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题名硅微阵列陀螺仪的仿真、设计与测试
被引量：6
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作者
张印强
杨波
李婧
王寿荣
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机构
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室．南京
南京工业大学自动化与电气工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期29-32,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(60974116)
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文摘
为了提高硅微机械陀螺仪的精度和工作可靠性,提出了一种新的硅微阵列陀螺仪结构设计方案。该陀螺仪由4个质量块构成,采用半解耦结构设计,结构完全对称,驱动模态和检测模态的频率匹配性好。分析了硅微阵列陀螺仪的结构和工作原理,并利用ANSYS有限元软件进行了结构仿真,通过调节结构参数实现了各驱动模态与敏感模态固有频率的匹配。对阵列陀螺仪样品进行了测试,实验测试结果表明,驱动模态存在3个振型,同频反相振动的幅值最大,与仿真结果一致。
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关键词
硅微阵列陀螺仪
结构设计
ANSYS仿真
扫频实验
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Keywords
silicon micro-gyroscope array
structural design
ANSYS simulation
scanning frequency experiment
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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