第7期35-36,共2页
介绍一种基于原子比为 1:1的InSb靶制备原子比为 1:1的InSb薄膜的方法 ,实验结果表明 。
关键词 溅射 INSB薄膜 原子比 磁敏元件 磁敏传感器
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脉搏波的函数叠加逼近分析方法的研究 被引量:14
11
作者 常昌远 骆璇 +1 位作者 缪炳友 魏同立 《应用科学学报》 CAS CSCD 2000年第2期135-138,共4页
研究了脉搏波的形成机理 ,并根据波形变化规律 ,采用函数叠加逼近方法对其进行了分析 ,得到了脉搏波的特征参量 .初步临床应用表明 ,该方法物理概念清晰、直观。
关键词 脉搏波 函数叠加逼近 动脉硬化 心血管疾病 脉诊
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硅片直接键合机理及快速热键合工艺 被引量:8
12
作者 童勤义 徐晓莉 +1 位作者 沈华 张会珍 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期27-33,共7页
本文的理论与实验结果说明,硅片表面吸附的OH团是室温下硅片相互吸引的主要根源。采用SIMS和红外透射谱定量测量了OH吸附量。开发了表面活化技术。发现键合强度随温度而增大是键合面积增加所致。SiO_2/SiO_2键合之界面中各种物质的扩散... 本文的理论与实验结果说明,硅片表面吸附的OH团是室温下硅片相互吸引的主要根源。采用SIMS和红外透射谱定量测量了OH吸附量。开发了表面活化技术。发现键合强度随温度而增大是键合面积增加所致。SiO_2/SiO_2键合之界面中各种物质的扩散及氧化层粘滞流动可以消除界面微观间隙。经表面活化的两硅片经室温贴合,150℃预键合,800℃,2小时退火后经1200℃,2分钟快速热键合可实现完善的键合且原有杂质分布改变很小,为减薄工艺提供了一个技术基础。 展开更多
关键词 硅片 键合 热键合 减薄 工艺
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S波段单片低噪声放大器 被引量:3
13
作者 彭龙新 李建平 +1 位作者 蒋幼泉 魏同立 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期5-9,共5页
S波段单片低噪声放大器采用了 0 5 μm3英寸 ( 76.2mm)砷化镓赝配高电子迁移率晶体管工艺 ,由三级自偏电路构成 ,单电源 ( + 5V)供电 .对 3英寸圆片上的放大器芯片进行直流测试后 ,随机抽取一定数量的样品装架测量 ,并对放大器进行... S波段单片低噪声放大器采用了 0 5 μm3英寸 ( 76.2mm)砷化镓赝配高电子迁移率晶体管工艺 ,由三级自偏电路构成 ,单电源 ( + 5V)供电 .对 3英寸圆片上的放大器芯片进行直流测试后 ,随机抽取一定数量的样品装架测量 ,并对放大器进行了增益和相位的统计 .统计表明 :在S波段带宽 30 0MHz范围内 ,增益在 2 4 5~ 2 6dB范围内 ,相位线性度小于 1°,相位偏差± 7°,噪声系数最大 1 4dB ,输入输出驻波最大 1 4,1dB压缩输出功率大于 1 0 5dBm .另外 ,还对放大器进行了高温。 展开更多
关键词 赝配高电子迁移率晶体管 微波单片集成电路 单片低噪声放大器 静电
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空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响 被引量:3
14
作者 章彬 刘清惓 黄庆安 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期827-830,共4页
振动方向平行于衬底的梳状微谐振器的品质因子在高真空下可以高达 10 5以上 .常压下 ,受空气阻尼影响 ,品质因子跌落到 10 2 左右甚至更小 .为了设计时能对谐振器的品质因子有一个较为精确的估计 ,本文首先利用纳维尔 斯托克斯近似方法... 振动方向平行于衬底的梳状微谐振器的品质因子在高真空下可以高达 10 5以上 .常压下 ,受空气阻尼影响 ,品质因子跌落到 10 2 左右甚至更小 .为了设计时能对谐振器的品质因子有一个较为精确的估计 ,本文首先利用纳维尔 斯托克斯近似方法和库特近似方法对常压下的横向振动谐振器的阻尼功耗进行了估算 .同时谐振器作为电路元件 ,阻尼等效于电路中的电阻 ,直接影响器件的传输函数 ,因此本文又建立了该种谐振器的集总参数网络 ,研究了阻尼对传输函数影响。其结果对横向振动微谐振器的设计有一定意义 . 展开更多
关键词 空气阻尼 微谐振器 品质因子 传输函数 功耗 粘滞阻尼
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MEMS的设计方法与系统模拟 被引量:10
15
作者 孟为民 李伟华 黄庆安 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第10期57-60,共4页
随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模... 随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。 展开更多
关键词 微电子机械系统 结构化设计 系统模拟
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低电压低功耗带通Sigma Delta调制器的设计 被引量:3
16
作者 程剑平 朱卓娅 魏同立 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期2051-2055,共5页
本文设计了一种符合双标准接收机要求的一位四阶带通调制器.为了实现低电压低功耗设计的要求,改进了调制器结构,并进行了从系统到电路模块的优化.采用0.35μm CMOS工艺,Hspice和Matlab联合模拟表明:在2V电源电压下,调制器在GSM和WCDMA... 本文设计了一种符合双标准接收机要求的一位四阶带通调制器.为了实现低电压低功耗设计的要求,改进了调制器结构,并进行了从系统到电路模块的优化.采用0.35μm CMOS工艺,Hspice和Matlab联合模拟表明:在2V电源电压下,调制器在GSM和WCDMA系统中的DR分别为86dB和36dB,而功耗仅为10.5mW和12mW. 展开更多
关键词 带通∑Δ调制 低功耗 低电压运放 自举开关
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系统级模拟的MEMS器件宏模型 被引量:6
17
作者 戎华 黄庆安 李伟华 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期366-371,共6页
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等... MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。 展开更多
关键词 MEMS器件 系统级模拟 等效电路宏模型 硬件描述语言宏模型 微机电系统
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微波电路的MEMS开关进展 被引量:12
18
作者 郑惟彬 黄庆安 李拂晓 《微波学报》 CSCD 北大核心 2001年第3期87-93,共7页
开关是微波信号变换的关键元件。和传统的半导体开关相比 ,射频微机电系统 (RFMEMS)开关具有优良的高频特性和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点 ,而且其制作工艺和传统的 CMOS工艺相兼容。本文较为详细地论述了串联悬臂梁开关、并联... 开关是微波信号变换的关键元件。和传统的半导体开关相比 ,射频微机电系统 (RFMEMS)开关具有优良的高频特性和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点 ,而且其制作工艺和传统的 CMOS工艺相兼容。本文较为详细地论述了串联悬臂梁开关、并联悬臂梁开关和膜开关的工作原理及典型的性能参数。由于其优越的微波特性 ,MEMS开关已在许多电路和系统中 ,包括微波前端电路。 展开更多
关键词 微机电系统 微加工开关 微波电路
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SMDS——一个采用面向对象技术设计的半导体器件模拟软件 被引量:5
19
作者 杨廉峰 吴金 +1 位作者 刘其贵 魏同立 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期62-64,58,共4页
本文采用当今流行的面向对象技术设计完成了一个半导体器件模拟软件———SMDS(SubMicronDeviceSimulator) ,讨论了在网络并行计算等方面扩展的可行性 。
关键词 器件模拟 面向对象 半导体器件 SMDS软件
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基于知识的人脑三维医学图象自动分析显示系统 被引量:3
20
作者 谢逢 罗立民 +1 位作者 田雪芹 胡刚 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 1997年第4期496-501,共6页
设计并实现了一个基于知识的人脑三维医学图象分析显示系统,完成了脑组织的自动分割及显示.系统包含动态模块及静态模块两部分.静态模块即人脑知识库,存贮脑内各组织形态、生理及图象灰度方面的知识.动态模块包含全局数据区、图象... 设计并实现了一个基于知识的人脑三维医学图象分析显示系统,完成了脑组织的自动分割及显示.系统包含动态模块及静态模块两部分.静态模块即人脑知识库,存贮脑内各组织形态、生理及图象灰度方面的知识.动态模块包含全局数据区、图象处理算子集和控制规则集.在知识的指导下,运用“智能光线跟踪”方法提取、显示脑内主要解剖结构. 展开更多
关键词 人工智能 光线跟踪 计算机 断层医学成像
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