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实用化、集成化和多功能化硅传感器的研制与开发——第五届国际固态传感器与执行器会议综述
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作者 童勤义 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1989年第5期17-22,共6页
第五届国际固态传感器与执行器会议于1989年5月26日至30日在瑞士的蒙特洛举行。我国代表团有10多位代表参加会议,东南大学(南工)微电子中心童勤义教授是代表之一。这篇文章是童勤义教授对会议情况作的综合介绍。
关键词 固态传感器 硅传感器 集成化
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