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题名自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘
被引量：6
- 1
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作者
孙彦杰
刘华
李金环
陆子凤
张莹
罗钧
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机构
东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期65-73,共9页
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基金
国家自然科学基金(No.61875036)
吉林省科技发展计划
+2 种基金
吉林省科技发展计划项目(No.20190302049GX)
应用光学国家重点实验室开放基金(No.SKLAO201806)
空间光电测量与感知实验室开放基金课题(No.LabSOMP-2018-05)~~
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文摘
数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜阵列成像线性错位形式及其表达式.根据物像映射原理,用Matlab软件计算出自由曲面光学透镜面形初始数据,通过Zemax软件优化得到理想透镜模型,模拟了安装该透镜模型前后曝光图形效果.结果表明:在±2μm容差范围内,安装该透镜且曝光总能量为原来的0.9倍时,曝光图形的横线边缘锯齿由0.14个像素缩小至0～0.01个像素,斜线边缘锯齿由0.338个像素缩小至0.110～0.125个像素,且线长变化范围为-0.153～0.05个像素,线宽变化范围为-0.058～0.153个像素,变形范围不影响10～30μm pcb板的制作精度.该方法可同时提高能量利用率,降低光源成本.
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关键词
数字微镜阵列
扫描光刻
自由曲面光学透镜
成像线性错位
图形边缘
投影成像系统
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Keywords
Digital micro-mirror device
Scanning lithography
Free surface optical lens
Linear dislocation
Lithography graphic edge
Projection imaging system
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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题名基于模型的蓝藻生物钟昼夜节律的非线性特性研究
被引量：3
- 2
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作者
陈思琦
谢宁
孙媛媛
孙迎春
单桂晔
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机构
东北师范大学物理学院国家级物理实验教学示范中心
长春职业技术学院国际交流学院
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出处
《东北师大学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2019年第1期86-93,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11174047)
吉林省科技发展计划项目(20030543-3)
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文摘
依据蓝藻生物钟昼夜节律的生理实验结果和非线性动力学理论,构建了其非线性动力学模型,并利用Matlab软件求出其核心振荡器调控蛋白KaiABC等的相互作用关系,获得各蛋白分泌随时间变化的数值解,且与已有实验数据结果一致,说明理论模型是合理的.
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关键词
蓝藻
生物钟
昼夜节律
Kai蛋白
非线性动力学
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Keywords
cyanobacteria
biological clock
circadian rhythm
Kai protein
nonlinear dynamics
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分类号
Q945
[生物学—植物学]
O19
[理学—基础数学]
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题名大口径衍射望远系统初始结构研究
被引量：1
- 3
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作者
赵维
刘华
陆子凤
卢振武
王新
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机构
长春理工大学
东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心
中国科学院光谱成像技术重点实验室
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
吉林警察学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期1395-1402,共8页
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基金
国家自然科学基金项目(No.11874091)
中国科学院光谱成像技术重点实验室开放课题
吉林省自然科学基金项目(No.20180101031JC)~~
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文摘
大口径衍射望远系统由于使用透射式的薄膜衍射光学元件作为主镜,不仅质量密度低(表面质量密度可以达到0.1 kg/m2),同时面形精度要求宽松,发射成本低。本文阐述了衍射望远系统的基本成像原理,并推导出任意大口径系统的初始结构计算公式,给出了口径为300 mm、系统焦距为2 m,工作波段为0.58μm到0.68μm的系统设计实例并研制了原理验证系统,进行了星点像以及分辨率板实验。成像结果接近衍射极限,与设计结果相符。本文所做工作为大口径衍射望远系统的设计提供了良好的理论基础和初始模型结构,能够极大地缩短设计周期,提高成像质量。
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关键词
薄膜衍射光学元件
衍射望远系统
超大口径
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Keywords
film diffractive optical elements
diffractive telescope
large aperture
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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