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面心立方金属键合界面微观变形机制与力学性能的原位TEM研究
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作者 方浩禧 梁健 +5 位作者 李政坤 袁渊 于宗光 李力一 钟立 孙立涛 《电子显微学报》 北大核心 2025年第4期391-398,共8页
随着集成电路制程逼近摩尔定律极限,以直接键合工艺为核心的超高密度互连三维集成芯片技术成为突破瓶颈的主要途径之一。面心立方(face-centered cubic,FCC)金属作为直接键合工艺中重要的互连材料,其键合界面的力学性能显著影响键合质... 随着集成电路制程逼近摩尔定律极限,以直接键合工艺为核心的超高密度互连三维集成芯片技术成为突破瓶颈的主要途径之一。面心立方(face-centered cubic,FCC)金属作为直接键合工艺中重要的互连材料,其键合界面的力学性能显著影响键合质量。本文利用原位透射电子显微镜(transmission electron microscopy,TEM),研究了键合界面类型对其微观变形机制及界面强度的影响。结果表明:大取向差键合界面(倾斜大角晶界)变形机制以晶界塑性为主,易引发应力集中与裂纹萌生,界面强度较低(700 MPa);小取向差键合界面变形机制以位错塑性为主,表现出更高的键合强度(1.62 GPa);孪晶界的键合界面强度主要与孪晶取向有关,平直孪晶界键合界面的变形机制存在阶错运动以及位错与孪晶界的交互作用,具有较高的键合强度(1.60 GPa),而倾斜孪晶界面的变形机制主要为孪晶界滑移,其强度下降至(1.10 GPa)。本研究为优化键合工艺、提升芯片封装可靠性提供了理论指导。 展开更多
关键词 键合界面 面心立方金属 键合强度 变形机制 原位透射电子显微镜
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电子束辐照诱导二维氧化铟纳米片生长的原位电镜研究 被引量:1
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作者 朱亚彤 张昊 +1 位作者 徐涛 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期275-282,共8页
非层状二维材料因其新颖的二维特性在电子学、光电子学、催化、能量储存和转换等领域具有广泛的应用前景。然而,其现有的合成方法都无法精确地控制材料的形貌和尺寸,且对材料潜在的生长机制尚不明确。本文利用透射电子显微镜中的高能电... 非层状二维材料因其新颖的二维特性在电子学、光电子学、催化、能量储存和转换等领域具有广泛的应用前景。然而,其现有的合成方法都无法精确地控制材料的形貌和尺寸,且对材料潜在的生长机制尚不明确。本文利用透射电子显微镜中的高能电子束,辐照诱导了硒化铟纳米片表面氧化铟纳米晶粒的产生,并在原子尺度观察了氧化铟纳米片的原位生长过程。实验发现,氧化铟纳米片沿着{222}晶面以“逐层生长”的方式形成特定的结构,且原子优先在台阶处成核以降低生长过程中的表面能。这一研究表明,电子束辐照可以作为一种有效的工具来制备氧化铟等非层状二维材料,为二维纳米结构的可控制备提供实验和理论依据。 展开更多
关键词 非层状二维材料 电子束辐照 硒化铟 氧化铟 原位生长
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PtS_(2)的表面相工程:单晶PtS_(2)-非晶PtS_(x)-单晶Pt
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作者 袁墩栋 何勇民 +2 位作者 赵晓续 朱超 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期706-712,共7页
本文利用原子级扫描透射电子显微术(scanning transmission electron microscopy,STEM)研究了PtS_(2)在连续Ar等离子体作用下其表面S原子不断缺失并导致相转变的过程。实验发现随着S原子占比的减小,层状1T相PtS_(2)以逐层非晶化的方式... 本文利用原子级扫描透射电子显微术(scanning transmission electron microscopy,STEM)研究了PtS_(2)在连续Ar等离子体作用下其表面S原子不断缺失并导致相转变的过程。实验发现随着S原子占比的减小,层状1T相PtS_(2)以逐层非晶化的方式转变为无定形非晶相PtS_(x)(x<2),并且基于径向分布函数(radial distribution function,RDF)分析定量提取了最邻近Pt-Pt、Pt-S、S-S原子对的分布概率。随着S原子占比的继续减小,表面非晶相PtSx最终转变为单晶Pt,结合电子能量损失谱(electron energy loss spectroscopy,EELS)与STEM原子序数衬度图像分析表明,Pt原子以(111)面心立方密堆的方式堆垛,形成少层甚至单层Pt晶畴。 展开更多
关键词 STEM 单层非晶PtS_(x) Pt单晶 相工程
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